Table of Contents
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Contents
Diffusion Pump Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Explosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Pressurization Hazards . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Dangerous Substances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
High Temperatures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
High Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Large Equipment and Heavy Weights . . . . . . . . 10
Diffusion Pump Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Pump Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Operating Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Pump Air Speed and Throughput . . . . . . . . . . . . . . 14
Physical Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Unpacking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Cleaning a New Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Cleaning Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Disassembly for Initial Cleaning . . . . . . . . . . . . 20
Reassembly After Initial Cleaning . . . . . . . . . . . 20
System and Utility Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Vacuum Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Cooling Water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Overheating: Detection by Thermal Switches . . . . 25
Initial Vacuum Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Adding or Changing Pump Fluid . . . . . . . . . . . . . . 37
Information on Fluid and DP Performance . . . . . 37
Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Startup Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Humid Environments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Shutdown Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Periodic Inspections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Cleaning Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Disassembly and Reassembly Procedures . . . . . . . 43
Cold Cap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Jet Assemblies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
Heater Replacement Procedure . . . . . . . . . . . . . 50
Troubleshooting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Leakage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Outgassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Poor Pump or System Performance . . . . . . . . . . . . 52
Replacement Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
High Throughput Diffusion Pumps
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