Agilent Technologies TV 551 Navigator User Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Agilent Technologies Manuals
  4. Water Pump
  5. TV 551 Navigator
  6. User manual

Agilent Technologies TV 551 Navigator User Manual

Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-934-01 (P)
12/2017
TV 551/701 Navigator
Pump models: 9698922, 9698923
9698925, 9698926, 9698927, 9698944,
9698945
Kit models: 9698832, 9698833, 9698835,
9698836, 9698837, 9698842, 9698843
Controller models: 9698976, 9698977
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Advertisement

Table of Contents
loading

Related Manuals for Agilent Technologies TV 551 Navigator

Summary of Contents for Agilent Technologies TV 551 Navigator

  • Page 1 TV 551/701 Navigator Pump models: 9698922, 9698923 9698925, 9698926, 9698927, 9698944, 9698945 Kit models: 9698832, 9698833, 9698835, 9698836, 9698837, 9698842, 9698843 Controller models: 9698976, 9698977 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...
  • Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2016 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
  • Page 3 TV 551 Navigator TV 551 Navigator TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 3/328...
  • Page 4 TV 701 Navigator TV 701 Navigator 4/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 5: Table Of Contents

    Contents Contents Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa Manutenzione 28 Smaltimento Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 36 Installation 37 Befestigung der Pumpe 39 Gebrauch Wartung...
  • Page 6 Contents Entsorgung 45 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 53 Fixation de la pompe 55 Utilisation 57 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 63 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 65 Almacenamiento Preparación para la instalación 68...
  • Page 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80 Informações gerais 81 Armazenagem 83 Preparação para a instalação 84 Instalação 85 Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 93 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 96 Algemene informatie Opslag Voorbereiding voor installatie Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik...
  • Page 8 Contents Generel information 113 Opbevaring 114 Forberedelser før installation 115 Installation 116 Fastgorelse af pumpe Anvendelse 120 Vedligeholdelse 123 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 126 Allmän information 127 Förvaring Förberedelser för installation 129 Installation 130 Fastsättning av pump Användning 134 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual...
  • Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 143 Installasjon 144 Festing av pumpen 146 Bruk Vedlikehold 151 Eliminering 152 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 156 Valmistelut asennusta varten157 Asennus Pumpun kinnitys 160 Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 167 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 168 Általános információ...
  • Page 10 Contents A szivattyú rögzítése 175 Használat Karbantartás Megsemmisítés 181 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 188 Instalacja Mocowanie pompy 192 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 198 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 200 Všeobecné...
  • Page 11 Contents Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 232 Splošne informacije 233 Shranjevanje Priprava za montažo 235 Montaža Pritrjevanje črpalke 238 Uporaba...
  • Page 12 Contents 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing 253 Maintenance Disposal 17 Technical Information 259 Description of the TV 551/701 Navigator 261 Technical Specification 268 TV 551/701 Navigator outline Interconnections How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller...
  • Page 13 Contents Purge Valve Installation 310 Serial Cable Installation 311 TV 551/701 Controller Installation Pump Used with Corrosive Gases 318 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 320 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 13/328...
  • Page 14 Contents 14/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    TV 551/701 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa 23 Uso 25 Accensione ed Uso del TV 903 Pumping System Arresto del TV 551/701 Navigator Arresto di Emergenza 27 Manutenzione Smaltimento...

  • Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.

  • Page 17: Informazioni Generali

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
  • Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

  • Page 19: Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-le pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti con-dizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
  • Page 20 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i ATTENZIONE! componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. Figura 1 Il TV 551/701 Navigator non può essere danneggiato rimanendo semplicemente NOTA esposto all'atmosfera.

  • Page 21: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Installare questo apparato solo all’interno, e comunque non utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Il Turbo-V controller deve essere posizionato in modo tale da permettere che NOTA l’aria possa fluire liberamente attraverso i fori.
  • Page 22 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 2 In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 551/701 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). 22/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 23: Fissaggio Della Pompa

    Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
  • Page 24 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 551/701 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 551/701 Navigator non può...

  • Page 25: Uso

    Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.

  • Page 26: Accensione Ed Uso Del Tv 903 Pumping System

    Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 903 Pumping System Per accendere il TV 551/701 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. Il modo “Soft Start”...

  • Page 27: Arresto Di Emergenza

    Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale). Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE.

  • Page 28: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 551/701 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Page 29: Smaltimento

    Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
  • Page 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento 30/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 31: Gebrauchsanleitung

    TV 551/701 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 Navigator Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/328...

  • Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Page 33: Allgemeine Informationen

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch be-stimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
  • Page 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.

  • Page 35: Lagerung

    Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...

  • Page 36: Vor Der Installation

    Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TV 551/701 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 551/701 Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...

  • Page 37: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpte darf nur in Innenräumen installiert werden. Sie darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Der Turbo-V-Controller muss so platziert werden, dass die Luft frei durch die HINWEIS Öffnungen strömen kann.
  • Page 38 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 2 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 551/701 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). 38/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 39: Befestigung Der Pumpe

    Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe WARNUNG! und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst.
  • Page 40 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 551/701 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 551/701 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der TV 551/701 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die VORSICHT!

  • Page 41: Gebrauch

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.

  • Page 42: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 551/701

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 Navigator Zur Einschaltung von Modell TV 551/701 ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Der Modus “Soft Start” sieht vor, die Pumpe nach einem langen Stillstand einzuschalten.

  • Page 43: Not-Aus

    Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.

  • Page 44: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 551/701 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.

  • Page 45: Entsorgung

    Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
  • Page 46 Gebrauchsanleitung Entsorgung 46/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 47: Mode D'emploi

    TV 551/701 Navigator User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 551/701 Navigator Arrêt du TV 551/701 Navigator 58 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 61...

  • Page 48: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.

  • Page 49: Indications Générales

    Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
  • Page 50 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte.

  • Page 51: Stockage

    Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...

  • Page 52: Preparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le TV 551/701 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...

  • Page 53: Installation

    Mode d’emploi Installation Installation Installer cet appareil uniquement en intérieur et, dans tous les cas, ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie.
  • Page 54 Mode d’emploi Installation Figure 2 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 551/701 Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").

  • Page 55: Fixation De La Pompe

    Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe.
  • Page 56 Mode d’emploi Fixation de la pompe La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 551/701 Navigator peut être installée dans n'importe quelle position.

  • Page 57: Utilisation

    Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.

  • Page 58: Arrêt Du Tv 551/701 Navigator

    Mode d’emploi Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 551/701 Navigator Pour allumer le TV 551/701 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.

  • Page 59: Arrêt D'urgence

    Mode d’emploi Utilisation AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des parties qui peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approuvée à niveau international).Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d’une manière adéquate à...

  • Page 60: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 551/701 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Page 61: Mise Au Rebut

    Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
  • Page 62 Mode d’emploi Mise au rebut 62/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 63: Manual De Istrucciones

    TV 551/701 Navigator User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 68 Instalación Fijación de la bomba Uso 73 Encendido y Uso del TV 551/701 Navigator Parada del TV 551/701 Navigator 74 Parada de Emergencia 75 Mantenimiento Eliminación...

  • Page 64: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.

  • Page 65: Información General

    Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
  • Page 66 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.

  • Page 67: Almacenamiento

    Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...

  • Page 68: Preparación Para La Instalación

    Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 551/701 Navigator se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.

  • Page 69: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación Instalación Instalar este equipo sólo en ambientes cerrados y en ninguna circunstancia utilizar en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos ni en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio. El Turbo-V controller deve ubicarse para permitir que el aire pueda fluir NOTA libremente a través de los orificios.
  • Page 70 Manual de istrucciones Instalación Figura 2 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 551/701 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). 70/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 71: Fijación De La Bomba

    Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba.
  • Page 72 Manual de istrucciones Fijación de la bomba La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 551/701 Navigator puede instalarse en cualquier posición. El TV 551/701 Navigator no puede fijarse utilizando su base.

  • Page 73: Uso

    Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...

  • Page 74: Encendido Y Uso Del Tv 551/701 Navigator

    Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 551/701 Navigator Para encender el TV 551/701 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. La modalidad Soft Start está...

  • Page 75: Parada De Emergencia

    Manual de istrucciones ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente). Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE.

  • Page 76: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 551/701 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Page 77: Eliminación

    Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
  • Page 78 Manual de istrucciones Eliminación 78/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 79: Manual De Istruções

    TV 551/701 Navigator User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 87 Utilização Acendimento e Utilização do TV 551/701 Navigator Paragem do TV 551/701 Navigator Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...

  • Page 80: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.

  • Page 81: Informações Gerais

    Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
  • Page 82 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais.

  • Page 83: Armazenagem

    Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...

  • Page 84: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 551/701 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.

  • Page 85: Instalação

    Manual de Istruções Instalação Instalação Instale este aparelho somente em interiores, e de todo modo não utilize a bomba em ambientes expostos aos agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio. O controlador Turbo-V deve ser posicionado de modo a permitir que possa fluir NOTA livremente através dos orifícios.
  • Page 86 Manual de Istruções Instalação Figura 2 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 551/701 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information").

  • Page 87: Fixação Da Bomba

    Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba.
  • Page 88 Manual de Istruções Fixação da bomba A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 551/701 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. O TV 551/701 não pode ser fixado através da sua base.

  • Page 89: Utilização

    Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.

  • Page 90: Acendimento E Utilização Do Tv 551/701 Navigator

    Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 551/701 Navigator Para ligar o TV 551/701 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo Soft Start é previsto para ligar a bomba após um longo período de paragem.

  • Page 91: Paragem De Emergência

    Manual de Istruções Utilização ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE.As altas tensões que se desenvolvem no controller podem...

  • Page 92: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 551/701 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Page 93: Eliminação

    Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
  • Page 94 Manual de Istruções Eliminação 94/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 95: Bedrijfshandleiding

    TV 551/701 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Voorbereiding voor installatie Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 Navigator Afzetten van de TV 551/701 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 109 Vertaling van de originele instructies 95/328...

  • Page 96: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Page 97: Algemene Informatie

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
  • Page 98 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

  • Page 99: Opslag

    Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...

  • Page 100: Voorbereiding Voor Installatie

    Bedrijfshandleiding Voorbereiding voor installatie Voorbereiding voor installatie De TV 551/701 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 551/701 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.

  • Page 101: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Installeer dit apparaat alleen binnen, en in elk geval alleen in ruimten die afgeschermd zijn van ongunstige weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar. De Turbo-V controller moet dusdanig gepositioneerd worden dat de lucht vrij OPMERKING kan stromen door de openingen.
  • Page 102 Bedrijfshandleiding Installatie Figura 1 In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 551/701 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). 102/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 103: Bevestiging Van De Pomp

    Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken.
  • Page 104 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 551/701 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd. De TV551/701 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden OPMERKING bevestigd.

  • Page 105: Gebruik

    Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.

  • Page 106: Afzetten Van De Tv 551/701 Navigator

    Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 Navigator Om de TV551/701 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De “Soft Start”...

  • Page 107: Noodstop

    Bedrijfshandleiding Gebruik WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen.

  • Page 108: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 551/701 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding WAARSCHUWING! loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Page 109: Afvalverwerking

    Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
  • Page 110 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 110/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 111: Istruktionsbog

    TV 551/701 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgorelse af pumpe Anvendelse Start og anvendelse af TV 551/701 Navigator 121 Stop af TV 551/701 Navigator Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 111/328...

  • Page 112: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Page 113: Generel Information

    Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.

  • Page 114: Opbevaring

    Istruktionsbog Opbevaring I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader.

  • Page 115: Forberedelser Før Installation

    Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TV 551/701 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 551/701 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.

  • Page 116: Installation

    Istruktionsbog Installation Installation Dette apparat må udelukkende onstalleres indvendigt, og under alle omstændigheder må pumpen ikke anvendes i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Turbo-V kontrolleren skal placeres på en sådan måde, at luften er i stand til frit BEMÆRK at strømme ud fra åbningerne.
  • Page 117 Istruktionsbog Installation Figur 2 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 551/701 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 117/328...

  • Page 118: Fastgorelse Af Pumpe

    Istruktionsbog Fastgorelse af pumpe Fastgorelse af pumpe ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning.
  • Page 119 Istruktionsbog Fastgorelse af pumpe Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 551/701 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Navigator TV 551/701 kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK TV 551/701 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller VOORZICHTIG!

  • Page 120: Anvendelse

    Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.

  • Page 121: Start Og Anvendelse Af Tv 551/701 Navigator

    Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 551/701 Navigator For at starte TV 551/701 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. “Soft Start” moden bruges for at tænde pumpen efter lang stilstand. For at aktivere SOFT START metoden skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 2327485 “COMMUNICATION DESCRIPTION”...

  • Page 122: Nødstop

    Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på international plan). Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på passende måde er forbundet til jorden for at undgå...

  • Page 123: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 551/701 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Page 124: Bortskaffelse

    Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...

  • Page 125: Bruksanvisning

    TV 551/701 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 126 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump Användning Start och användning av TV 551/701 Navigator Att stänga av TV 551/701 Navigator 135 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 125/328...

  • Page 126: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Page 127: Allmän Information

    Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

  • Page 128: Förvaring

    Bruksanvisning Förvaring I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.

  • Page 129: Förberedelser För Installation

    Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation TV 551/701 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 551/701 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.

  • Page 130: Installation

    Bruksanvisning Installation Installation Installera den här pumpen endast inomhus och använd den hur som helst inte i miljöer som påverkas av atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Turbo-V controller ska placeras så att luften kan strömma fritt genom hålen. OBSERVERA VARNING! Om det här instrumentet inte används på...
  • Page 131 Bruksanvisning Installation Figur 2 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 551/701 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 131/328...

  • Page 132: Fastsättning Av Pump

    Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på...
  • Page 133 Bruksanvisning Fastsättning av pump TV 551/701 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA TV 551/701 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER! överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 551/701 Navigator är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...

  • Page 134: Användning

    Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...

  • Page 135: Start Och Användning Av Tv 551/701 Navigator

    Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 551/701 Navigator För att starta TV 551/701 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Läget “Sof Start” har förutsätts för att tända pumpen efter ett längre stillastående.

  • Page 136: Nödstopp

    Bruksanvisning Användning VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på internationell nivå). Använd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU normer.

  • Page 137: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 551/701 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump.

  • Page 138: Bortskaffning

    Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.

  • Page 139: Instruksjon Manual

    TV 551/701 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 140 Lagring 142 Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk Starte og bruke TV 551/701 Navigator Stoppe TV 551/701 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 139/328...

  • Page 140: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Page 141: Generell Informasjon

    Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...

  • Page 142: Lagring

    Instruksjon Manual Lagring Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.

  • Page 143: Klargjøre Til Installasjon

    Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 551/701 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 551/701 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.

  • Page 144: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Dette apparatet skal kun installeres innvendig, og pumpen skal ikke brukes i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Turbo-V controller skal plasseres slik at luften kan strømme fritt gjennom MERK hullene.
  • Page 145 Instruksjon Manual Installasjon Figur 2 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 551/701 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 145/328...

  • Page 146: Festing Av Pumpen

    Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster.
  • Page 147 Instruksjon Manual Festing av pumpen TV 551/701 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet. MERK TV 551/701 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) FORSIKTIG! nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV 551/701 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må...

  • Page 148: Bruk

    Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.

  • Page 149: Starte Og Bruke Tv 551/701 Navigator

    Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 551/701 Navigator TV 551/701 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Modusen ”Soft Start” brukes når pumpen skal startes igjen etter å ha stått stille en lengre periode.

  • Page 150: Nødstopp

    Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet. Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene.

  • Page 151: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 551/701 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 152: Eliminering

    Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...

  • Page 153: Ohjekäsikirja

    TV 551/701 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 154 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kinnitys 160 Käyttö 162 TV 551/701 Navigatorin käynnistys ja käyttö 163 TV 551/701 Navigatorin pysäyttäminen Hätäpysäytys 164 Huolto 165 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 153/328...

  • Page 154: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 154/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 155: Yleisiä Tietoja

    Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...

  • Page 156: Varastointi

    Ohjekäsikirja Varastointi Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu...

  • Page 157: Valmistelut Asennusta Varten157

    Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 551/701 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 551/701 Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...

  • Page 158: Asennus

    Ohjekäsikirja Asennus Asennus Tämä laite tulee asentaa vain sisätiloihin, eikä pumppua saa käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Turbo-V valvoja tulee asentaa siten, että ilma pääsee virtaamaan vapaasti HUOM aukkojen läpi.
  • Page 159 Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 551/701 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 159/328...

  • Page 160: Pumpun Kinnitys

    Ohjekäsikirja Pumpun kinnitys Pumpun kinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita.
  • Page 161 Ohjekäsikirja Pumpun kinnitys TV 551/701 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM TV 511/701 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 551/701 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä...

  • Page 162: Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.

  • Page 163: Tv 551/701 Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

    Ohjekäsikirja Käyttö TV 551/701 Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 551/701 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. “Soft Start” -tapa on käytettävissä pumpun käynnistämistä varten pitkän seisonta-ajan jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin saataisiin suorittaa uudelleen “Soft Start”...

  • Page 164: Hätäpysäytys

    Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset täyttyvät.

  • Page 165: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 551/701 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.

  • Page 166: Hävittäminen

    Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...

  • Page 167: Felhasználói Kézikönyv

    TV 551/701 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ Tárolás 170 Előkészítés telepítésre 172 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A TV 551/701 Navigator bekapcsolása és használata 178 A TV 551/701 Navigator kikapcsolása Vészleállítás 179 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 167/328...

  • Page 168: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...

  • Page 169: Általános Információ

    Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...

  • Page 170: Tárolás

    Felhasználói Kézikönyv Tárolás Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
  • Page 171 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 171/328...

  • Page 172: Előkészítés Telepítésre

    Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 551/701 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.

  • Page 173: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ezt a berendezést csak zárt térbe telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. A Turbo-V controllert úgy kell elhelyezni, hogy a levegő szabadon áramolhasson MEGJEGYZÉS a lyukokon keresztül.
  • Page 174 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ábra 2 Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd “Technical Information”. A TV 551/701 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd “Technical Information”). 174/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 175: A Szivattyú Rögzítése

    Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyú és a rendszer közötti csatlakozás jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem képes ezt a nyomatékot elviselésni, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motor leválhat a szivattyúházról.
  • Page 176 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd “Technical Information”. A TV 551/701 Navigator bármely helyzetben telepíthető. A TV 551/701 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 551/701 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához FIGYELEM! tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.

  • Page 177: Használat

    Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!

  • Page 178: A Tv 551/701 Navigator Bekapcsolása És Használata

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 551/701 Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.

  • Page 179: Vészleállítás

    Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva.Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek.

  • Page 180: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 551/701 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 181: Megsemmisítés

    Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
  • Page 182 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 182/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 183: Podrecznik Instrukcji

    TV 551/701 Navigator User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 185 Magazynowanie 186 Przygotowanie do instalacji 188 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 Navigator 195 Zatrzymanie systemu TV 551/701 Navigator Zatrzymanie Awaryjne 196 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...

  • Page 184: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Page 185: Informacje Ogolne

    Podrecznik Instrukcji Informacje ogolne Informacje ogolne Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...

  • Page 186: Magazynowanie

    Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
  • Page 187 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 187/328...

  • Page 188: Przygotowanie Do Instalacji

    Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TV 551/701 Navigator jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 551/701 Navigator ani nie poddawać...
  • Page 189 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji System TV 551/701 Navigator, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie PRZYPIS go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 189/328...

  • Page 190: Instalacja

    Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja To urządzenie należy instalować wyłącznie w pomieszczeniach, a w każdym razie nie użytkować pompy w pomieszczeniach wystawionych na działanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyłów, gazów żrących, w pomieszczeniach o atmosferze wybuchowej lub p wysokim zagrożeniu pożarowym. Turbo V controller musi być...
  • Page 191 Podrecznik Instrukcji Instalacja ć W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. TV 551/701 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 191/328...

  • Page 192: Mocowanie Pompy

    Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! W przypadku uszkodzenia wirnika, złącze między pompą i systemem może być narażone na bardzo wysoki moment. Jeżeli złącze jest niewystarczające by wytrzymać wspomiany moment, pompa może się odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty metalu mogą...
  • Page 193 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. TV 551/701 Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.

  • Page 194: Użytkowanie

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. ZAGROZENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.

  • Page 195: Włączenie I Użytkowanie Systemu Tv 551/701 Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 Navigator Aby włączyć TV 551/701 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Tryb “Soft Start” przewidziano w celu włączenia pompy po dłuższym okresie postoju.

  • Page 196: Zatrzymanie Awaryjne

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm CE.

  • Page 197: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 551/701 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...

  • Page 198: Przetworstwo Odpadow

    Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .

  • Page 199: 13 Návod K Použití

    TV 551/701 Navigator User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 200 Všeobecné informace 201 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy 207 Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 Navigator 210 Vypnutí vývěvy TV 551/701 Navigator Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu...

  • Page 200: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...

  • Page 201: Všeobecné Informace

    Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...

  • Page 202: Uskladnění

    Návod k Použití Uskladnění Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují...
  • Page 203 Návod k Použití Uskladnění Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 203/328...

  • Page 204: Příprava K Instalaci

    Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 551/701 Navigator se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.

  • Page 205: Instalace

    Návod k Použití Instalace Instalace Toto zařízení nainstalujte výhradně v interiéru a nepoužívejte vývěvu v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Regulátor Turbo-V musí být umístěn tak, aby umožňoval volný průchod vzduchu POZNÁMKA otvory.
  • Page 206 Návod k Použití Instalace Postava 2 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze “Technical Information”. Vývěva TV 551/701 Navigator se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz “Technical Information”). 206/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 207: Montáž Vývěvy

    Návod k Použití Montáž vývěvy Montáž vývěvy NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště...
  • Page 208 Návod k Použití Montáž vývěvy Vývěvu TV 551/701 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 551/701 Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 551/701 Navigator do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.

  • Page 209: Použití

    Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...

  • Page 210: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 551/701 Navigator

    Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 551/701 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.

  • Page 211: Nouzové Zastavení

    Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být TV 903 Pumping Systém Power Supply (9696501) napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly zaručené...

  • Page 212: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 551/701 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Page 213: Likvidace

    Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
  • Page 214 Návod k Použití Likvidace 214/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 215: 14 Návod Na Obsluhu

    TV 551/701 Navigator User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 217 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy 223 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 Navigator 226 Vypnutie zariadenia TV 551/701 Navigator Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu...

  • Page 216: Bezpečnostné Pokyny Pre Turbomolekulárne Vývevy

    Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...

  • Page 217: Všeobecné Informácie

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...

  • Page 218: Uchovávanie

    Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...
  • Page 219 Návod na Obsluhu Uchovávanie Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 219/328...

  • Page 220: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 551/701 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...

  • Page 221: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Toto zariadenie nainštalujte výhrade v interiéri a nepoužívajte vývevu v prostredí s vonkajšími vplyvmi (dážď, sneh, ľad), prachom, korozívnymi plynmi, ani vo výbušných prostrediach alebo v prostredí s vysokým rizikom požiaru. Regulátor Turbo-V musí byť umiestnený tak, aby umožňoval voľný priechod POZNÁMKA vzduchu otvormi.
  • Page 222 Návod na Obsluhu Inštalácia Postava 2 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 551/701 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri “Technical Information”). 222/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 223: Upevnenie Vývevy

    Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt motora od plášťa výve-vy.
  • Page 224 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 551/701 Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 551/701 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej POZNÁMKA základnej dosky.

  • Page 225: Použitie

    Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.

  • Page 226: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 551/701 Navigator

    Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 551/701 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.

  • Page 227: Núdzové Zastavenie

    Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne-nou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...

  • Page 228: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 551/701 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Page 229: Likvidácia

    Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
  • Page 230 Návod na Obsluhu Likvidácia 230/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 231: Priročnik Za Navodila

    TV 551/701 Navigator User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 551/701 Navigator Izklop naprave TV 551/701 Navigator Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 231/328...

  • Page 232: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.

  • Page 233: Splošne Informacije

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.

  • Page 234: Shranjevanje

    Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...

  • Page 235: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 551/701 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili.

  • Page 236: Montaža

    Priročnik za Navodila Montaža Montaža Napravo nameščajte samo v zaprtih prostorih in je vsekakor ne postavljajte na taka mesta, kjer bo izpostavljena vremenskim dejavnikom (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom, ali v prostore, kjer obstaja nevarnost požara. Kontroler Turbo-V postavite tako, da lahko zrak prosto kroži skozi odprtine. OPOMBA SVARILO Če te naprave ne uporabljate v skladu z navodili, je zaščita, ki jo naprava...
  • Page 237 Priročnik za Navodila Montaža Slika 2 V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". TV 551/701 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 237/328...

  • Page 238: Pritrjevanje Črpalke

    Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke SVARILO! Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nostilca črpalke.
  • Page 239 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Napravo TV 551/701 Navigator lahko namestite v poljuben položaj. Naprave TV 551/701 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo OPOMBA ploskvijo. Po direktivi EN 61010-1 spada TV 551/701 Navigator v skupino za drugo POZOR! nameščanje (ali prekovoltažo).

  • Page 240: Uporaba

    Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.

  • Page 241: Vklop In Uporaba Naprave Tv 551/701 Navigator

    Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 551/701 Navigator Za vključitev TV 551/701 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. »Soft Start« način je predviden za zagon po daljši neuporabi črpalke. Za zagon »Soft Start«...

  • Page 242: Zaustavitev V Sili

    Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU predpisom.

  • Page 243: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 551/701 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 244: Odlaganje Opadkov

    Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...

  • Page 245: Instructions For Use

    TV 551/701 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing Switching on and Use of TV 551/701 Navigator TV 551/701 Navigator Switching off 256 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions...

  • Page 246: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.

  • Page 247: General Information

    Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.

  • Page 248: Storage

    Instructions for Use Storage This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
  • Page 249 Instructions for Use Storage If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 249/328...

  • Page 250: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 551/701 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.

  • Page 251: Installation

    Instructions for Use Installation Installation Install this device indoors only, and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
  • Page 252 Instructions for Use Installation Figure 2 In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 551/701 Navigator must be connected to a primary pump (see "Technical Information").

  • Page 253: Pump Fixing

    Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be WARNING! subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope.
  • Page 254 Instructions for Use Pump Fixing The TV 551/701 Navigator can be installed in any position. The TV 551/701 Navigator cannot be fixed by means of its base. NOTE The TV 551/701 Navigator belongs to the second installation (or overvoltage) CAUTION! category as per directive EN 61010-1.

  • Page 255: Use

    Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.

  • Page 256: Switching On And Use Of Tv 551/701 Navigator

    Instructions for Use Switching on and Use of TV 551/701 Navigator To switch on the TV 551/701 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...

  • Page 257: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 551/701 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.

  • Page 258: Disposal

    Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Page 259: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator 261 TV 551 Navigator Kit Models TV 701 Navigator Kit Models Pump Description Controller Description 267 Technical Specification TV 551/701 Navigator outline Interconnections Earth (Ground) Connection P3 - Vent P4 – External Fan J1 –...
  • Page 260 Technical Information Vent Accessories 306 Air Cooling Kit Installation 301 TV 551/701 with Navigator Controller TV 551/701 Pump with Standard Rack Controller 303 Water Cooling Kit Installation TV 551/701 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod. X3501-68002 Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation...

  • Page 261: Description Of The Tv 551/701 Navigator

    The system is available in five models for TV 551 and three models for TV 701. The models of each group differ in the high vacuum flange. The TV 551 Navigator five models are: Model 9698832 with ISO 160 high vacuum flange; ...

  • Page 262: Tv 551 Navigator Kit Models

    Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator Model 9698977 for TV 701 Navigator.  TV 551 Navigator Kit Models Figure 3 Model 9698832 Figure 4 Model 9698842 262/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 263 Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator Figure 5 Model 9698833 Figure 6 Model 9698835 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 263/328...

  • Page 264: Tv 701 Navigator Kit Models

    Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator TV 701 Navigator Kit Models Figure 7 Model 9698836 Figure 8 Model 9698843 264/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 265: Pump Description

    Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator Figure 9 Model 9698837 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Page 266 Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator The static blades of the stator are made of stain-less steel. These are supported and accurately po-sitioned by spacer rings. The Macrotorr stators are in the form of self-positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs.

  • Page 267: Controller Description

    Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digi-tal section.

  • Page 268: Technical Specification

    Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 3 Technical Specification CHARACTERISTIC TV 551 TV 701 Pumping speed (with inlet screen) CFF 6": CFF 8"/ISO160: CFF 10"/ ISO200: 350 l/s 550 l/s 690 l/s 450 l/s 600 l/s 620 l/s 450 l/s 510 l/s 510 l/s Compression ratio...
  • Page 269 Technical Information Technical Specification Bakeout temperature 120° C at inlet flange max.(CF flange) 80° C at inlet flange max.(ISO flange) Max permissible rotor temperature 120 °C Max altitude 3000 m Lubricant permanent lubrication Noise level <45 dB(A) at 1 meter Power supply: Input voltage: 100 to 240 Vac...
  • Page 270 Technical Information Technical Specification When the TV 551/701 Navigator has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. 270/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 271: Tv 551/701 Navigator Outline

    Technical Information TV 551/701 Navigator outline TV 551/701 Navigator outline The following figures show the TV 551/701 Navigator outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 11 TV 551 Navigator outline TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 271/328...
  • Page 272 Technical Information TV 551/701 Navigator outline Figure 12 TV 701 Navigator outline 272/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 273 Technical Information TV 551/701 Navigator outline Figure 13 TV 551/701 Navigator with ISO F flange outlines TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 273/328...
  • Page 274 Technical Information TV 551/701 Navigator outline TV 551 TV 701 Figure 14 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) Figure 15 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 551 TV 701 Figure 16 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 274/328...

  • Page 275: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 551/701 interconnections. Figure 17 TV 551/701 interconnections Earth (Ground) Connection We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the TV551/. Use a separate insulated green/yellow conductor,AWG16 and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump.

  • Page 276: P3 - Vent

    Technical Information Interconnections P3 - Vent Figure 18 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External Fan Figure 19 External fan This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 276/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 277: J1 - In-Out

    Technical Information Interconnections J1 – In-Out Figura 2 In-Out This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the TV 551/701 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig-nals are detailed in the table, the following para-graphs describe the signal characteristics and use.

  • Page 278: Signal Description

    Technical Information Interconnections Tab. 4 Signal characteristics and use Pin N. Signal name In-/Output Start/Stop (+) Start/Stop (-) Interlock (-) Interlock (-) Speed setting (-) Speed setting (-) Soft start (-) Soft start (-) + 24 vdc Contact: normally open Programmable set point (+) Contact: normally open Fault output...
  • Page 279 Technical Information Interconnections frequency: 100 Hz +/-20%  amplitude: 24 V max  duty cycle range: from 25% to 75%  corresponding to an output frequency from 272 Hz to 714 Hz (see the  following diagram): Figure 20 SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 150 min.
  • Page 280 Technical Information Interconnections Figure 22 Fault: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. Programmable set point: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold.
  • Page 281 Technical Information Interconnections Figure 23 Set point output The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...

  • Page 282: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller

    Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 24 How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of the integrated controller to an external system. Two cases are considered: 1.
  • Page 283 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 25 Case 1 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 283/328...
  • Page 284 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 26 Case 2 with relay utilisation 284/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 285 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 27 Case 2 with transistor utilisation TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 285/328...

  • Page 286: P2 - Serial

    Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller P2 – Serial Figure 28 9 pin connector This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 551/701. Tab.

  • Page 287: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field.
  • Page 288 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)  <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) <WIN> (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window ...
  • Page 289 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Tab. 7 Response types Type Length Value Description Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes...
  • Page 290 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 290/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 291 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 291/328...

  • Page 292: Window-Meanings

    Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Window-Meanings Tab. 8 Window-Meanings Read/Write Datatype Description Admitted Values Start/Stop (in remote mode Start = 1 the window is a read only) Stop = 0 Remote (default) or Serial Remote = 1 configuration Serial = 0...
  • Page 293 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Pump life/ cycle time/ cycle To reset write number reset ‘1’ Interlock type (default = 1) Impulse = 0 Continuous = 1 Analog output type: output 0 = frequency voltage signal proportional to 1 = power frequency or power...
  • Page 294 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Error code Bit description: see the following figure Cycle time in minutes 0 to 999999...
  • Page 295 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2.

  • Page 296: Inlet Screen Installation

    Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 30 Figure 31 Figure 32 296/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 297 Technical Information Inlet Screen Installation The inlet screens mod. 9699302, 9699304 and 9699316 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm di-ameter. The inlet screen, however, does reduce the pump-ing speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
  • Page 298 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 35 Figure 36 298/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 299: Heater Band Installation

    Technical Information Heater band installation Heater band installation Figure 37 The heater band model 9699808 and 9699807 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80 °C.
  • Page 300 Technical Information Heater band installation Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. The turbopump must be "baked" only when operat-ing with an inlet pressure NOTE less than 10-4 mbar and with water cooling.

  • Page 301: Air Cooling Kit Installation

    Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation TV 551/701 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 9699339) is available to improve the TV 551/701 cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 39 Fan specifications: air flow: 200m ...
  • Page 302 Technical Information Air Cooling Kit Installation Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. Figure 40 302/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 303: Tv 551/701 Pump With Standard Rack Controller

    Technical Information Air Cooling Kit Installation TV 551/701 Pump with Standard Rack Controller When the TV 551/701 pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model X3501-68001. Figure 41 Fan specification: air flow: 187 m ...
  • Page 304 Technical Information Air Cooling Kit Installation Figure 42 304/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 305: Water Cooling Kit Installation

    Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation The water cooling kit mod. 9699347 or 9699337 must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. Figure 43 Model 9699337 Figure 44 Model 9699347 The kit is assembled as shown in the figure.

  • Page 306: Vent Accessories

    Technical Information Vent Accessories Figure 45 Two rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two water cooling banjos. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or us-ing a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +10°C and +30°C, with an inlet pressure between 3 and 5 bar.

  • Page 307: Tv 551/701 Navigator Controller Compatible Vent Valve Mod. 9699834

    Technical Information Vent Accessories TV 551/701 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 Figure 46 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional).

  • Page 308: Standard Rack Controller Compatible Vent Valve Mod

    Technical Information Vent Accessories Figure 48 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suita-ble connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod.

  • Page 309: Vibration Isolator Installation

    Technical Information Vibration Isolator Installation This vent valve has a fixed delay time of about 2.5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph).

  • Page 310: Purge Valve Installation

    Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 50 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the...

  • Page 311: Serial Cable Installation

    Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 551/701 Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.

  • Page 312: Bottom Mounting

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation Bottom Mounting See the following figure. Turn the pump upside-down; Place the three fixing blocks with the through holes toward the inside, and fix them with the three M6 screws to the pump bottom; Place the controller on the blocks, with the pump cable toward the pump body;...

  • Page 313: Side Mounting

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation Side Mounting The L-shaped bracket (P/N 9699349) is available as an option. NOTE See the following figure. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts.

  • Page 314: Connection A - High Vacuum Flange

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation Figure 54 Connection A - High Vacuum Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 55 314/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 315: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "IN-STRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware.

  • Page 316: Connection Configurations

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation Connection Configurations Figure 56 316/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)

  • Page 317: Connection C - Electrical

    Technical Information TV 551/701 Controller Installation Connection C – Electrical Figure 57 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pins G and H are not connected, pins A and F reserved for Agilent.

  • Page 318: Pump Used With Corrosive Gases

    Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.

  • Page 319: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Figure 58 Purge layout Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation.

  • Page 320: Accessories And Spare Parts

    Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 9 Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Serial cable and Navigator Software 9699883 Inlet screen DN 100 9699302 Inlet screen DN 160 9699304...
  • Page 321 Technical Information Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER IDP-15 with inlet valve X3815-64010 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P) 321/328...
  • Page 322 Technical Information Accessories and Spare Parts 322/328 TV 551/701 Navigator User Manual / 87-900-934-01 (P)
  • Page 328 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

This manual is also suitable for:

Tv 701 navigator

Table of Contents