Table of Contents
Advertisement
Quick Links
TPS-compact
969-8217
969-8219
969-8221
969-8223
969-8225
969-8227
969-8229
969-8231
87-901-010-01
APRIL 2008
Models:
969-8218
969-8220
969-8222
969-8224
969-8226
969-8228
969-8230
969-8232
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Advertisement
Table of Contents
Related Manuals for Varian TPS-compac
Summary of Contents for Varian TPS-compac
- Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH TPS-compact NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models:...
- Page 2 TPS-compact...
-
Page 5: Table Of Contents
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................8 INSTRUCCIONES DE USO ..........................11 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................15 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................18 BRUGSANVISNING ............................22 BRUKSANVISNING............................25 BRUKERVEILEDNING .............................28 KÄYTTÖOHJEET .............................31 PDHGIES CRHSEWS ............................34 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................37 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................40 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................44 NÁVOD K POUŽITIU............................47 NAVODILA ZA UPORABO..........................50 INSTRUCTIONS FOR USE..........................53 TECHNICAL INFORMATION ...........................56 DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT ...................56... -
Page 6: Istruzioni Per L'uso
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. - Page 7 L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene ATTENZIONE! sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
- Page 8 Arresto del TPS-compact fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta "Technical Information". immediatamente il sistema di pompaggio.
-
Page 9: Gebrauchsanleitung
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. - Page 10 Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. LAGERUNG Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverläs- INSTALLATION sigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vor- schriften eingehalten werden: • ACHTUNG! Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht...
- Page 11 Personen oder Gegenständen HINWEIS Schaden zugefügt werden. Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand- buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen- den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver- ACHTUNG! sand beizulegen.
- Page 12 GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
-
Page 13: Mode D'emploi
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. - Page 14 INSTALLATION STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des ATTENTION! systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
- Page 15 Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La température Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation, élevée peut être à l'origine de lésions graves. remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité Santé"...
-
Page 16: Instrucciones De Uso
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. - Page 17 Varian antes de directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no ¡ATENCIÓN!
- Page 18 TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las específicos Varian. Para más detalles véase el anexo condiciones operativas del sistema: − “Technical Information”. encendido fijo: la bomba está en rotación normal; − parpadea lentamente (período...
- Page 19 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
-
Page 20: Instruções Para O Uso
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Page 21 Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância ATENÇÃO! total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de...
- Page 22 TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information". A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o Paragem do TPS-compact apêndice "Technical Information". Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF.
-
Page 23: Gebruiksaanwijzingen
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. - Page 24 Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De EEG milieurichtlijn 85/399. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het ATTENTIE! apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk...
- Page 25 "Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale "Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer hoofdstuk "Technical Information". informatie de bijlage "Technical information".
- Page 26 GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
-
Page 27: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Page 28 Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af handsker eller anden lignende beskyttelse.
- Page 29 50°C. hjælp af lukkeflangen. I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted. ADVARSEL! Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med BEMÆRK...
-
Page 30: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Page 31 Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
- Page 32 TPS-compact. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid Att stänga av TPS-compact vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga “Technical Information”. Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpsystemets funktion.
-
Page 33: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Page 34 Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr.
- Page 35 Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra pumpesystemet umiddelbart. Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”. Nødstopp MERK For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig TPS-compact må...
-
Page 36: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 31/74 87-901-010-01... - Page 37 85/399 ympäristön suojelusta. laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden HUOMIO! täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, osiin tule koskea paljain käsin.
- Page 38 KÄYTTÖOHJEET TPS-compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen ”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän KIRISTYS- LAIPPA KIINNIKE MÄÄRÄ toimintaolosuhteet: MOMENTTI palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; Kaksoiskiinnike, ISO 63 22 Nm vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kierteitys M10 kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- Kaksoiskiinnike, ISO 100 K 22 Nm...
-
Page 39: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Page 40 £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn kenè.
- Page 41 H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn βλέπε την προσθήκη "Technical Information". Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Stam£thma tou TPS-compact Για την κράτηση του TPS-compact αρκεί να θέσετε στη θέση OFF SHMEIWSH τον...
-
Page 42: Használati Utasítás
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 43 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan FIGYELEM eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
- Page 44 „Technical Information” függelék. A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért A TPS-compact kikapcsolása lásd „Technical Information”. A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a MEGJEGYZÉS...
-
Page 45: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 46 Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku...
- Page 47 TPS-compact częstotliwością swego zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie migania określa operatywne warunki systemu: drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical normalnych obrotów;...
- Page 48 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany miejscu przeznaczonym...
-
Page 49: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 50 V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u chránit feromagnetickým stíněním. místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní...
- Page 51 50 °C. V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko VÝSTRAHA! společnosti Varian. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství POZNÁMKA nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za repasované...
-
Page 52: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 53 Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, UPOZORNENIE! zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani Ak chcete predísť...
- Page 54 50 şC. VAROVANIE! V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani spoločnosti Varian. žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť...
-
Page 55: Navodila Za Uporabo
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Page 56 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
- Page 57 Information«. Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na Izklop TPS-compact-a vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" . Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni OPOMBA sistem.
-
Page 58: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. - Page 59 Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. Varian will not be held responsible for any events occurring due Always use gloves or other appropriate protection. to non-compliance, even partial, with these instructions,...
- Page 60 50 °C. WARNING! Do not touch the turbopump or any of its accessories during the In the case of breakdown, contact your local Varian service heating process. The high temperatures may cause burns. center.
-
Page 61: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION rotor discs. These are fabricated in aluminium al- DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT loy. The TPS-compact pumping system consists of a During normal operation, the motor functions with pump with an integrated controller and a forepump a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz and is available in sixteen models which differ in (TV81M) or 963 Hz (TV301). -
Page 62: Scroll Pump Description
TECHNICAL INFORMATION Scroll Pump Description TECHNICAL SPECIFICATION The TPS-compact internal scroll creates vacuum Characteristic TV301 TV81M using a simple dual scroll mechanism in which one Pumping speed (l/s) : 215 l/s : 60 l/s of the nested scrolls orbits about the other, creat- ing moving zones of captured gas. -
Page 63: Tps-Compact Outline
TECHNICAL INFORMATION TPS-COMPACT OUTLINE The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. PRESSURE mBar Torr PRESSURE mBar Torr TPS-compact equipped with TV301 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure 58/74 87-901-010-01... - Page 64 TECHNICAL INFORMATION TPS-compact equipped with TV81M 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact TV301/TV81M - 14lt Pump Down 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,E-01 1,E-02 1,E-03 1,E-04 1,E-05 1,E-06 Time [sec] TV301 TV81M Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 59/74 87-901-010-01...
-
Page 65: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION The following figure shows the overall flange di- mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5... -
Page 66: High Vacuum Flange Connection
TECHNICAL INFORMATION HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- ring as shown in the figure. -
Page 67: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P3 – Vent Input power connector The following figure show the input power connec- tor. Bipolar switch Line Vent Connector IEC320 connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the Line Fuses optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller auto- matically or by serial line. -
Page 68: Gauge Connector
Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-compact during normal operation. Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range Gauge FRG-700. The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design (see orderable parts table). -
Page 69: J5 - In-Out
TECHNICAL INFORMATION This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. INPUT/ PIN N. - Page 70 TECHNICAL INFORMATION • amplitude: 24 V max Output: Temperature setting • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1350Hz (see the following diagram). 1400 1350 1300 1250 1200 Voltage (V) 1150 1100 1050 Output: Pressure setting...
- Page 71 TECHNICAL INFORMATION It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: − reference quantity: frequency − thereshold: 867 Hz − hysteresis: 2% − activation type: high level −...
-
Page 72: J6 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. -
Page 73: Serial Communication Descriptions
ASCII character. NOTE Varian cannot guarantee compliance with FCC <STX> (Start of transmission) = 0x02 regulations for radiated emissions unless all exter- − <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) nal wiring is shielded, with the shield being termi- <ADDR>... - Page 74 TECHNICAL INFORMATION The controller can answer with the following response types; RESPONSE RESPONSE RESPONSE TYPE DESCRIPTION LENGTH VALUE Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window...
-
Page 75: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Write Type Values Analog out- 0 = frequency put type: 1 = power Start/Stop Start = 1 output volt- (in remote/ Stop = 0 (default = 1) age signal mode the win- proportional... -
Page 76: Service Options
Reserved to Varian service SERVICE OPTIONS Varian pumping systems will provide many years of trouble-free operation if the maintenance proce- Tip-seal life 0 = reset dures are observed. Pumping System cleaning and internal scroll pump... -
Page 77: Cleaning
TECHNICAL INFORMATION Cleaning To remove the worn tip-seals: Disconnect TPS-compact from electrical Exterior power. The exterior surfaces of the TPS-compact may be Unlock the scroll pump support by unscrewing the cleaned with mild detergents only. screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Fig- ure A”) Interior Lift the TPS-compact in order to access the... - Page 78 TECHNICAL INFORMATION again after 5000 h of operation. To check the cates that the tip seal or main O-ring are pos- Tip-seal life you have just to read the Win 358. sibly out of place. Disassemble and repair as necessary. ...
-
Page 79: Orderable Parts
Serial cable and T-Plus SW 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 969-9883 Tip-seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 74/74 87-901-010-01... - Page 80 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Page 81 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 82 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.