Anschluss Der Vorvakuumpumpe - Agilent Technologies TwisTorr 305-ICQ User Manual

Betriebsanleitung

Anschluss der Vorvakuumpumpe

Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe
kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn
ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen
Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF zeichnet sich durch sein hohes
HINWEIS
Verdichtungsverhältnis auch für Öldämpfe aus. Bei Verwendung einer mechanisch
ölgedichteten Pumpe ist es ratsam, zwischen der Turbopumpe und der
Vorvakuumpumpe einen geeigneten Abscheider anzubringen, um ein
Zurückströmen von Öl oder Partikeln aus trockenen Pumpen zu verhindern.
58 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual