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Betriebsanleitung
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten
• Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der
Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe.
• Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben.
• Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen.
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
Turbomolekularpumpen, wie sie in der folgenden Betriebsanleitung beschrieben
sind, enthalten aufgrund der hohen Drehzahl in Kombination mit der spezifischen
Masse ihrer Rotoren eine große Menge kinetischer Energie.
Bei einer Funktionsstörung eines mechanischen Teils der Pumpe kann die
Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe
befestigt ist (siehe Abschnitte "Installation des ConFlat-Flansches" und
"Installation des ISO-K-Flansche").
Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden,
WARNUNG
sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen
unbedingt zu beachten!
Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen, brennbaren oder radioaktiven
WARNUNG
Gasen verwendet, die entsprechenden Verfahren für das jeweilige Gas
befolgen. Die Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und
leichtere Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres
Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen
an den Technischen Kundendienst der Agilent.
Das TPS-mobile ist nicht für den Einsatz in Umgebungen mit aggressiven,
korrosiven oder explosiven Gasen bestimmt.
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Agilent TPS-mobile User Manual
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