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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI
- Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 80 MINI Turbopumpe Turbopump...
- Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
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Page 3: Table Of Contents
Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale... - Page 4 Inhaltsverzeichnis Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.4 Betrieb über Feldbus Betriebsüberwachung 6.3.1 Betriebsanzeige über LED 6.3.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.4.1 Ausschalten 6.4.2 Fluten Wartung Allgemeine Wartungshinweise Wartungsintervalle und- zuständigkeiten Betriebsmittelspeicher austauschen 7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren...
- Page 5 Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 11: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 12: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 80 mini Tab. 14: Zubehör Tab. 15: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 16: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
- Page 6 Abb. 13: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren Abb. 15: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik TC 110 Abb. 17: Ersatzteile HiPace 80 mini Abb. 18: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K 6/108...
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Page 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. -
Page 8: Piktogramme
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 80 Mini der Vakuumpumpe. Mod. PM PXX XXX Type 12 Typenschild der Antriebselektronik... -
Page 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara- meter Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß... -
Page 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Page 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Page 12 Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
- Page 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
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Page 14: Sicherheitsmaßnahmen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... -
Page 15: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit ► Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus. ► Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). -
Page 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch
● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. -
Page 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum. -
Page 18: Produktbeschreibung
Funktion der Kugellager. 3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 110 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com... -
Page 19: Produkttypen
Produktbeschreibung 3.2.1 Produkttypen Die Produktbezeichnung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace besteht aus ihrer Famili- enbezeichnung, der Größe, die sich am Saugvermögen der Vakuumpumpe orientiert und gegebenen- falls aus einer zusätzlichen Eigenschaftsbezeichnung. Familie Größe/Modell Eigenschaft HiPace 10 bis 2800 keine = Standardausführung mini = kompakte Bauweise U = Überkopfversion... -
Page 20: Transport Und Lagerung
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen. -
Page 21: Installation
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe. -
Page 22: Turbopumpe Am Unterteil Befestigen
Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►... -
Page 23: Hochvakuumseite Anschließen
Turbopumpe. Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen Maxi- malwerte nicht überschreiten. Im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors müssen die auftretenden Drehmomente von der Anla- ge und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 80 mini 600 Nm... -
Page 24: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden
2. Berücksichtigen Sie den Strömungswiderstand. 3. Sichern Sie die Turbopumpe zusätzlich zum Hochvakuumflansch. 4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. 24/108... -
Page 25: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen
Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile. -
Page 26: Abb. 6: Flanschverbindung Iso-K Mit Iso-F, Pratze Und Gewindebohrung
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung Verbindung von Pratze und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile. -
Page 27: Vorvakuumseite Anschließen
Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die erforderliche Anzahl von Stiftschrauben mit dem kürzeren Einschraubende in die Bohrungen am Gegenflansch. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe. -
Page 28: Zubehör Anschließen
Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte mit TC verbinden ● Die Verwendung von Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Antriebselektronik ist über ent- sprechende Verbindungskabel bzw. Adapter am Multifunktionsanschluss "X3" möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über RS-485 mittels Pfeiffer Vacu- um Steuergeräte oder PC. -
Page 29: Elektrische Versorgung Anschließen
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.6.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 12: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. -
Page 30: Elektrischen Anschluss Herstellen
Installation 5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht. - Page 31 5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verlängerungskabel an das Steuergerät an. 31/108...
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Page 32: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich. -
Page 33: Betrieb Ohne Bedieneinheit
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center. -
Page 34: Betriebsüberwachung
Betrieb 6.3 Betriebsüberwachung 6.3.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤... -
Page 35: Fluten
Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab. -
Page 36: Wartung
6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. -
Page 37: Betriebsmittelspeicher Austauschen
● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●... -
Page 38: Betriebsmittelspeicher Montieren
Wartung Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Gehäusedeckel Kapillarstäbe (6×) 2 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 3 Gummi-Metallpuffer Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfreien Tuch. – Verwenden Sie nur die vorgeschriebene Reinigungsflüssigkeit! 3. -
Page 39: Antriebselektronik Austauschen
Wartung Abb. 15: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren 1 Kapillarstäbe (6×) Gehäusedeckel 2 Betriebsmittelspeicher Gummi-Metallpuffer 3 O-Ring Torxschrauben Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie die neuen Kapillarstäbe mit Hilfe einer Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher bis zum Anschlag in das Pumpenunterteil ein. –... -
Page 40: Drehzahlvorgabe Bestätigen
Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2. - Page 41 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 41/108...
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Page 42: Außerbetriebnahme
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen. -
Page 43: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –... -
Page 44: Störungen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... - Page 45 ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
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Page 46: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Page 47 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Page 48: Ersatzteile Hipace 80 Mini
Abb. 17: Ersatzteile HiPace 80 mini Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher PM 183 900 -T inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 80 mini 48/108... -
Page 49: Zubehör
Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern. - Page 50 Zubehör Bezeichnung HiPace 80 mi- ni, DN 63 ISO‑K Befestigungssatz für HiPace 60/80 mit DN 63 ISO-K, inklusive Zent- PM 016 512 -T rierring beschichtet, integriertem Schutzgitter und Pratzen Befestigungssatz für DN 63 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, PM 016 930 -T Zentrierring beschichtet, 6-kt Schrauben Befestigungssatz für DN 63 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, PM 016 931-T...
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Page 51: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●... - Page 52 RS–485, Remote Schutzart IP44, Type 12 Integrale Leckrate 1 · 10 Pa m³/s Relative Luftfeuchte 5 – 85 %, nicht betauend Transport und Lagertemperatur -25 – 55 °C Gewicht 2,1 kg Tab. 17: HiPace 80 mini | DN63 ISO-K 52/108...
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Page 53: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14.3 Abmessungen 92.5 DN63 ISO-K M5 - 10 deep (4x) 37.5 G1/4” Abb. 18: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K Maße in mm 53/108... -
Page 54: Eg Konformitätserklärung
ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... -
Page 55: Konformitätserklärung
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar... - Page 56 56/108...
- Page 57 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
- Page 58 Table of contents Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.3 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.4 Operation via field bus Operation monitoring 6.3.1 Operating mode display via LED 6.3.2 Temperature monitoring Switching off and venting 6.4.1 Switching off...
- Page 59 Factory settings for delayed venting in turbopumps Tbl. 11: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 12: Troubleshooting turbopumps Tbl. 13: Overview of the spare parts available for the HiPace 80 mini Tbl. 14: Accessories Tbl. 15: Conversion table: Pressure units Tbl. 16: Conversion table: Units for gas throughput Tbl.
- Page 60 Fig. 11: Insert capillary rods and install operating fluid reservoir Fig. 12: Installing and removing the electronic drive unit TC 110 Fig. 13: Spare parts HiPace 80 mini Fig. 14: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K 60/108...
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Page 61: About This Manual
Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status. -
Page 62: Pictographs
This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate (example) The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 80 Mini of the vacuum pump. Mod. PM PXX XXX Type 12... -
Page 63: Abbreviations
About this manual 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) Handheld Programming Unit. -
Page 64: Safety
Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►... - Page 65 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
- Page 66 Safety WARNING Risk of injury due to incorrect installation Dangerous situations may arise from unsafe or incorrect installation. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
- Page 67 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
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Page 68: Safety Precautions
Safety WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate. There is the risk of damaging on-site connections (e.g., fore-vacuum line) and resulting leaks. This results in leakage of process media. -
Page 69: Proper Use
● Using of accessories or spare parts that are not listed in these instructions 2.7 Personnel qualification The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. 69/108... -
Page 70: Ensuring Personnel Qualification
─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training. -
Page 71: Product Description
Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit together with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power sup- ply packs can be used for the power supply. Fig. 2: Design of HiPace 80 mini 1 Protective cover... -
Page 72: Product Types
Product description 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description. -
Page 73: Transportation And Storage
► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits. -
Page 74: Installation
Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond. -
Page 75: Connecting The High Vacuum Side
The total weight of superstructural parts must not exceed the maximum values specified. If the rotor is suddenly blocked, the torques arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed. The installation elements for turbo pumps are special designs by Pfeiffer Vacuum. 75/108... -
Page 76: Considering Earthquake Protection
120 ℃ Tbl. 6: Requirements for dimensioning high vacuum connection supplied by customer Important information for correct installation ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. 5.3.2 Considering earthquake protection NOTICE... -
Page 77: Using The Vibration Compensator
4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range. -
Page 78: Installation Of Iso-K Flange Onto Iso-F
Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure. -
Page 79: Connecting Fore-Vacuum Side
– Tightening torque: 5, 10, 16 ± 1 Nm Connection of stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum for the connection. 2. Screw the required number of stud screws with the shorter screw-in end into the holes in the counter flange. -
Page 80: Connecting Accessories
Connecting accessory devices to TC ● Use of Pfeiffer Vacuum accessories via the electronic drive unit is enabled via a corre- sponding connection cable or adapter at the “X3” multi-function connection. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. -
Page 81: Connecting The Electrical Supply
► Observe the installation instructions in the operating instructions for the relevant accessory. ► Note the existing configuration of existing connections and control lines. ► Use a Pfeiffer Vacuum control unit for the configuration if needed. 5.6 Connecting the electrical supply... -
Page 82: Establishing Electric Connection
Installation Fig. 8: Example: Connecting the grounding cable Procedure 1. Use the turbopump ground terminal (M4 female thread). 2. Route the connection in accordance with locally applicable provisions. 5.6.2 Establishing electric connection DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ►... - Page 83 5. Insert the connecting cable into the connection "DCout" on the power supply pack and close the bayonet lock. 6. If you are using a Pfeiffer Vacuum control unit: Connect the “RS-485” connector to the control unit using a suitable extension cable.
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Page 84: Operation
Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol. -
Page 85: Operating Modes
Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation. -
Page 86: Operation Monitoring
6.3.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol... -
Page 87: Venting
General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate. -
Page 88: Maintenance
5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes. -
Page 89: Replace Operating Fluid Reservoir
● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●... -
Page 90: Assembling Operating Fluid Reservoir
Maintenance Fig. 10: Removing the operating fluid reservoir 1 Housing cover Capillary rods (6×) 2 Torx screws Operating fluid reservoir 3 Rubber-metal bumper Protective cover 4 O-ring Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2. -
Page 91: Replacing Electronic Drive Unit
Maintenance Fig. 11: Insert capillary rods and install operating fluid reservoir 1 Capillary rods (6×) Housing cover 2 Operating fluid reservoir Rubber-metal bumper 3 O-ring Torx screws Assembling operating fluid reservoir 1. Insert the new capillary rods using tweezers. 2. Insert the operating fluid reservoir up to the stop in the pump base. –... -
Page 92: Confirming Speed Specification
Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1. -
Page 93: Tbl. 11: Characteristic Nominal Rotation Speeds Of The Turbopumps
5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units. -
Page 94: Decommissioning
2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing. -
Page 95: Recycling And Disposal
● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –... -
Page 96: Malfunctions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892. -
Page 97: Tbl. 12: Troubleshooting Turbopumps
● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700]. -
Page 98: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum
We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality. - Page 99 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
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Page 100: Spare Parts Hipace 80 Mini
TC 110 plate tion panel Operating fluid reservoir PM 183 900 -T incl. capillary rods and O- ring Tbl. 13: Overview of the spare parts available for the HiPace 80 mini 100/108... -
Page 101: Accessories
Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters. -
Page 102: Tbl. 14: Accessories
Accessories Designation HiPace 80 mini, DN 63 ISO‑K Mounting kit for HiPace 60/80, DN 63 ISO-K, including coated cen- PM 016 512 -T tering ring with integrated protection screen and claw grips Mounting kit for DN 63 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated... -
Page 103: Technical Data And Dimensions
Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●... -
Page 104: Tbl. 17: Hipace 80 Mini | Dn63 Iso-K
IP44, Type 12 Integral leak rate 1 · 10 Pa m³/s Relative humidity of air 5 – 85 %, non-condensing Shipping and storage temperature -25 – 55 °C Weight 2.1 kg Tbl. 17: HiPace 80 mini | DN63 ISO-K 104/108... -
Page 105: Dimensions
Technical data and dimensions 14.3 Dimensions 92.5 DN63 ISO-K M5 - 10 deep (4x) 37.5 G1/4” Fig. 14: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K Dimensions in mm 105/108... -
Page 106: Ec Declaration Of Conformity
DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43... -
Page 107: Declaration Of Conformity
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...