前真空泵的连接 - Agilent Technologies TwisTorr 305-ICQ User Manual

使用说明
前真空泵的连接
应使用 TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前
级泵的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波
纹管来抑制机械泵产生的任何振动。
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵
注意
时，建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒
回流。
Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual 139