Mode D'emploi - Varian TURBO-V 6000 Instruction Manual

INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-
nelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four-
nie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par consé-
quent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle
des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un
personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi
contraire aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V6000 sont des pompes turbomo-
léculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultra-
poussé, particulièrement adaptées à l'utilisation dans les secteurs
liés à l'industrie des semi-conducteurs et elles sont appropriées
pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides
ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (14000 tr/mn maxi), animée par un moteur électri-
que triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V6000 sont
totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent
indiquées pour des applications exigeant un vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications néces-
saires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de
l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information"
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effec-
tuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.
!
ATTENTION !
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédu-
res qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du
texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pom-
pes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les
instructions suivantes :
•
Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doi-
vent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
•
température : de –20 °C à +70 °C
•
humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
•
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doi-
vent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
•
Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de
10 mois à compter de la date d'expédition.
!
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être
retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si
l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits
pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particu-
lièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir
aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entiè-
rement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en
matière de protection de l'environnement.
!
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la gar-
der enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute
pollution due à la poussière.
INSTALLATION
!
Vu son poids, la pompe doit être manipulée à l'aide des instru-
ments de levage et de déplacement appropriés.
!
N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion
de la turbopompe au système.
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MODE D'EMPLOI

ATTENTION!
NOTE
DANGER!
ATTENTION!
87-900-838-01(B)