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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HiCube Neo Series
- Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HICUBE NEO Turbopumpstand Turbo pumping station...
- Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbo pumping station is designed to support you in your individual application with full performance and without malfunctions. The name Pfeiffer Vacuum represents high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service. With this expertise, we have acquired a multitude of skills contributing to an efficient and secure implementation of our product.
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Page 3: Table Of Contents
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Varianten Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt 1.3.4 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Bedienschnittstelle 3.1.2 Antrieb 3.1.3 Kühlung... - Page 4 10.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 10.2 Turbopumpe entsorgen 10.3 Drehschieberpumpe entsorgen 10.4 Mehrstufige Wälzkolbenpumpe entsorgen 10.5 Scrollpumpe entsorgen 10.6 Membranpumpe entsorgen Störungen 11.1 Allgemeines 11.2 Fehlerbehebung 11.3 Fehlermeldungen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehör Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines 14.2 Technische Daten 4/162...
- Page 5 Inhaltsverzeichnis 14.3 Maßbilder EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 5/162...
- Page 6 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument Tab. 3: Einsatzgrenzen HiCube Neo Tab. 4: Symbole und Farben der Status- und Komponentensymbole Tab. 5: HiCube Neo Tischgerät | Kombination von Komponenten Tab. 6: HiCube Neo Tischgerät | Zubehör Tab.
- Page 7 Abb. 47: Informationen eingeben Abb. 48: Neues Gerät hinzufügen Abb. 49: Parameterliste eines Geräts Abb. 50: Detailinformationen einsehen und bearbeiten Abb. 51: Parameterliste nach Pfeiffer Vacuum Code/Namen filtern Abb. 52: Hilfeseite HiCube Neo Abb. 53: Logs HiCube Neo Abb. 54: Übersicht aller Nachrichten Abb.
- Page 8 Abbildungsverzeichnis Abb. 56: Allgemeine Einstellungen Abb. 57: IP-Adresse ändern Abb. 58: Einheitenübersicht Abb. 59: Firmware auf Gerät hochladen Abb. 60: Ablauf der Aktualisierung Abb. 61: Aktualisierung abschließen Abb. 62: Übersicht aller Benutzer Abb. 63: Als Servicenutzer anmelden Abb. 64: Elektrische Anschlüsse entfernen Abb.
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Page 9: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts. -
Page 10: Piktogramme
Zu dieser Anleitung Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ► Dies ist ein einzelner Handlungsschritt. Abfolge von mehreren Handlungsschritten Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten. 1. Handlungsschritt 1 2. Handlungsschritt 2 3. -
Page 11: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt – Tischgerät 1 Hinweis: Betriebsanleitung lesen Warnzeichen elektrische Spannung (Netzteil) 2 Typenschild Verschlusssiegel Abb. 2: Position der Aufkleber auf dem Produkt – Standgerät 1 Hinweis: Betriebsanleitung lesen Warnzeichen elektrische Spannung (Netzteil) 2 Typenschild Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen... - Page 12 Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Temperatur (in °C) Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) Universal Serial Bus Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument 12/162...
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Page 13: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Page 14 Sicherheit VORSICHT Verletzungsgefahr durch Kippen oder Wegrollen des Pumpstandes Aufbauten verändern den Schwerpunkt. Es besteht Quetschgefahr durch Wegrollen oder Kippen. ► Stellen Sie den Pumpstand auf eine ebene Aufstellfläche. ► Verankern Sie den Pumpstand am Aufstellungsort. ► Tragen Sie persönliche Schutzausrüstung. Risiken bei der Installation WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall...
- Page 15 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
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Page 16: Sicherheitsmaßnahmen
Sicherheit 2.3 Sicherheitsmaßnahmen Informationspflicht zu möglichen Gefahren Der Halter oder Betreiber des Produkts ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von diesem Produkt ausgehen, aufmerksam zu machen. Jede Person, die sich mit der Installation, dem Betrieb oder der Instandhaltung des Pro- dukts befasst, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen und befolgen. -
Page 17: Bestimmungsgemäße Verwendung
Sicherheit Parameter Grenzwerte Verschmutzungsgrad Umgebungstemperatur 5 °C bis 30 °C bei Konvektionskühlung ohne Gasdurchsatz 5 °C bis 35 °C bei Luftkühlung 5 °C bis 40 °C bei Wasserkühlung Max. zulässiges umgebendes Magnetfeld siehe Technische Daten der Turbopumpe Max. eingestrahlte Wärmeleistung siehe Technische Daten der Turbopumpe Maximal zulässige Rotortemperatur der Turbopum- 90 °C... -
Page 18: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Turbopumpstände der Baureihe HiCube Neo sind anschlussfertige, vollautomatisch arbeitende Pumpeinheiten. Der Turbopumpstand ist als tragbares Tischgerät, bzw. fahrbares Standgerät ausge- führt und besteht aus einer Turbopumpe und einer speziell abgestimmten Vorpumpe. Abb. 3: Produktübersicht Beispielkombination – Tischgerät 1 Gehäuse 7"... -
Page 19: Antrieb
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter. 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi-... -
Page 20: Produktmerkmale
Produktbeschreibung 3.3 Produktmerkmale 3.3.1 HiCube Neo Tischgerät Kombinationsmöglichkeiten Merkmal HiCube Neo Tischgerät DN 40 ISO-KF DN 100 ISO-K HV-Flansch DN63 ISO-K DN 100 CF-F DN 63 CF-F HiPace 80 Neo PT 0660 BN Turbopumpe HiPace 300 PT 0735 BN HiPace 300 H PT 0692 BN Antriebselektronik TC 80... -
Page 21: Hicube Neo Standgerät Kombinationsmöglichkeiten
Produktbeschreibung 3.3.2 HiCube Neo Standgerät Kombinationsmöglichkeiten Merkmal HiCube Neo Standgerät HV-Flansch DN 40 ISO-KF DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K DN 200 ISO-K DN63 ISO-K DN 100 CF-F DN 160 CF-F DN 200 CF-F DN 63 CF-F Turbopumpe HiPace 80 Neo PT 0660 BN HiPace 300 PT 0749 BN... -
Page 22: Lieferumfang
Produktbeschreibung Merkmal HiCube Neo Standgerät Vorvakuumsicherheitsventil optional PM 0263 BN optional, nur bei CF‑Flansch PT 0233 BN Gehäuseheizung Tab. 8: HiCube Neo | Standgerät Zubehör 3.4 Lieferumfang ● Turbopumpstand HiCube Neo ● Schutzdeckel für Hochvakuumflansch ● Netzanschlusskabel, länderspezifisch ● Betriebsmittel und Einfüllschlauch ●... -
Page 23: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Pumpstand transportieren WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen. ► Seien Sie beim Transport der Produkte von Hand besonders vorsichtig und aufmerksam. ►... -
Page 24: Pumpstand Lagern
Transport und Lagerung 3. Transportieren Sie den Turbopumpstand immer aufrecht mit der Standfläche nach unten. 4. Platzieren Sie den Turbopumpstand immer sicher auf einer ausreichend großen, ebenen Fläche. HiCube Neo – Standgerät Abb. 7: Pumpstand ohne Verpackung transportieren – Standgerät 1 Anschlagmittel Schutzdeckel 2 Ringschraube, 4×... -
Page 25: Installation
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe. -
Page 26: Pumpstand Verankern
Installation 5. Wenn Sie eine Gehäuseheizung und Wasserkühlung verwenden, achten sie darauf, dass die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 °C nicht überschreitet. 6. Installieren Sie geeignete Abschirmungen, damit die eingestrahlte Wärmeleistung die zulässigen Werte nicht überschreitet, wenn prozessbedingt hohe Temperaturen auftreten. 5.3 Pumpstand verankern VORSICHT Verletzungsgefahr durch Kippen oder Wegrollen des Pumpstandes... -
Page 27: Hochvakuumseite Anschließen
Installation HiCube Neo – Standgerät Benötigte Hilfsmittel ● 2 Spanngurte in ausreichender Länge und Belastbarkeit, ca. 3 cm breit ● Kundenseitige Befestigungspunkte für die Aufnahme der Spanngurte Abb. 9: Standgerät verankern 1 Ringschraube, 4× Spanngurt, 2× Standgerät verankern 1. Befestigen Sie den Pumpstand immer mit Spanngurten an allen vier Ringschrauben. 2. -
Page 28: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden
Anforderungen an den kundenseitigen Hochvakuumanschluss 5.4.2 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. -
Page 29: Dämpfungskörper Verwenden
Drehmomente. ► Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va- cuum. Pfeiffer Vacuum Dämpfungskörper sind für den Einsatz an vibrationsempfindlichen Anlagen geeignet. Dämpfungskörper einbauen 1. Installieren Sie einen Dämpfungskörper nur mit senkrechtem Durchgang. 2. Berücksichtigen Sie den Strömungswiderstand. -
Page 30: Iso-Kf Flansch An Iso-Kf Befestigen
Abb. 10: Flanschverbindung ISO-KF mit Spannring Verwendung von Spannring 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe mit Zentrierring und Spannring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile. -
Page 31: Iso-K Flansch An Iso-F Befestigen
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung Verbindung von Pratze und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile. -
Page 32: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die erforderliche Anzahl von Stiftschrauben mit dem kürzeren Einschraubende in die Bohrungen am Gegenflansch. -
Page 33: Abb. 16: Flanschverbindung Cf-F, Sechskantschraube Und Durchgangsbohrung
Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein. -
Page 34: Auspuffseite Anschließen
► Beachten Sie die zulässigen Drücke und Druckdifferenzen des Produkts. ► Prüfen Sie die Auspuffleitung regelmäßig auf Funktion. Kondensatabscheider Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einbau eines Kondensatabscheiders mit dem Kondensatab- lass an der tiefsten Stelle der Auspuffleitung. HiCube Neo – Tischgerät Abb. -
Page 35: Abb. 20: Beispiel Für Den Auspuffanschluss Der Hiscroll
Installation HiCube Neo – Standgerät Abb. 20: Beispiel für den Auspuffanschluss der HiScroll 1 Schalldämpfer Vakuumkomponenten DN 25 ISO-KF 2 Zentrierring Auspuffanschluss des Schalldämpfers 3 Spannring Abb. 21: Beispiel für den Auspuffanschluss der Duo 1 Auspuffleitung Zentrierring mit O-Ring 2 Schutzkappe Spannring Abb. -
Page 36: Betriebsmittel Einfüllen
HINWEIS Sachschäden durch Verwendung nicht zugelassener Betriebsmittel Produktspezifische Leistungsdaten werden nicht erreicht. Außerdem entfallen jegliche Gewährleis- tungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. ► Verwenden Sie nur zugelassene Betriebsmittel. ► Setzen Sie andere applikationsspezifische Betriebsmittel nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Va- cuum ein. -
Page 37: Abb. 23: Betriebsmittel Einfüllen - Smartvane
Installation Abb. 23: Betriebsmittel einfüllen – SmartVane 1 Einfüllschlauch Einfüllschraube mit Dichtung 2 Betriebsmittelflasche Drehschieberpumpe Abb. 24: Betriebsmittel einfüllen – Duo 1 Drehschieberpumpe Betriebsmittelflasche 2 Einfüllschraube mit Dichtung Einfüllschlauch 37/162... -
Page 38: Zubehör Anschließen
AccessLink Buchse "accessory A1" Zubehörgeräte für TC 80 und TC 110 anschließen ► Verwenden Sie Pfeiffer Vacuum Zubehör über die AccessLink Buchsen am Pumpstand mit ent- sprechenden Verbindungskabeln bzw. Adaptern. ► Konfigurieren Sie den gewünschten Zubehörausgang über RS-485 mittels Bedienschnittstelle oder PC. -
Page 39: Netzanschluss Herstellen
1 Zubehöranschluss "accessory B" Zubehöranschluss "accessory A" Zubehörgeräte für TC 400 anschließen ► Verwenden Sie Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Zubehöranschlüsse an der Antriebselektronik mit entsprechenden Verbindungskabeln bzw. Adaptern. ► Konfigurieren Sie den gewünschten Zubehörausgang über RS-485 mittels Bedienschnittstelle oder PC. -
Page 40: Abb. 27: Netzanschluss Herstellen
Installation Abb. 27: Netzanschluss herstellen 1 Hauptschalter Netzanschlusskabel 2 Anschlussstecker Netzanschluss herstellen 1. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 2. Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). 3. Stecken Sie das Netzanschlusskabel aus dem Lieferumfang in den Anschlussstecker im Pump- stand. -
Page 41: Schnittstellen Und Anschlüsse
Schnittstellen und Anschlüsse 6 Schnittstellen und Anschlüsse Der HiCube Neo Pumpstand verfügt über eine Ethernet-Schnittstelle zur Kommunikation, sowie eine USB-Schnittstelle, eine Schnittstelle mit der Bezeichnung "RS-485" und einem Optionsmodul "gauge/ IO", die den Informationsaustausch des HiCube Neo mit kundenseitigen Peripheriegeräten ermögli- chen. -
Page 42: Anschluss "Usb
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag an den Kommunikationsschnittstellen. ► Schließen Sie nur geeignete Geräte an das Bussystem an. Die Schnittstelle mit der Bezeichnung "RS-485" ist für den Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuerge- rätes oder eines externen PC vorgesehen. Die Anschlüsse sind galvanisch sicher von der maximal auf- tretenden Versorgungsspannung der Antriebselektronik getrennt. -
Page 43: Option Gauge/Io
Versorgungsspannung des OmniControl getrennt. gauge Abb. 31: Option gauge/IO 1 15-polige D-Sub Buchse (IO) gauge-Buchse 2 LED an der gauge-Buchse Weitere Informationen finden Sie in der entsprechenden Betriebsanleitung im Pfeiffer Vacuum Downlo- Center. 43/162... -
Page 44: Bedienung
Bedienung 7 Bedienung HINWEIS Beschädigung des Geräts durch unsachgemäße Bedienung Durch unsachgemäße Bedienung können Schäden am Gerät auftreten. ► Stellen Sie sicher, dass die Betriebsanleitung dem Fachpersonal und Bediener zugänglich ist, um die richtige Einstellung zu gewährleisten. 7.1 Dashboard Das Dashboard erscheint automatisch, nachdem Sie den HiCube Neo Pumpstand einschalten. Das Dashboard liefert die Informationen über den Betriebsstatus der angeschlossenen Pumpe, den System Status, den Druck (falls die Messröhre angeschlossen ist), den Zustand der Komponenten im Betrieb/ beim Herunterfahren, die Parameterliste und die Istdrehzahl. -
Page 45: Untermenü
Bedienung Abb. 33: Hauptmenü HiCube Neo 1 Dashboard Hilfe (help) 2 Trendmenü (trend) Datum und Uhrzeit 3 Einstellungen (settings) Sprachauswahl (DE/EN) 4 Geräteverwaltung (devices) Profil 5 Nachrichten (messages) 7.3 Untermenü Das Untermenü erscheint, nachdem Sie auf im Hauptmenü tippen. Sie können von diesem Menü aus zu den allgemeinen Einstellungen, dem Netzwerk, den Einheiten und dem Aktualisieren des Geräts navigieren. -
Page 46: Abb. 35: Info Panel Aufrufen
Bedienung Abb. 35: Info Panel aufrufen 1 Info Panel aufrufen Vakuumschema Info Panel aufrufen ► Tippen Sie auf , um das Info Panel des Vakuumschemas aufzurufen. Abb. 36: Info Panel Vakuumschema Sie können auf die einzelnen Komponenten direkt zugreifen, indem Sie die Komponente im Vakuum- schema antippen. -
Page 47: Pumpstand Ein-/Ausschalten
Bedienung Abb. 37: Parameter im Vakuumschema Sie können von dem Dashboard aus direkt zu den Parametern eines Geräts navigieren, indem Sie die einzelnen Komponente im Vakuumschema antippen. 7.5 Pumpstand ein-/ausschalten WARNUNG Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe- nem Hochvakuumflansch Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. -
Page 48: Trends
Bedienung Abb. 38: Pumpstand starten 1 Anzeige für Pumpstand im Betrieb Istdrehzahl (actual rotation speed) 2 Zustand der Komponenten im Betrieb Pumpstand starten 1. Tippen Sie auf die Schaltfläche Dashboard im Hauptmenü. 2. Tippen Sie auf die EIN/AUS-Schalter, um den Pumpstand zu starten. Abb. -
Page 49: Trends Hinzufügen Und Bearbeiten
Bedienung Abb. 40: Trend Übersicht Seite HiCube Neo 1 Anzeige des Druckwerts (pressure) Anzeige der Temperatur der Pumpe (pump temperature) 2 Anzeige der Istdrehzahl (atual rotation speed) [P2] Anzeige des Antriebsstroms (drive cur- rent) 3 [P1] Anzeige des Antriebsstroms (drive current) Übersicht der Geräte Turbopumpe Messröhre... -
Page 50: Details Des Trends Einsehen
Bedienung Abb. 42: Trends löschen Trends löschen 1. Tippen Sie auf die Schaltfläche Trend Dashboard bearbeiten (edit trend dashboard), um das Dashboard zu bearbeiten. – Sie bekommen eine Übersicht von allen hinzugefügten Trends. 2. Wählen Sie die Parameter aus, die Sie löschen wollen. 3. -
Page 51: Geräteverwaltung
Bedienung Abb. 44: Detaillierten Wert einsehen Detaillierten Wert einsehen ► Tippen Sie auf den benötigten Zeitpunkt in der Trendübersicht, um den genauen Wert für diesen Zeitpunkt einzusehen. 7.7 Geräteverwaltung Abb. 45: Geräte Übersichtsseite 1 Anzeige der Komponenten Gerät hinzufügen (add device) Die Übersichtsseite aller hinzugefügten Geräte erscheint, nachdem Sie auf die Schaltfläche Geräte im Hauptmenü... -
Page 52: Neues Gerät Hinzufügen
Bedienung Auf Kachelübersicht umstellen ► Tippen Sie auf , um von der Listenübersicht auf die Kachelübersicht umzustellen. 7.7.1 Neues Gerät hinzufügen Abb. 47: Informationen eingeben Informationen eingeben 1. Tippen Sie auf [Gerät hinzufügen] auf der Geräte Übersichtsseite, um die Informationen über ein neues Gerät hinzuzufügen. -
Page 53: Detailinformationen Bearbeiten Und Filtern
1. Tippen Sie auf den Namen des gewünschten Geräts, um die Detailinformationen einzublenden. 2. Bearbeiten Sie den gewünschten Parameter bzw. die gewünschten Parameter. 3. Tippen Sie auf [Absenden], um die Änderungen zu übernehmen. Abb. 51: Parameterliste nach Pfeiffer Vacuum Code/Namen filtern 1 Parameter PV Code/Name Eingabefeld Suchergebnisse 53/162... -
Page 54: Hilfeseite
Parameterliste nach Pfeiffer Vacuum Code/Namen filtern ► Geben Sie den gewünschten Namen/Code in das Suchfeld ein, um die Parameterliste zu filtern. – Pfeiffer Vacuum Codes und Namen finden Sie in den Betriebsanleitungen für Vorpumpen und Antriebselektronik (siehe die Liste der Betriebsanleitungen unter Produktbeschreibung). -
Page 55: Nachrichten
Bedienung 7.9 Nachrichten Abb. 54: Übersicht aller Nachrichten 1 Anzeige aller Nachrichten Die Nachrichtenseite erscheint nachdem Sie auf die Schaltfläche Nachrichten im Hauptmenü tippen. In der Nachrichrenübersicht bekommen Sie die Informationen über den Code der Nachricht, den Namen des Geräts, die Beschreibung und die Erscheinungszeit der Nachricht. Abb. -
Page 56: 2Netzwerkeinstellungen
Bedienung Abb. 56: Allgemeine Einstellungen 1 Anzeige der Zeit (time) Zurücksetzen auf Werkseinstellungen (reset to factory set- tings) 2 Anzeige der Zeitzone (time zone) Systemzeit aktualisieren ► Tippen Sie auf [Zeit], um die Zeit und das Datum festzulegen. ► Tippen Sie auf [Zeitzone], um die Zeitzone festzulegen. –... -
Page 57: 3Einheiten Umstellen
Bedienung 7.10.3 Einheiten umstellen Abb. 58: Einheitenübersicht 1 Temperatur (temperature) Frequenz (frequency) 2 Druck (pressure) Einheiten umstellen 1. Tippen Sie auf die Schaltfläche Einstellungen im Hauptmenü. 2. Tippen Sie auf [Einheiten]. 3. Wählen Sie im Dropdown-Menü eine passende Einheit aus. 7.11 Firmware über Cloud aktualisieren Voraussetzung ●... -
Page 58: 2Ablauf Der Aktualisierung
Bedienung 7.11.2 Ablauf der Aktualisierung Abb. 60: Ablauf der Aktualisierung Nach dem Hochladen der Firmware startet das Update automatisch. Beachten Sie, dass das Gerät während der Aktualisierung eingeschaltet bleiben muss. Auschalten des Geräts während der Aktualisie- rung kann zum Verlust der Daten oder zum Abbruch des Aktualisierungsvorgangs führen. Sobald die Aktualisierung abgeschlossen ist, bekommen Sie eine Meldung. -
Page 59: Benutzer
Bedienung 7.12 Benutzer Abb. 62: Übersicht aller Benutzer 1 Admin Servicebenutzer 2 Benutzer (user) Abb. 63: Als Servicenutzer anmelden 1 Passwort eingeben Eingeloggter Servicenutzer Als Servicenutzer anmelden 1. Tippen Sie auf die Schaltfläche Service. 2. Geben Sie das Passwort ein. – Nach der Anmeldung wird ein spezifischer Bereich für den Service sichtbar. 59/162... -
Page 60: Wartung
2. Reinigen Sie den Pumpstand außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit Pfeiffer Vacuum Service ab. 4. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. -
Page 61: Komponenten Zu Deren Wartung Ausbauen
Wartung 8.3 Komponenten zu deren Wartung ausbauen HINWEIS Fehlfunktionen durch Verändern der Anschlusskonfiguration Die Anschlüsse am Pumpstand sind ab Werk vorkonfiguriert. Vertauschen der Steuerleitungen am Anschlussstecker führt zu Fehlfunktionen oder Betriebsausfall des Pumpstands. ► Achten Sie beim Ausbau von Komponenten auf deren ursprüngliche Anordnung für den späteren Zusammenbau. -
Page 62: Turbopumpe Ausbauen
Wartung Elektrische Anschlüsse entfernen 1. Bei Wasserkühlung: Sperren Sie die Kühlwasserzufuhr ab. 2. Ziehen Sie das Netzanschlusskabel aus dem Pumstand. 3. Lösen und entfernen Sie die Steuerleitungen des Zubehörs. 8.3.2 Turbopumpe ausbauen Werkseinstellungen Alle Zubehöranschlüsse an der Turbopumpe sind ab Werk vorkonfiguriert. Verwechslungen führen zu Fehlfunktionen oder Betriebsausfall. - Page 63 Wartung Abb. 66: Turbopumpe ausbauen – Tischgerät 1 Befestigungsschrauben mit Unterlegscheibe Turbopumpe 2 Oberschale Turbopumpe ausbauen – Tischgerät 1. Schieben Sie die Oberschale mit Turbopumpe nach hinten vom Pumpstand herunter. – Vermeiden Sie Verbiegungen an den Schenkeln der Oberschale. 2. Schrauben Sie die Befestigungsschrauben mit Unterlegschraube aus der Oberschale heraus. 3.
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Page 64: Vorpumpe Ausbauen
Wartung 8.3.3 Vorpumpe ausbauen HiCube Neo – Tischgerät Vorpumpe aus Tischgerät ausbauen Um die Vorpumpe aus dem Pumpstand auszubauen, müssen Sie zuerst die Oberschale mit Turbopumpe aus dem Pumpstand ausbauen. Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 4 Abb. 68: Vorpumpe ausbauen – Tischgerät 1 Befestigungsschraube mit Unterlegscheibe, 4×... -
Page 65: Vorpumpe Einbauen
Wartung Abb. 69: Vorpumpe ausbauen – HiScroll 1 HiScroll Befestigungsschraube mit Unterlegscheibe, 4× Vorpumpe ausbauen – HiScroll 1. Entfernen Sie alle Anschlussstecker von der Antriebselektronik bzw. den AccessLink Buchsen. 2. Demontieren Sie den Vorvakuumanschluss von der HiScroll. – Vermeiden Sie Beschädigungen am Vorvakuumschlauch. 3. - Page 66 Wartung Abb. 70: Vorpumpe einbauen – Tischgerät 1 Befestigungsschraube mit Unterlegscheibe, 4× Schiene, 2× 2 Vorpumpe Vorpumpe einbauen –Tischgerät 1. Platzieren Sie die Vorpumpe auf den Schienen im Pumpstand. 2. Schrauben Sie die 4 Befestigungsschrauben mit Unterlegscheibe in die Schienen. –...
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Page 67: Turbopumpe Einbauen
Wartung Vorpumpe einbauen – SmartVane und Duo 1. Platzieren Sie die SmartVane bzw. Duo auf den Schienen im Pumpstand. 2. Schrauben Sie die 4 Befestigungsschrauben mit Unterlegscheibe in die Schienen. – Anziehdrehmoment: 19 Nm 3. Installieren Sie den Vorvakuumanschluss. – Vermeiden Sie Beschädigungen am Vorvakuumschlauch. 4. - Page 68 Wartung Abb. 73: Oberschale montieren – Tischgerät 1 Schraube, 4× Schraube, 2× 2 Oberschale Unterseite Oberschale montieren – Tischgerät 1. Schrauben Sie die 4 Schrauben in die Oberschale. – Anziehdrehmoment: 1,4 Nm 2. Schrauben Sie die 2 Schrauben in die Unterschale. –...
- Page 69 Wartung Turbopumpe einbauen – Standgerät 1. Platzieren Sie die Turbopumpe auf dem Pumpstand. 2. Schrauben Sie die Befestigungsschrauben mit Unterlegscheibe in das Gehäuse des Pumpstands. – Anziehdrehmoment: variiert je nach Turbopumpenvariante 3. Installieren Sie den Vorvakuumanschluss. – Vermeiden Sie Beschädigungen am Vorvakuumschlauch. 4.
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Page 70: Außerbetriebnahme
► Wechseln Sie das Betriebsmittel. ► Wechseln Sie Radialwellendichtringe und ggf. weitere Elastomer-Teile. ► Beachten Sie die Wartungshinweise – halten Sie ggf. Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum. Vorgehensweise für die Wiederinbetriebnahme des Pumpstands 1. Überprüfen Sie den Pumpstand auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. -
Page 71: Recycling Und Entsorgung
4. Trennen Sie die Komponenten nach Wertstoffen. 5. Führen Sie nicht kontaminierte Bauteile der Wiederverwertung zu. 6. Entsorgen Sie das Produkt oder Bauteile sicher gemäß den örtlich geltenden Bestimmungen. 10.4 Mehrstufige Wälzkolbenpumpe entsorgen Pfeiffer Vacuum Wälzkolbenpumpen der Serie ACP enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. 71/162... -
Page 72: Scrollpumpe Entsorgen
4. Führen Sie nicht kontaminierte Bauteile der Wiederverwertung zu. 5. Entsorgen Sie das Produkt oder Bauteile sicher gemäß den örtlich geltenden Bestimmungen. 10.5 Scrollpumpe entsorgen Pfeiffer Vacuum Scrollpumpen enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. 1. Trennen Sie die Antriebselektronik. 2. Demontieren Sie den Motor. -
Page 73: Störungen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall... -
Page 74: Fehlermeldungen
Störungen 11.3 Fehlermeldungen Fehlermeldungen werden auf dem Dashboard und in der Navigationsleiste angezeigt. Zusätzlich finden Sie eine Fehlermeldungshistorie im Nachrichten Menü. Eine ausführlichere Erklärung der Fehlermel- dungen finden Sie in den Betriebsanleitungen der jeweiligen Einzelkomponenten. Fehlermeldungen Bei Fehlermeldungen erscheint ein Warnsymbol links in der Navigationsleiste und dem "Systemstatus"... -
Page 75: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Page 76 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Page 77: Zubehör
Zubehör 13 Zubehör Empfehlung Beachten Sie bitte die Zubehörlisten der Einzelkomponenten in deren Betriebsanleitung oder online unter Zubehörportfolio für hybridgelagerte Turbopumpen. 77/162... -
Page 78: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●... -
Page 79: Technische Daten
Technische Daten und Abmessungen 14.2 Technische Daten 14.3 Maßbilder HiCube Neo – Tischgerät Abb. 77: Abmessungen HiCube Neo – Tischgerät Abmessungen in mm Maße HiCube 80 Neo HiCube 80 Neo HiCube 80 Neo Flansch ISO-KF ISO-K CF-F 775 mm 766 mm 772 mm 204 mm 204 mm 204mm... - Page 80 Technische Daten und Abmessungen Maße HiCube 700 Neo HiCube 700 Neo Flansch ISO-K CF-F 649 mm 661 mm 255 mm 255 mm 205 mm 205 mm Tab. 27: Abmessungen HiCube 700 Neo HiCube Neo – Standgerät Abb. 78: Abmessungen HiCube Neo – Standgerät Abmessungen in mm Maße HiCube 80 Neo...
- Page 81 DIN EN IEC 63000 : 2019 DIN EN 62061 : 2013 DIN EN 61326-1 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
- Page 82 EN IEC 63000:2018 EN 62061:2005 + A1:2013 EN 61326-1:2013 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 83 Table of contents Table of contents About this manual Validity 1.1.1 Applicable documents 1.1.2 Variants Target group Conventions 1.3.1 Instructions in the text 1.3.2 Pictographs 1.3.3 Stickers on product 1.3.4 Abbreviations Safety General safety information Safety instructions Safety precautions Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Product description...
- Page 84 10.4 Dispose of multi-stage roots pumps 10.5 Disposing of the scroll pump 10.6 Dispose of diaphragm pumps Malfunctions 11.1 General 11.2 Troubleshooting 11.3 Malfunction messages Service solutions by Pfeiffer Vacuum Accessories Technical data and dimensions 14.1 General 14.2 Technical data 84/162...
- Page 85 Table of contents 14.3 Dimension drawings EC Declaration of Conformity UK Declaration of Conformity 85/162...
- Page 86 List of tables List of tables Tbl. 1: Stickers on product Tbl. 2: Abbreviations used in this document Tbl. 3: Limits of use of HiCube Neo Tbl. 4: Symbols and colors of the status and components icons Tbl. 5: HiCube Neo desktop model | Component combinations Tbl.
- Page 87 Adding new device Fig. 45: Parameter list of a device Fig. 46: Viewing and editing detailed information Fig. 47: Filtering parameter list by Pfeiffer Vacuum code/name Fig. 48: HiCube Neo help page Fig. 49: HiCube Neo logs Fig. 50: Overview of all messages Fig.
- Page 88 List of figures Fig. 57: Finishing an update Fig. 58: Overview of all users Fig. 59: Log in as a service user Fig. 60: Removing electrical connections Fig. 61: Unscrewing top shell – desktop model Fig. 62: Removing turbopump – desktop model Fig.
-
Page 89: About This Manual
Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status. -
Page 90: Pictographs
About this manual Individual action step A horizontal, solid triangle indicates the only step in an action. ► This is an individual action step. Sequence of multi-part action steps The numerical list indicates an action with multiple necessary steps. 1. Step 1 2. -
Page 91: Abbreviations
About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product – desktop model 1 Note: Read the operating instructions Electrical voltage (power supply pack) warning sign 2 Rating plate Warranty seal Fig. 2: Position of the stickers on the product – free-standing model 1 Note: Read the operating instructions Electrical voltage (power supply pack) warning sign 2 Rating plate... -
Page 92: Tbl. 2: Abbreviations Used In This Document
About this manual Abbreviation Meaning in this document RS-485 Standard for a physical interface for asynchronous serial data transmission (Recom- mended Standard) Temperature (in °C) Turbopump electronic drive unit (turbo controller) Universal Serial Bus Tbl. 2: Abbreviations used in this document 92/162... -
Page 93: Safety
Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►... - Page 94 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Risk of fatal injury due to electric shock on account of incorrect installation The device's power supply uses life-threatening voltages.
-
Page 95: Safety Precautions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892. -
Page 96: Limits Of Use Of Product
Safety General safety precautions when handling the product ► Observe all applicable safety and accident prevention regulations. ► Check that all safety measures are observed at regular intervals. ► Do not expose body parts to the vacuum. ► Always ensure a secure connection to the earthed conductor (PE). ►... -
Page 97: Proper Use
Safety 2.5 Proper use ● Utilize the turbo pumping station exclusively for generating a high vacuum. ● Utilize the turbo pumping station only in closed indoor areas. ● Operate the as-delivered variant of the turbo pumping station only with the accessories approved for it. -
Page 98: Product Description
Product description 3 Product description 3.1 Function HiCube Neo model series turbo pumping stations are ready-to-connect, fully automatic pump units. The turbo pumping station is designed as a portable desktop model, or mobile free-standing model; it con- sists of a turbopump and a backing pump specially matched to it. Fig. -
Page 99: Drive
At excessively high temperatures, the electronic drive unit automatically reduces the drive power. 3.2 Identifying the product ► To ensure clear identification of the product when communicating with Pfeiffer Vacuum, always keep all of the information on the rating plate to hand. -
Page 100: Product Features
Product description 3.3 Product features 3.3.1 HiCube Neo desktop model combination options Feature HiCube Neo desktop model DN 40 ISO-KF DN 100 ISO-K HV flange DN63 ISO-K DN 100 CF-F DN 63 CF-F HiPace 80 Neo PT 0660 BN Turbopump HiPace 300 PT 0735 BN HiPace 300 H PT 0692 BN... -
Page 101: Hicube Neo Free-Standing Model Combination Options
Product description 3.3.2 HiCube Neo free-standing model combination options Feature HiCube Neo free-standing model HV flange DN 40 ISO-KF DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K DN 200 ISO-K DN63 ISO-K DN 100 CF-F DN 160 CF-F DN 200 CF-F DN 63 CF-F Turbopump HiPace 80 Neo PT 0660 BN... -
Page 102: Scope Of Delivery
Product description Feature HiCube Neo free-standing model Fore-vacuum safety valve optional PM 0263 BN Optional, with CF flange only PT 0233 BN Housing heater Tbl. 8: HiCube Neo free-standing model | Accessories 3.4 Scope of delivery ● HiCube Neo turbo pumping station ●... -
Page 103: Transportation And Storage
Transportation and Storage 4 Transportation and Storage 4.1 Transporting the pumping station WARNING Danger of serious injury due to falling objects Due to falling objects there is a risk of injuries to limbs through to broken bones. ► Take particular care and pay special attention when transporting products manually. ►... -
Page 104: Store Pumping Station
Transportation and Storage 3. Always transport the turbo pumping station upright, with its base downwards. 4. Always place turbo pumping station securely on an adequately sized, level surface. HiCube Neo – free-standing model Fig. 7: Transporting the pumping station without packaging – free-standing model 1 Lifting equipment Protective cap 2 Eye bolt, 4×... -
Page 105: Installation
Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond. -
Page 106: Anchor Pumping Station
Installation 5.3 Anchor pumping station CAUTION Danger of injury due to the pumping station tipping or rolling away Superstructural parts change the center of gravity. There is a danger of crushing due to rolling away or tipping. ► Place the pumping station on a flat installation surface. ►... -
Page 107: Connecting The High Vacuum Side
● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump. -
Page 108: Using Splinter Shield Or Protective Screen
Installation Designing counter flange ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. Turbo pumping sta- Applied Super- Flatness Tensile Screw in Magnetic Heat in- tion structural torque strength depth field... -
Page 109: Using The Vibration Compensator
► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. Pfeiffer Vacuum vibration compensators are suitable for use on vibration-sensitive systems. -
Page 110: Attaching Iso-K Flange Onto Iso-K
Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure. -
Page 111: Attaching Cf Flange To Cf-F
Installation Connection of hexagon head set screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum for the connection. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange on the turbopump. 3. Insert the snap ring into the side groove on the high vacuum flange of the turbopump. -
Page 112: Fig. 12: Flange Connection Cf-F, Hexagon Head Screw And Through Hole
Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 113: Connecting Exhaust Side
Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange. -
Page 114: Fig. 15: Example Of Exhaust Connection Of Mvp
Installation HiCube Neo – desktop model Fig. 15: Example of exhaust connection of MVP 1 Diaphragm pump Exhaust silencer (included in shipment) Connecting exhaust side – desktop model 1. Choose a minimum exhaust line cross section equal to the size of the exhaust connection. 2. -
Page 115: Filling Up Operating Fluid
Vacuum are also excluded. ► Only use approved operating fluids. ► Only use other application-specific operating fluids after consultation with Pfeiffer Vacuum. Use of operating fluids Only applies to HiCube Neo free-standing models with a rotary vane pump as the backing pump. -
Page 116: Fig. 19: Filling Up With Operating Fluid - Smartvane
Installation Fig. 19: Filling up with operating fluid – SmartVane 1 Filler Tube Filler screw with seal 2 Operating Fluid Bottle Rotary vane pump Fig. 20: Filling up with operating fluid – Duo 1 Rotary vane pump Operating Fluid Bottle 2 Filler screw with seal Filler Tube 116/162... -
Page 117: Connecting Accessories
AccessLink socket "accessory A1" Connecting accessory devices for TC 80 and TC 110 ► Use Pfeiffer Vacuum accessories on the AccessLink sockets on the pumping station with corre- sponding connection cables or adapters. ► Configure the desired accessory output via RS-485 using the operating interface or PC. -
Page 118: Connecting To Mains Power Supply
Accessory connection "accessory A" Connecting accessory devices for TC 400 ► Utilize Pfeiffer Vacuum accessories on the accessory connections of the electronic drive unit with corresponding connection cables or adapters. ► Configure the desired accessory output via RS-485 using the operating interface or PC. -
Page 119: Fig. 23: Connecting To Mains Power Supply
Installation Fig. 23: Connecting to mains power supply 1 Main switch Power supply cable 2 Power supply plug Connecting to mains power supply 1. Make sure that the main switch is off before connecting. 2. Always ensure a secure connection to the earthed conductor (PE). 3. -
Page 120: Interfaces And Connections
Interfaces and connections 6 Interfaces and connections The HiCube Neo pumping station has an Ethernet interface for communication and a USB interface, an interface labeled "RS-485," and a "gauge/IO" option module, which enable an exchange of information between the HiCube Neo and peripherals provided by the customer. 6.1 Ground terminal DANGER Electric shock due to missing internal earthed conductor... -
Page 121: Usb" Connection
► Connect only suitable devices to the bus system. The interface designated “RS-485” is intended for connecting a Pfeiffer Vacuum control unit or an exter- nal PC. The connections are galvanically safe and are isolated from the maximum supply voltage for the electronic drive unit. -
Page 122: Gauge/Io Option
Pressure measurement with the OmniControl The OmniControl offers a precise pressure display with existing gauge/IO function. The option designated “gauge/IO” in the OmniControl enables the connection of a Pfeiffer Vacuum pressure gauge. The connections in the OmniControl with integrated power supply pack are galvanically safe and are isolated from the maximum supply voltage for the OmniControl. -
Page 123: Operation
Operation 7 Operation NOTICE Damage to the device due to unintended operation Unintended operation can result in damage to the device. ► To ensure correct settings, ensure that the operating instructions are available to qualified per- sonnel and operators. 7.1 Dashboard The dashboard appears automatically when you switch on the HiCube Neo pumping station. The dash- board provides information about the operating status of the connected pump, the system status, the pressure (if the gauge is connected), the status of the components in operation/during shutdown, the parameter list, and the actual rotation speed. -
Page 124: Submenu
Operation Fig. 29: Main menu for HiCube Neo 1 Dashboard Help 2 Trend menu Date and time 3 Settings Language selection (DE/EN) 4 Devices Profile 5 Messages 7.3 Submenu The submenu appears after you tap in the main menu. You can navigate to the general settings, the network, the units, and device updates from this menu. -
Page 125: Tbl. 16: Status Information
Operation Fig. 31: Calling up the Info panel 1 Calling up the Info panel Vacuum diagram Calling up the Info panel ► Tap to call up the Info panel of the vacuum diagram. Fig. 32: Vacuum diagram Info panel You can access the individual components directly by tapping on the components in the vacuum dia- gram. -
Page 126: Switching Pumping Station On/Off
Operation You can navigate directly from the dashboard to the parameters of a device by tapping on the individual component in the vacuum diagram. 7.5 Switching pumping station on/off WARNING Risk of cuts on moving, sharp-edged parts when reaching into the open high vacuum flange With the high vacuum flange open, access to sharp-edged parts is possible. -
Page 127: Trends
Operation Fig. 34: Start pumping station 1 Display indicating pumping station in operation Actual rotation speed 2 Status of the components during operation Start pumping station 1. Tap the Dashboard button in the main menu. 2. Tap the ON/OFF switch to start the pumping station. Fig. -
Page 128: Adding And Editing Trends
Operation Fig. 36: Trend overview page HiCube Neo 1 Pressure value display (pressure) Pump temperature display (pump temper- ature) 2 Actual rotation speed display (actual rotation speed) [P2] Drive current display (drive current) 3 [P1] Drive current display (drive current) Device overview Turbopump Gauges... -
Page 129: Viewing Trend Details
Operation Fig. 38: Deleting trends Deleting trends 1. Tap the Edit Trend Dashboard button to edit the dashboard. – You see an overview of all the added trends. 2. Select the parameters that you want to delete. 3. Tap [Remove] to delete the selected parameters. 7.6.2 Viewing trend details Fig. -
Page 130: Device Management
Operation Viewing detailed value ► Tap on the required time in the trend overview to view the exact value for this time. 7.7 Device management Fig. 41: Device overview screen 1 Component displays Add device The overview screen showing all the added devices appears when you tap the Devices button in the main menu. -
Page 131: Adding New Device
Operation 7.7.1 Adding new device Fig. 43: Entering information Entering information 1. To add information about a new device, tap [Add Device] on the device overview screen. 2. Enter the name, ID, and connection of the device in the corresponding fields. –... -
Page 132: Help Page
► To filter the parameters, enter the desired name/code in the search box. – You can find Pfeiffer Vacuum codes and names in the operating instructions for backing pumps and the electric drive unit (see the list of operating instructions under "Product descrip- tion"). -
Page 133: Messages
Operation Fig. 48: HiCube Neo help page 1 Display of the digital rating plate Display of the software and hardware versions of a device The log overview shows you information about the level, origin, and time of a log. In the Message col- umn, you can view detailed information about a log. -
Page 134: Settings
Operation Fig. 51: View detailed information of a message 1 Display with detailed information of a message View detailed information of a message ► Tap on the desired message to call up the detailed view of this message. The detailed view of a message gives you the following information: ●... -
Page 135: 2Network Settings
Operation 7.10.2 Network settings Fig. 53: Change IP address 1 Ethernet [eth0] Subnet mask 2 DHCP Gateway 3 IP Address (IP address) Change IP address ► Tap the Settings button in the main menu. ► Tap [Network]. ► Tap [Ethernet (eth0)] to change the IP address. –... -
Page 136: 1Uploading Firmware To Device
Operation 7.11.1 Uploading firmware to device Fig. 55: Uploading firmware to device Uploading firmware to device 1. Tap on [Cloud update]. – You can only update the firmware via the web or the cloud. It is not possible to use a USB stick to update the firmware. -
Page 137: Users
Operation Finishing an update ► If errors occurred, restart the update procedure. ► If the internet connection was interrupted during the update procedure, you see a "Connection in- terrupted" message. – The update procedure is resumed automatically as soon as an internet connection is reestab- lished. -
Page 138: Maintenance
2. Clean the turbopump station exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. Consult Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or impure processes. 4. For all other cleaning, maintenance or repair work, contact the appropriate Pfeiffer Vacuum Serv- ice location. 138/162... -
Page 139: Removing Components For Maintenance
Maintenance 8.3 Removing components for maintenance NOTICE Malfunction due to changing the connection configuration The pumping station connections are pre-configured at the factory. If the control lines on the connec- tor are mixed up, this causes the pumping station to malfunction or fail. ►... -
Page 140: Removing Turbopump
Maintenance Removing electrical connections 1. For water cooling: Shut off the cooling water feed. 2. Pull the power supply cable out of the pumping station. 3. Disconnect and remove the accessory control lines. 8.3.2 Removing turbopump Factory settings All turbopump accessory connections are preconfigured at the factory. Any confusion will cause malfunctions or operational failure. -
Page 141: Fig. 62: Removing Turbopump - Desktop Model
Maintenance Fig. 62: Removing turbopump – desktop model 1 Fixing screws with washer Turbopump 2 Top shell Removing turbopump – desktop model 1. Push the top shell with turbopump to the rear and off the pumping station. – Avoid bending the legs of the top shell. 2. -
Page 142: Removing The Backing Pump
Maintenance 8.3.3 Removing the backing pump HiCube Neo – desktop model Removing backing pump from desktop model To remove the backing pump from the pumping station, you must first remove the top shell with the turbopump from the pumping station. Required tools ●... -
Page 143: Installing Backing Pump
Maintenance Fig. 65: Removing backing pump – HiScroll 1 HiScroll Fixing screw with washer, 4× Removing backing pump – HiScroll 1. Detach all the connector plugs from the electronic drive unit and the AccessLink sockets. 2. Detach the fore-vacuum connection from the HiScroll. –... -
Page 144: Fig. 66: Installing Backing Pump - Desktop Model
Maintenance Fig. 66: Installing backing pump – desktop model 1 Fixing screw with washer, 4× Rail, 2× 2 Backing pump Installing backing pump – desktop model 1. Position the backing pump on the rails in the pumping station. 2. Screw the 4 fixing screws with washers into the rails. –... -
Page 145: Install Turbopump
Maintenance Installing backing pump – SmartVane and Duo 1. Position the SmartVane or Duo on the rails in the pumping station. 2. Screw the 4 fixing screws with washers into the rails. – Tightening torque: 19 Nm 3. Install the fore-vacuum connection. –... -
Page 146: Fig. 69: Installing Top Shell - Desktop Model
Maintenance Fig. 69: Installing top shell – desktop model 1 Screw, 4× Screw, 2× 2 Top shell Underside Installing top shell – desktop model 1. Screw the 4 screws into the top shell. – Tightening torque: 1.4 Nm 2. Screw the 2 screws into the bottom shell. –... - Page 147 Maintenance Installing turbopump – free-standing model 1. Position the turbopump on the pumping station. 2. Screw the fixing screws with washers into the housing of the pumping station. – Tightening torque: varies depending on the turbopump version 3. Install the fore-vacuum connection. –...
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Page 148: Decommissioning
2. Clean the turbopump station exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to fully clean the pumping station. 4. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to fully clean the pumping station components. 5. Install the pumping station according to these instructions (see chapter “Installation”, page... -
Page 149: Recycling And Disposal
4. Separate the components into recyclable materials. 5. Recycle the non-contaminated components. 6. Dispose of the product or components safely according to locally applicable regulations. 10.4 Dispose of multi-stage roots pumps Pfeiffer Vacuum roots pumps from the ACP series contain materials that you must recycle. 149/162... -
Page 150: Disposing Of The Scroll Pump
5. Dispose of the product or components in a safe manner according to locally applicable regula- tions. 10.5 Disposing of the scroll pump Pfeiffer Vacuum scroll pumps contain materials which must be recycled. 1. Disconnect the electronic drive unit. 2. Dismantle the motor. -
Page 151: Malfunctions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892. -
Page 152: Malfunction Messages
Malfunctions 11.3 Malfunction messages Error messages are displayed on the dashboard and in the navigation bar. You will additionally find an error message history in the Messages menu. A more detailed explanation of the error messages can be found in the operating instructions for the individual components. Malfunction messages For error messages, a warning icon appears on the left side of the navigation bar and in the “System Status”... -
Page 153: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum
We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality. - Page 154 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
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Page 155: Accessories
Accessories 13 Accessories We recommend Please refer to the accessories list for the individual components in their respective operat- ing instructions or online at Accessories portfolio for hybrid bearing turbopumps. 155/162... -
Page 156: Technical Data And Dimensions
Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●... -
Page 157: Technical Data
Technical data and dimensions 14.2 Technical data 14.3 Dimension drawings HiCube Neo – desktop model Fig. 73: Dimensions HiCube Neo – desktop model Dimensions in mm Dimensions HiCube 80 Neo HiCube 80 Neo HiCube 80 Neo Flange ISO-KF ISO-K CF-F 775 millimeters 766 millimeters 772 millimeters 204 millimeters... -
Page 158: Tbl. 27: Dimensions Hicube 700 Neo
Technical data and dimensions Dimensions HiCube 700 Neo HiCube 700 Neo Flange ISO-K CF-F 649 millimeters 661 millimeters 255 millimeters 255 millimeters 205 millimeters 205 millimeters Tbl. 27: Dimensions HiCube 700 Neo HiCube Neo – free-standing model Fig. 74: Dimensions HiCube Neo – free-standing model Dimensions in mm Dimensions HiCube 80 Neo... - Page 159 DIN EN IEC 63000: 2019 DIN EN 62061: 2013 DIN EN 61326-1: 2013 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 160 EN 62061:2005 + A1:2013 EN 61326-1:2013 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
- Page 161 161/162...
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