Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 I Operating Instructions Manual
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 I Operating Instructions Manual

Turbopump prepared for temperature management system
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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 1200 I | IU
Turbopumpe für Temperatur Management System vorbereitet
Turbopump prepared for temperature management system
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  • Page 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 1200 I | IU Turbopumpe für Temperatur Management System vorbereitet Turbopump prepared for temperature management system...
  • Page 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Page 3: Table Of Contents

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktionsmerkmale 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
  • Page 4 5.7.3 Elektrische Schutzmaßnahmen einrichten Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.3 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät Turbopumpe einschalten Nach umbauen mit TMS betreiben 6.4.1 Stellbefehle 6.4.2 TMS Anschluss 6.4.3 Ablaufbeschreibung TMS Betriebsüberwachung 6.5.1 Betriebsanzeige über LED...
  • Page 5 Inhaltsverzeichnis 14.4 Abmessungen EG Konformitätserklärung UK Konformitätserklärung 5/146...
  • Page 6 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Aufkleber auf dem Produkt Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument Tab. 3: Zulässige Umgebungsbedingungen Tab. 4: Produktbezeichnung von HiPace Turbopumpen Tab. 5: Merkmale der Turbopumpen Tab. 6: Abgegebene Antriebsleistung in Abhängigkeit der bereitgestellten Netzspan- nung Tab. 7: Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuuman- schlusses Tab.
  • Page 7 Abb. 28: Rohrverschraubungen demontieren Abb. 29: Rohrverschraubungen montieren Abb. 30: Ersatzteile HiPace 1200 I | IU Abb. 31: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-F Abb. 32: HiPace 1200 IU | DN 200 ISO-F Abb. 33: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-K Abb.

  • Page 8: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Page 9: Piktogramme

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Berlinerstr. 43 Typenschilder einzelner Baugruppen befinden sich am Unterteil D-35614 Asslar HiPace 1200 I | IU Mod. der Turbopumpe oder auf den betreffenden Anbauten. PM P06 XXX Type 1...

  • Page 10: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Kühlwasseranschluss Dieser Aufkleber beschreibt die Position für den Kühlwasserab- COOLING WATER OUT fluss der Turbopumpe. Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleistung. Ist verdeckt, unterhalb der Antriebelektronik aufgeklebt. Hinweis Sperrgasanschluss Dieser Aufkleber beschreibt die Position für den ausschließlichen PURGE...

  • Page 11: Markennachweis

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Leistungsschutzschalter (miniature circuit breaker) NEMA National Electrical Manufacturer Association Schutzleiter (protective earth) [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion RCCB Fehlerstromschutzschalter (residual current operated circuit breaker) remote...

  • Page 12: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Page 13 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Page 14 Sicherheit WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch pendelnde, kippende oder herabfallende Gegenstände Unsachgemäße Handhabung während der mechanischen Installation führt zur Gefahr von pendel- nden, kippenden oder herabfallenden schweren Lasten. Es besteht das Risiko von Quetschungen und Stoßen (z.B. an kollidierenden Flanschanschlüssen). Es besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen und Kopfverletzungen.
  • Page 15 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Page 16 Sicherheit WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über- druck. ► Sorgen Sie vor der Installation für Druckentlastung und Abkühlung des Kühlwassersystems. ►...

  • Page 17: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...

  • Page 18: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...

  • Page 19: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Page 20: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Page 21: Produktbeschreibung

    Das TMS verhindert kondensierbare Prozessrückstände durch die geregelte Aufheizung des Pumpen- gehäuses. Das Kühlsystem sorgt für die sichere und ausreichende Wärmeableitung ohne Energiever- lust beim Heizprozess. Abb. 2: Aufbau HiPace 1200 I | IU 1 Hochvakuumanschluss Kühlwasseranschluss, Ausgang 2 Ringschrauben Vorvakuumanschluss (DN 40 ISO-KF) 3 Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss...

  • Page 22: Produkt Identifizieren

    Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.

  • Page 23: Transport Und Lagerung

    ► Beachten Sie die Eigenschaftskürzel auf dem Typenschild. ► Lassen Sie das Betriebsmittel ab, bevor Sie die Vakuumpumpe bewegen oder transportieren. ► Befüllen Sie die Vakuumpumpe erst nach der mechanischen Installation mit Betriebsmittel. Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Transportverpackung und die Original-Schutzdeckel aufzu- bewahren. Produkt sicher transportieren 1.

  • Page 24: Transport In Vertikaler Raumlage

    60° 60° Abb. 3: Anschlagpunkte für den vertikalen Transport der Turbopumpe ohne Verpackung 1 HiPace 1200 I HiPace 1200 IU Hinweise für den vertikalen Transport 2 Ringschrauben sind im Lieferumfang enthalten und ab Werk fest mit der Turbopumpe verschraubt. 1. Transportieren Sie die Turbopumpe nur in ihrer gültigen Raumlage.

  • Page 25: Lagerung

    – Heben Sie die Ringschraube für die spätere Verwendung auf. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.

  • Page 26: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.

  • Page 27: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 1200 9800 Nm...

  • Page 28: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.

  • Page 29: Einbaulagen

    Installation 5.2.5 Einbaulagen HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung. ► Beachten Sie die Aufkleber über die gültige Raumlage auf der Vakuumpumpe. ►...

  • Page 30: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.

  • Page 31: Abb. 10: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Page 32: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Zentrierring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.

  • Page 33: Betriebsmittel Einfüllen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.

  • Page 34: Vorvakuumseite Anschließen

    Installation Abb. 17: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Standard Ver- sionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Abb. 18: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2.

  • Page 35: Kühlwasserversorgung Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.

  • Page 36: Kühlwasseranschluss Mit Schlauchtüllen Herstellen

    Installation Parameter Kühlwasser Aussehen ● filtriert ● mechanisch klar ● optisch klar ● keine Trübung ● kein Bodensatz ● frei von Fetten und Ölen pH-Wert 7 bis 9 Karbonathärte max. 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC0 Chloridgehalt max. 100 mg/l Sulfatgehalt max.

  • Page 37: Kühlwasseranschluss Mit Rohrverschraubungen Herstellen

    2 Kühlwassereingang, G 1/4" Einschraubtülle (2x) Vorgehen Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Verwendung eines Schmutzfängers in der Vorlaufleitung. 1. Schrauben Sie je eine Schlauchtülle mit Dichtring auf die Kühlwasseranschlüsse der Turbopum- – Anziehdrehmoment: Max. 15 Nm 2. Stecken Sie die Kühlwasservorlaufleitung auf die Schlauchtülle am bezeichneten Kühlwasserein- gang der Turbopumpe.

  • Page 38: Zubehör Anschließen An Turbopumpen Mit Tms

    ► Verändern Sie nicht die werkseitig voreingestellten Parameter für das TMS [P:036] und [P:038]. ► Lösen Sie keine Kabelverbindung während des Betriebs. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.

  • Page 39: Elektrische Versorgung Anschließen

    Zusätzliches Zubehör verwenden ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse. ► Verwenden Sie ggf. ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät zum konfigurieren. 5.7 Elektrische Versorgung anschließen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen...

  • Page 40: Elektrischen Anschluss Herstellen

    Sie haben 2 Möglichkeiten, den Netzanschluss für die Turbopumpe auszulegen. ► Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. ► Bestellen Sie ein passendes Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. ► Konfektionieren Sie das Netzanschlusskabel unter Verwendung der Anschlussbuchse HAN 3A aus dem Lieferumfang.

  • Page 41: Elektrische Schutzmaßnahmen Einrichten

    Installation 5.7.3 Elektrische Schutzmaßnahmen einrichten WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. Keine Notabschaltung Die Vakuumpumpe ist nicht mit einer Notabschaltung (EMS) oder mit einer elektrischen Verriegelung ausgestattet.

  • Page 42: Betrieb

    Das Fördern von Gasen mit unzulässig hohen Molekülmassen führt zur Zerstörung der Turbopumpe. ► Achten Sie auf den korrekt eingestellten Gasmodus [P:027] in der Antriebselektronik. ► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum, bevor Sie Gase mit größeren Molekülmassen (> 80) einsetzen.

  • Page 43: Betriebsarten

    Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch. Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit 1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An- schluss der Antriebselektronik. 2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.

  • Page 44: Turbopumpe Einschalten

    Betrieb 6.3 Turbopumpe einschalten WARNUNG Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge- gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier- enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.

  • Page 45: Nach Umbauen Mit Tms Betreiben

    Betrieb 6.4 Nach umbauen mit TMS betreiben 6.4.1 Stellbefehle Anzei- Bezeichnungen Funktionen Ein- min. max. ten- griffs- heit fault Konfiguration Zu- 0 = Lüfter (Dauerbetrieb) behöranschluss 1 = Flutventil, stromlos ge- schlossen 2 = Heizung 3 = Vorpumpe 4 = Lüfter (temperaturgeregelt 5 = Sperrgas 6 = immer "0"...

  • Page 46: Betriebsüberwachung

    ● Um die Solltemperatur zu halten, schaltet die Antriebselektronik im weiteren Verlauf das TMS aus oder ein. 6.5 Betriebsüberwachung 6.5.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status Anzeige...

  • Page 47: Ausschalten

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.

  • Page 48: Wartung

    8. Halten Sie die vorgeschriebene halbjährliche Prüffrist für elektrische Schutzeinrichtungen ein. 9. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 10. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an das zuständige Pfeiffer Vacuum Service Center.

  • Page 49: Betriebsmittel Wechseln

    Wartung 7.3 Betriebsmittel wechseln WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Das Betriebsmittel und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen aus den gepumpten Medien. ► Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten. ► Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si- cherheitsvorkehrungen.

  • Page 50: Betriebsmittel Einfüllen

    ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel erst nach der mechanischen Installation. ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel nur über eine der durch ein Ölkannen-Symbol gekennzeichnteten Einfüllschrauben. ► Wenden Sie sich im Falle von Unsicherheiten an Pfeiffer Vacuum. Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Betriebsmittel F3, 50 ml Benötigte Werkzeuge...

  • Page 51: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 25: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2. Verwenden Sie die Injektionsspritze und das Betriebsmittel aus dem Lieferumfang der Turbopum- 3.

  • Page 52: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.

  • Page 53: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    Bestätigung Nenndrehzahl [P:777] 1200 / 1500 630 Hz 1800 / 2300 525 Hz 2800 455 Hz Tab. 17: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● Ein angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Steuergerät. ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik. 53/146...

  • Page 54: Wiedermontage Der Rohrverschraubungen

    Wartung Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Steuergeräts. 2. Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik. 3. Stellen Sie den Parameter [P:794] auf "1" und aktivieren Sie den erweiterten Parametersatz. 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5.

  • Page 55: Abb. 29: Rohrverschraubungen Montieren

    Wartung Abb. 29: Rohrverschraubungen montieren 1 Überwurfmutter Markierung an der Überwurfmutter 2 Verschraubungskörper Markierung am Verschraubungskörper 3 Markierung am Rohr Rohrverschraubung montieren 1. Setzen Sie das Rohr bis auf Anschlag in die Rohrverschraubung ein. 2. Halten Sie den Verschraubungskörper fest und ziehen Sie mit dem Schraubenschlüssel die Über- wurfmutter in die ursprüngliche Position.

  • Page 56: Außerbetriebnahme

    2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit einem fusselfreien Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.

  • Page 57: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Page 58: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Page 59 ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3, der Antriebselektronik.
  • Page 60 RS-485 auf 0 = Aus und anschließend auf 1 = Ein und Störungsquittierung. ● Führen Sie eine differenzierte Fehleranalyse mit ei- nem Steuergerät durch. ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Kühlwasser hat das Isolati- ● Leck im Kühlwassersys- ● Ziehen Sie den Stecker der Heizung an der TMS-Box.

  • Page 61: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Page 62 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Page 63: Ersatzteile

    Ersatzteile 12 Ersatzteile Abb. 30: Ersatzteile HiPace 1200 I | IU Positi- Bezeichnung Größe Bestellnummer Bemerkung Antriebselektronik siehe Typenschild abhängig vom Anschlus- TC 1200 spanel Stecker E74 15-polig P 4723 110 je nach TC-Ausführung, (mit Brücken) Remotestecker 26-polig PM 061 378 X...

  • Page 64: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Page 65 Zubehör Benennung Bestellnummer Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring PM 016 962 -T beschichtet mit Schutzgitter, 6-kt Schrauben Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring PM 016 965 -T beschichtet, Stiftschrauben Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring PM 016 966 -T beschichtet mit Splitterschutz, Stiftschrauben Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring...

  • Page 66: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Page 67 Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiPace® 1200 I HiPace® 1200 HiPace® 1200 I HiPace® 1200 mit TC 1200, DN IU mit TC 1200, mit TC 1200, DN IU mit TC 1200, 200 ISO-F DN 200 ISO-F 200 ISO-K DN 200 ISO-K Saugvermögen für 1200 l/s 1200 l/s...

  • Page 68: Medienberührende Werkstoffe

    Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiPace® 1200 I HiPace® 1200 HiPace® 1200 I HiPace® 1200 mit TC 1200, DN IU mit TC 1200, mit TC 1200, DN IU mit TC 1200, 200 ISO-F DN 200 ISO-F 200 ISO-K DN 200 ISO-K Eingangsspan- 100 –...

  • Page 69: Abb. 31: Hipace 1200 I | Dn 200 Iso-F

    DN 40 ISO-KF Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Cooling water out Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Abb. 31: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-F G 1/8 G 1/8 DN 40 ISO-KF Cooling water out Swagelok tube 3/8" DN 200 ISO-F (SS-600-1-4RS) Cooling water in Swagelok tube 3/8"...

  • Page 70: Abb. 33: Hipace 1200 I | Dn 200 Iso-K

    G 1/8 G 1/8 DN 40 ISO-KF Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Abb. 33: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-K Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) G 1/8’’ DN 40 ISO-KF G 1/8” DN 200 ISO-K Abb.
  • Page 71 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Page 72 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Page 73 Limits of use of the product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Functional properties 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
  • Page 74 Operating modes 6.2.1 Operating without operating unit 6.2.2 Operation via connection "E74" 6.2.3 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit Switching on the turbopump Operating with TMS after conversion 6.4.1 Control commands 6.4.2 TMS connection 6.4.3 Process description for TMS...
  • Page 75 Table of contents 14.4 Dimensions EC Declaration of Conformity UK Declaration of Conformity 75/146...
  • Page 76 Stickers on product Tbl. 2: Abbreviations used in this document Tbl. 3: Permissible ambient conditions Tbl. 4: Product designation of Pfeiffer Vacuum HiPace turbopumps Tbl. 5: Turbopump features Tbl. 6: Delivered drive power depending on the supplied mains voltage Tbl. 7:...
  • Page 77 Fig. 28: Dismantling the pipe fittings Fig. 29: Mounting the pipe fittings Fig. 30: HiPace 1200 I | IU spare parts Fig. 31: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-F Fig. 32: HiPace 1200 IU | DN 200 ISO-F Fig. 33: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-K Fig.

  • Page 78: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity This operating instructions is a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions de- scribe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in this op- erating instructions refers to the product's current development status.

  • Page 79: Pictographs

    This section describes all the stickers on the product along with their meanings. Rating plate Berlinerstr. 43 Rating plates of individual assemblies are located on the lower D-35614 Asslar HiPace 1200 I | IU Mod. part of the turbopump or on the relevant attachments. PM P06 XXX Type 1...

  • Page 80: Abbreviations

    About this manual Cooling water connection This sticker indicates the position for the cooling water discharge COOLING WATER OUT of the turbopump. Warranty seal warranty seal The product is sealed ex factory. Damaging or removing a warran- ty seal results in loss of the warranty. Is stuck on concealed underneath the electronic drive unit.

  • Page 81: Trademark Proof

    About this manual Abbreviation Meaning in this document Miniature circuit breaker NEMA National Electrical Manufacturer Association Protective earth (earthed conductor) [P:xxx] Electronic drive unit control parameters. Printed in bold as a three-digit number in square brackets. Frequently displayed in conjunction with a short description. Example: [P:312] software version RCCB Residual current operated circuit breaker...

  • Page 82: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Page 83 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Touching exposed and voltage-bearing elements causes an electric shock. Improper connection of the mains supply leads to the risk of touchable live housing parts. There is a risk to life. ►...
  • Page 84 Safety WARNING Risk of serious injury from oscillating, toppling or falling objects Incorrect handling during the mechanical installation leads to a risk of oscillating, toppling or falling heavy loads. There is a risk of crushing and impacts (e.g. on colliding flange connections). There is a risk of injuries to limbs, up to and including bone fractures and head injuries.
  • Page 85 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.
  • Page 86 Safety WARNING Risk of scalding from suddenly escaping hot cooling water The turbopump water connections are open to both sides. When connecting the cooling water supply, there is a risk of scalding from suddenly escaping, hot cooling water at over pressure. ►...

  • Page 87: Safety Precautions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.

  • Page 88: Limits Of Use Of The Product

    Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...

  • Page 89: Personnel Qualification

    The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.

  • Page 90: Personnel Qualification For Maintenance And Repair

    ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.

  • Page 91: Product Description

    The cooling sys- tem ensures safe and sufficient heat dissipation without energy loss during the heating process. Fig. 2: HiPace 1200 I | IU design 1 High vacuum connection Cooling water connection, outlet...

  • Page 92: Identifying The Product

    ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.

  • Page 93: Transportation And Storage

    ► Drain off the operating fluid before moving or transporting the vacuum pump. ► Only fill the vacuum pump with operating fluid after mechanical installation. Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product 1.

  • Page 94: Transport In Horizontal Position

    60° Fig. 3: Slinging points for vertical transport of the turbopump without packaging 1 HiPace 1200 I HiPace 1200 IU Instructions for vertical transport 2 eye bolts are included in the shipment and are firmly bolted to the turbopump ex works.

  • Page 95: Storage

    – Keep the eye bolt for future use. 4.2 Storage We recommend Pfeiffer Vacuum recommends storing the products in their original transport packaging. Storing the turbopump 1. Seal all flange openings with the original protective caps. 2. Seal all other connections (e.g. venting connection) with the corresponding original parts.

  • Page 96: Installation

    Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.

  • Page 97: Connecting The High Vacuum Side

    22.5 W Tbl. 7: Requirements for the dimensioning of customer-specific high vacuum connection Important information for correct installation ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. 5.2.2 Considering earthquake protection NOTICE...

  • Page 98: Using Splinter Shield Or Protective Screen

    Safety connections, customer-side 5.2.3 Using splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.

  • Page 99: Mounting Orientations

    Installation 5.2.5 Mounting orientations NOTICE Destruction of the vacuum pump due to failure to observe the type-specific spatial position Impermissible spatial positions lead to pollution of the vacuum pump by operating fluid. There is a risk of pollution of the process vacuum and damage to the vacuum pump up to and including its de- struction.

  • Page 100: Attaching Iso-K Flange Onto Iso-K

    Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.

  • Page 101: Fig. 10: Flange Connection Iso-K To Iso-F, Hexagon Head Screw And Tapped Hole

    Flange connection ISO-K to ISO-F, hexagon head screw and tapped hole Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange of the turbopump.

  • Page 102: Attaching Iso-F Flange To Iso-F

    Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.

  • Page 103: Filling The Operating Fluid

    Connection of the stud screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Screw in the stud screws with the shorter end in the tapped holes on the counter flange.

  • Page 104: Connecting Fore-Vacuum Side

    Installation Fig. 17: The position of the filler screws depends on the mounting orientation. Example: Standard versions Direction of the high vacuum connection Fig. 18: The position of the filler screws depends on the mounting orientation. Example: U versions Direction of the high vacuum connection Procedure 1.

  • Page 105: Connecting Cooling Water Supply

    Use the turbopump only in combination with a suitable backing pump that can deliver up to the required maximum fore-vacuum pressure. To achieve the fore-vacuum pressure, use a suitable vacuum pump or a pumping station from the Pfeiffer Vacuum range. In this case, the backing pump is also controlled directly via the turbopump electronic drive unit interfaces (e.g., relay box or connection cable).

  • Page 106: Establish Cooling Water Connection With Hose Nozzles

    Installation Parameter Cooling water Appearance ● filtered ● mechanically clear ● visually clear ● no turbidity ● no sediment ● free from grease and oil pH value 7 to 9 Carbonate hardness, max. 10 °dH 12.53 °e 17.8 °fH 178 ppm CaC0 Chloride content, max.

  • Page 107: Establish Cooling Water Connection With Pipe Fittings

    2 Cooling water inlet, 1/4" thread Threaded nozzle (2x) Procedure Pfeiffer Vacuum recommends the use of a dirt trap in the supply line. 1. Screw one hose nozzle with sealing ring onto each of the turbopump's cooling water connections. – Tightening torque: max. 15 Nm 2.

  • Page 108: Connecting Accessories To Turbopumps With Tms

    3 Dirt trap Procedure Pfeiffer Vacuum recommends the use of a dirt trap in the supply line. 1. Debur the internal and external diameter of the pipe on the connection side. 2. Insert the pipe into the pipe fitting up to the limit stop.

  • Page 109: Connecting The Electrical Supply

    Using additional accessories ► Observe the installation instructions in the operating instructions for the relevant accessory. ► Note the existing configuration of existing connections. ► If configuration is necessary, use a Pfeiffer Vacuum control unit. 5.7 Connecting the electrical supply DANGER Danger to life from electric shock Touching exposed and voltage-bearing elements causes an electric shock.

  • Page 110: Establishing The Electric Connection

    There are 2 options for configuring the mains connection for the turbopump. ► Make sure that you have the correct supply voltage. ► Order a corresponding mains connection cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. ► Assemble your own mains connection cable using the HAN 3A connecting socket from the ship- ment.

  • Page 111: Implement Electrical Safety Measures

    Installation 5.7.3 Implement electrical safety measures WARNING Risk of danger to life through missing mains disconnection device The vacuum pump and electronic drive unit are not equipped with a mains disconnection device (mains switch). ► Install a mains disconnection device according to SEMI-S2. ►...

  • Page 112: Operation

    Simultaneous loading by means of high drive power (gas throughput, fore-vacuum pressure), high heat radiation, or strong magnetic fields results in uncontrolled heating of the rotor and can destroy the vacuum pump. ► Consult Pfeiffer Vacuum before combining varying loads on the vacuum pump. Lower limit val- ues apply. NOTICE...

  • Page 113: Operating Modes

    Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.

  • Page 114: Switching On The Turbopump

    Operation 6.3 Switching on the turbopump WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up. The use of mating plugs of the electronic drive unit (accessories) enables the automatic run-up of the vacuum pump as soon the power is turned on. Attaching mating plugs before or during the installa- tion leads to the movement of parts hence the risk of cut injuries by sharp-edged in the exposed high vacuum flange.

  • Page 115: Operating With Tms After Conversion

    Operation 6.4 Operating with TMS after conversion 6.4.1 Control commands Dis- Designations Functions Data Unit min. max. play type cess fault type Configuration ac- 0 = fan (continuous operation) Acc A1 cessory connec- 1 = Venting valve, closed with- tion A1 out current 2 = Heating 3 = Backing pump 4 = Fan (temperature control-...

  • Page 116: Operation Monitoring

    6.5.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol...

  • Page 117: Switching Off And Venting

    ► Observe the prescribed maximum pressure rise speed of 15 hPa/s. ► Avoid manual and uncontrolled venting of very low volumes. ► Where necessary, use a venting valve from the Pfeiffer Vacuum range of accessories. Manual venting Manual venting describes the standard process for venting the turbo pumping station.
  • Page 118 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.

  • Page 119: Maintenance

    5. Replace the operating fluid at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Perform a pressure test on the cooling water system once every year.

  • Page 120: Changing The Operating Fluid

    Maintenance 7.3 Changing the operating fluid WARNING Risk of poisoning from contact with harmful substances The operating fluid and parts of the turbopump may contain toxic substances from pumped media. ► Decontaminate affected parts before carrying out maintenance work. ► Prevent health hazards or environmental impacts with adequate safety precautions. ►...

  • Page 121: Filling The Operating Fluid

    ► Only fill the turbopump with operating fluid after mechanical installation. ► Fill the turbopump with operating fluid via one of the filler screws marked with an oil can symbol only. ► If in doubt, contact Pfeiffer Vacuum. Required consumables ● Operating fluid F3, 50 ml Required tools ●...

  • Page 122: Replacing The Electronic Drive Unit

    Maintenance Procedure 1. Unscrew and remove the higher filler screw from the operating fluid pump. 2. Use the syringe and the operating fluid from the turbopump shipment. 3. Place a container below the filling port. 4. Fill in operating fluid until it overflows at the filling port. –...

  • Page 123: Installing Electronic Drive Unit

    Maintenance Fig. 26: Removing the electronic drive unit 1 Electronic drive unit TC 1200 Allen head screw M4 × 12 2 Cooling plate Allen head screw M4 × 65 3 Tooth lock washer Removing the electronic drive unit 1. Observe the valid spatial position after removing the turbopump. 2.

  • Page 124: Confirming Speed Specification

    Tbl. 17: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Required aids ● A connected the Pfeiffer Vacuum control unit. ● Knowledge of the configuration and setting of electronic drive unit operating parameters. Adjusting nominal rotation speed confirmation 1. Observe the operating instructions of the control unit.

  • Page 125: Remounting The Pipe Fittings

    Maintenance 7.5 Remounting the pipe fittings WARNING Risk of scalding from suddenly escaping hot cooling water The turbopump water connections are open to both sides. When connecting the cooling water supply, there is a risk of scalding from suddenly escaping, hot cooling water at over pressure. ►...

  • Page 126: Fig. 29: Mounting The Pipe Fittings

    Maintenance Fig. 29: Mounting the pipe fittings 1 Lock nut Marking on the lock nut 2 Connector body Marking on the connector body 3 Marking on the pipe Mounting the pipe fitting 1. Insert the pipe into the pipe fitting up to the limit stop. 2.

  • Page 127: Decommissioning

    Procedures for recommissioning the turbopump 1. Check the turbopump for pollution and moisture. 2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 127/146...
  • Page 128 Decommissioning 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing. 5. Change the turbopump's operating fluid. 6. Install the turbopump according to these instructions (see chapter “Installation”, page 96).

  • Page 129: Recycling And Disposal

    ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...

  • Page 130: Malfunctions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Page 131 ● Electronic drive unit de- ● Replace the electronic drive unit. fective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. Turbopump will not start up; green ● For operation without ● Connect the connections according to the elec- LED on the electronic drive unit is control unit: Pins 1-3, tronic drive unit connection diagram.
  • Page 132 RS-485 to 0 = off and then 1 = On and Malfunc- tion acknowledgment. ● Carry out a differentiated malfunction analysis with a control unit. ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. Cooling water has soaked the in- ● Leakage in cooling water ● Remove the heating plug from the TMS box.

  • Page 133: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Page 134 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Page 135: Spare Parts

    Spare parts 12 Spare parts Fig. 30: HiPace 1200 I | IU spare parts Posi- Designation Size Order number Remark tion Electronic drive unit refer to the rating plate depending on the con- TC 1200 nection panel E74 plug 15-pole P 4723 110...

  • Page 136: Accessories

    Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.

  • Page 137: Tbl. 20: Accessories

    Accessories Description Order number Mounting kit for DN 200 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring PM 016 962 -T with protection screen, hexagon bolts Mounting kit for DN 200 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring, PM 016 965 -T stud screws Mounting kit for DN 200 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring...

  • Page 138: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Page 139 Technical data and dimensions Selection field HiPace® 1200 I HiPace® 1200 IU HiPace® 1200 I HiPace® 1200 with TC 1200, with TC 1200, with TC 1200, IU with TC 1200, DN 200 ISO-F DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K DN 200 ISO-K Pumping speed for 1200 l/s 1200 l/s...

  • Page 140: Substances In Contact With The Media

    Technical data and dimensions Selection field HiPace® 1200 I HiPace® 1200 IU HiPace® 1200 I HiPace® 1200 with TC 1200, with TC 1200, with TC 1200, IU with TC 1200, DN 200 ISO-F DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K DN 200 ISO-K Input voltage(s) 100 –...

  • Page 141: Fig. 31: Hipace 1200 I | Dn 200 Iso-F

    DN 40 ISO-KF Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Cooling water out Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Fig. 31: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-F G 1/8 G 1/8 DN 40 ISO-KF Cooling water out Swagelok tube 3/8" DN 200 ISO-F (SS-600-1-4RS) Cooling water in Swagelok tube 3/8"...

  • Page 142: Fig. 33: Hipace 1200 I | Dn 200 Iso-K

    G 1/8 G 1/8 DN 40 ISO-KF Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) Fig. 33: HiPace 1200 I | DN 200 ISO-K Cooling water in Swagelok tube 3/8" (SS-600-1-4RS) G 1/8’’ DN 40 ISO-KF G 1/8” DN 200 ISO-K Fig.
  • Page 143 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 144 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Page 145 145/146...
  • Page 146 Notizen / Notes:...

This manual is also suitable for:

Hipace 1200 iu

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