Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 P Operating Instructions Manual
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 P Operating Instructions Manual

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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 700 P
Turbopumpe
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Summary of Contents for Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 P

  • Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 700 P Turbopumpe Turbopump...
  • Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Page 3: Table Of Contents

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
  • Page 4 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Page 5 Tab. 15: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile Tab. 17: Zubehör HiPace 700 Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 20: Technische Daten für HiPace 700 P | 48 V Tab. 21: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 5/124...
  • Page 6 Abb. 22: Montage der Antriebselektronik TC 400 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 700 P Abb. 24: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 ISO-K Abb. 25: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 CF-F Abb. 26: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 ISO-F...

  • Page 7: Zu Dieser Anleitung

    Pfeiffer Vacuum Download Center. 1.1.2 Varianten ● HiPace 700 P, DN 160 ISO-K, TC 400, 48 V DC ● HiPace 700 P, DN 160 CF-F, TC 400, 48 V DC ● HiPace 700 P, DN 160 ISO-F, TC 400, 48 V DC 1.2 Zielgruppe...

  • Page 8: Piktogramme

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 700 P der Vakuumpumpe. Mod. PM PXX XXX Typenschild der Antriebselektronik Type 12...

  • Page 9: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Hochkompression Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara- meter Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...

  • Page 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Page 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Page 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Page 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...

  • Page 14: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...

  • Page 15: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...

  • Page 16: Personenqualifikation

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Page 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Page 18: Produktbeschreibung

    Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Die Eigenschaftsbezeichnung "P" kennzeichnet prozessgeeignete Turbopumpen. Sie sind unempfind- lich gegen Staub und korrosive Gase. Abb. 2: Aufbau HiPace 700 P 1 Antriebselektronik TC 400 Flutschraube 2 Erdungsanschluss Anschlusskupplungen für Kühlwasser 3 Pumpengehäuse, Edelstahl...

  • Page 19: Produkt Identifizieren

    Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.

  • Page 20: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.

  • Page 21: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.

  • Page 22: Turbopumpe Am Unterteil Befestigen

    Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►...

  • Page 23: Erdbebensicherheit Berücksichtigen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 700 4200 Nm...

  • Page 24: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart...

  • Page 25: Einbaulagen

    Installation 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich. ± 25° max Abb. 4: Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen...

  • Page 26: Abb. 6: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Page 27: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Page 28: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.

  • Page 29: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.

  • Page 30: Vorvakuumseite Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.

  • Page 31: Kühlwasseranschluss

    Installation 5.5 Kühlwasseranschluss WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ►...

  • Page 32: Zubehör Anschließen

    2. Stecken Sie die Schläuche für Vor- und Rücklauf des Kühlwassers bis zum Anschlag in je einen Anschluss an der Turbopumpe. 5.6 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.

  • Page 33: Elektrische Versorgung Anschließen

    ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.7.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels...

  • Page 34: Elektrischen Anschluss Herstellen

    1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.

  • Page 35: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.

  • Page 36: Betriebsarten

    Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch. Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit 1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An- schluss der Antriebselektronik. 2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.

  • Page 37: Turbopumpe Einschalten

    ► Verbinden Sie das Netzteil mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz. ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. 37/124...

  • Page 38: Temperaturüberwachung

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
  • Page 39 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.

  • Page 40: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.

  • Page 41: Betriebsmittelspeicher Austauschen

    ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Scannen Sie den QR-Code oder klicken Sie hier und sehen Sie den Service Level 1, Betriebsmittelspeicherwechsel. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ● elektrische Versorgung unterbrochen ●...

  • Page 42: Betriebsmittelspeicher Montieren

    Wartung Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 O-Ring Kapillarstab (9×) 2 Verschlussdeckel Spritzspitze 3 Innensechskantschraube Schutzdeckel 4 Betriebsmittelspeicher Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus.

  • Page 43: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 20: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 2 Kapillarstäbe (9×) Innensechskantschraube 3 Spritzspitze Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher mit der Filzseite in Richtung der Spritzspitze in die Lager- fassung.

  • Page 44: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".

  • Page 45: Antriebselektronik Installieren

    820 Hz Tab. 14: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Steuergerät ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Steuergeräts. 2. Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik.
  • Page 46 Wartung Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 46/124...

  • Page 47: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.

  • Page 48: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Page 49: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Page 50 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- Steuergerät: Pin 1-3...
  • Page 51 Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.

  • Page 52: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Page 53 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Page 54: Ersatzteile Hipace 700 P

    Ersatzteile HiPace 700 P 12 Ersatzteile HiPace 700 P Abb. 23: Ersatzteile HiPace 700 P Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Menge Antriebselektronik siehe Typenschild abhängig vom Anschlus- TC 400 spanel Betriebsmittelspeicher PM 143 452 -T inkl. Kapillarstäbe Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile...

  • Page 55: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Page 56 Zubehör Auswahlfeld Bestellnummer Befestigungssatz für DN 160 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Stift- PM 016 465 -T schrauben Befestigungssatz für DN 160 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Splitter- PM 016 466 -T schutz, Stiftschrauben Befestigungssatz für DN 160 ISO-F, inklusive Zentrierring beschichtet, Schutz- PM 016 467 -T gitter, Stiftschrauben Elastomerdichtung, FKM, DN 160 CF...
  • Page 57 Zubehör Auswahlfeld Bestellnummer Abschlusswiderstand für RS-485 PT 348 105 -T Trennverbinder für RS-485 PT 348 132 -T TIC 010, Adapter für zwei Sensoren PT R70 000 RPT 010, Digitaler Piezo/Pirani Sensor PT R71 100 IKT 010, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Niedrigstromausführung PT R72 100 IKT 011, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Hochstromausführung PT R73 100 Y-Verteiler M12 für RS-485...

  • Page 58: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Page 59 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung erweitert HiPace® 700 P mit HiPace® 700 P mit HiPace® 700 P mit TC 400 TC 400 TC 400 Kompressionsverhältnis für 3 · 10 3 · 10 3 · 10 Kompressionsverhältnis für N > 1 · 10 >...

  • Page 60: Medienberührende Werkstoffe

    Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 21: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.4 Abmessungen Maße in mm Ø8 DN 160 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4” M8 (6x) 145.5 Abb. 24: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 ISO-K 60/124...

  • Page 61: Abb. 25: Abmessungen Hipace 700 P | Tc 400 | Dn 160 Cf-F

    Ø 8 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb. 25: Abmessungen HiPace 700 P | TC 400 | DN 160 CF-F Ø 8 DN 160 ISO-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb.

  • Page 62: Eg Konformitätserklärung

    ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

  • Page 63: Konformitätserklärung

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Page 64 64/124...
  • Page 65 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
  • Page 66 Operating modes 6.2.1 Operating without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.3 Operation via connection "E74" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
  • Page 67 Tbl. 17: HiPace 700 accessories Tbl. 18: Conversion table: Pressure units Tbl. 19: Conversion table: Units for gas throughput Tbl. 20: Technical data for HiPace 700 P | 48 V Tbl. 21: Materials that make contact with the process media 67/124...
  • Page 68 Installation of electronic drive unit TC 400 Fig. 23: Spare parts HiPace 700 P Fig. 24: Dimensions HiPace 700 P| TC 400 | DN 160 ISO-K Fig. 25: Dimensions HiPace 700 P| TC 400 | DN 160 CF-F Fig. 26:...

  • Page 69: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity This operating instructions is a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions de- scribe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in this op- erating instructions refers to the product's current development status.

  • Page 70: Pictographs

    This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate (example) The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 700 P of the vacuum pump. Mod. PM PXX XXX Rating plate of the electronic drive unit...

  • Page 71: Abbreviations

    About this manual 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) High compression Handheld Programming Unit.

  • Page 72: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Page 73 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
  • Page 74 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
  • Page 75 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.

  • Page 76: Safety Precautions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.

  • Page 77: Limits Of Use Of Product

    Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...

  • Page 78: Personnel Qualification

    The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.

  • Page 79: Personnel Qualification For Maintenance And Repair

    ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.

  • Page 80: Product Description

    Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. The feature description "P" designates turbopumps suitable for the process. They are insensitive against dust and corrosive gases.

  • Page 81: Identifying The Product

    ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.

  • Page 82: Transportation And Storage

    ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.

  • Page 83: Installation

    Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.

  • Page 84: Connecting The High Vacuum Side

    ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.

  • Page 85: Considering Earthquake Protection

    Safety connections, customer-side 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed of the turbo- pump reduces according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.

  • Page 86: Using The Vibration Compensator

    4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps of the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range.

  • Page 87: Attaching Iso-K Flange To Iso-F

    Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.

  • Page 88: Attaching Iso-F Flange To Iso-F

    Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.

  • Page 89: Attaching Cf Flange To Cf-F

    Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.

  • Page 90: Fig. 12: Flange Connection Cf-F, Hexagon Head Screw And Through Hole

    Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.

  • Page 91: Connecting The Fore-Vacuum Side

    Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.

  • Page 92: Cooling Water Connection

    1. With rigid pipe connections, include bellows to attenuate external vibrations. 2. Install a fore-vacuum connection with small flange components, e.g. connection elements and pipe components DN 25 ISO-KF from the Pfeiffer Vacuum Components Shop. 3. Implement measures to counteract the backflow of operating fluids or condensate from the fore- vacuum area.

  • Page 93: Tbl. 8: Requirements On The Cooling Water Composition

    Installation Parameter Cooling water Carbonate hardness, max. 10 °dH 12.53 °e 17.8 °fH 178 ppm CaC0 Chloride content, max. 100 mg/l Sulfate content, max. 240 mg/l Carbonic acid content, max. not detectable Ammonia content, max. not detectable Electrical conductivity, max. 500 µS/cm Particle size, max.

  • Page 94: Connecting Accessories

    ● The use of other accessories for turbopumps is possible and requires settings in the configuration of the electronic drive unit. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. ● For detailed information see the “Electronic drive unit TC 400” or “Electronic drive unit TC 700”...

  • Page 95: Grounding The Turbopump

    ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.7.1 Grounding the turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. Fig. 17:...

  • Page 96: Fig. 18: Connecting Electronic Drive Unit To Power Supply Pack

    2. Make sure that the power supply pack main switch is off prior to connection. 3. Use a suitable connection cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. 4. Insert the connecting cable into the connection "DCin" on the electronic drive unit and close the bayonet lock.

  • Page 97: Operation

    Simultaneous loading by means of high drive power (gas throughput, fore-vacuum pressure), high heat radiation, or strong magnetic fields results in uncontrolled heating of the rotor and can destroy the vacuum pump. ► Consult Pfeiffer Vacuum before combining varying loads on the vacuum pump. Lower limit val- ues apply. NOTICE...

  • Page 98: Operating Modes

    Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.

  • Page 99: Switching On The Turbopump

    6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. 99/124...

  • Page 100: Temperature Monitoring

    Operation Symbol LED status Display Meaning Currentless On, flashing "pumping station OFF", rotation speed ≤ 60 rpm Green On, inverse flashing "pumping station ON", set rotation speed not reached On, constant "pumping station ON", set rotation speed reached On, flashing "pumping station OFF", speed >...

  • Page 101: Tbl. 13: Factory Settings For Delayed Venting In Turbopumps

    General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.

  • Page 102: Maintenance

    5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes.

  • Page 103: Replacing Operating Fluid Reservoir

    Scan the QR code or click here to view Service Level 1 Replacement of operating flu- id reservoir. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ● Vacuum system vented to atmospheric pressure ●...

  • Page 104: Installing The Operating Fluid Reservoir

    Maintenance Fig. 19: Removing the operating fluid reservoir 1 O-ring Capillary rod (9×) 2 Screw cap Injection tip 3 Allen head screw Protective cover 4 Operating fluid reservoir Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2.

  • Page 105: Replacing Electronic Drive Unit

    Maintenance Fig. 20: Installing the operating fluid reservoir 1 Operating fluid reservoir Screw cap 2 Capillary rods (9×) Allen head screw 3 Injection tip Protective cover 4 O-ring Installing the operating fluid reservoir 1. Insert all new capillary rods with the tweezers. 2.

  • Page 106: Removing Electronic Drive Unit

    Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1.

  • Page 107: Confirming Speed Specification

    5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units.

  • Page 108: Decommissioning

    2. Clean the turbopump externally with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.

  • Page 109: Recycling And Disposal

    ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...

  • Page 110: Malfunctions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.

  • Page 111: Tbl. 15: Troubleshooting Turbopumps

    ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].

  • Page 112: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Page 113 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Page 114: Spare Parts Hipace 700 P

    Spare parts HiPace 700 P 12 Spare parts HiPace 700 P Fig. 23: Spare parts HiPace 700 P Posi- Designation Order number Remark Pieces Quanti- tion Electronic drive unit refer to the rating plate depending on the TC 400 connection panel...

  • Page 115: Accessories

    Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.
  • Page 116 Accessories Selection field Part number Mounting kit for DN 160 ISO-F, including coated centering ring, splinter shield, PM 016 466 -T stud screws Mounting kit for DN 160 ISO-F, including coated centering ring, protective PM 016 467 -T screen, stud screws Elastomer seal, FKM, DN 160 CF 402DFL160-S2 Elastomer seal, FKM, DN 160 CF...

  • Page 117: Tbl. 17: Hipace 700 Accessories

    Accessories Selection field Part number Power separator for RS-485 PT 348 132 -T TIC 010, adapter for two sensors PT R70 000 RPT 010, digital Piezo/Pirani sensor PT R71 100 IKT 010, digital cold cathode sensor, low current PT R72 100 IKT 011, digital cold cathode sensor, high current PT R73 100 Y-connector M12 for RS-485...

  • Page 118: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Page 119 Technical data and dimensions Type designation extended HiPace® 700 P with HiPace® 700 P with HiPace® 700 P TC 400 TC 400 with TC 400 Compression ratio for He 3 · 10 3 · 10 3 · 10 Compression ratio for N >...

  • Page 120: Substances In Contact With The Media

    Tbl. 21: Materials that make contact with the process media 14.4 Dimensions Dimensions in mm Ø8 DN 160 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4” M8 (6x) 145.5 Fig. 24: Dimensions HiPace 700 P| TC 400 | DN 160 ISO-K 120/124...

  • Page 121: Fig. 25: Dimensions Hipace 700 P| Tc 400 | Dn 160 Cf-F

    Ø 8 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Fig. 25: Dimensions HiPace 700 P| TC 400 | DN 160 CF-F Ø 8 DN 160 ISO-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Fig.

  • Page 122: Ec Declaration Of Conformity

    DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

  • Page 123: Declaration Of Conformity

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

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