フォア真空ポンプの接続 - Agilent Technologies TwisTorr 305-ICQ User Manual

取扱説明書
フォア真空ポンプの接続
フォアラインの接続は、TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF上に提供されるKF 16 NW
フランジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホ
ースまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機
械ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければな
りません。
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機
注
械油密封式ポンプを使用する時、
オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、
ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨し
ます。
166 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual