使用说明 - Agilent Technologies TwisTorr 305-ICQ User Manual

使用说明

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使用说明
关于本手册
有效性
定义与术语
小心、警告和注意的定义
警告符号
安全
正确使用
使用不当
防护设备
涡轮分子泵安全指南
运输及存储
产品描述
安装
安装准备
设置
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 的安装
高真空法兰的连接
ISO-K 法兰的安装
ConFlat 法兰的安装
前真空泵的连接
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 的启动和运行
停止 TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF
紧急停止
维护
转子寿命
慢启动
清洗
处置
服务
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
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