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取扱説明書
注意
鋭い縁による損傷のリスク。
ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。
• ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り
外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。
• 高真空フランジ内で直接操作しないでください。
• 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定
の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。
ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて
いるどの部分へも放出されています （セクションを参照 "ConFlatフランジの取り
付け" と "SO-K フランジの取り付け"。
装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された
警告
取り付けの指示に厳密に従ってください！
有毒ガス、可燃性ガス、または放射性ガスをポンプするためにポンプを使
警告
用する場合は、各ガス処理に必要な手順に従ってください。ポンプは、
N2 Ar とより軽いガスの高スループットをポンプするように設計されてい
ます. Ar より重いガスをポンプする必要がある場合は、詳細情報に関して
Agilent の技術サポートへお問い合わせください.
TPS-mobile コンパクトは、侵襲性、腐食性、または爆発性のガスが存在
する環境での使用を想定していません。
Agilent TPS-mobile User Manual
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