SevenStar CS200-F MFC User Manual
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REV.2.4
气体质量流量控制器/质量流量计
CS 系列 200-F 型
使 用 手 册
2015.12

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  • Page 1 REV.2.4 气体质量流量控制器/质量流量计 CS 系列 200-F 型 使 用 手 册 2015.12...

  • Page 2: Table Of Contents

    目 录 3.2 控制方式 ..........第一部分 产品说明 1.1 声明 ........... 3.3 调零 ............1.2 安全注意事项 ........3.4 软启动 ..........1.3 使用须知 ........... 3.5 延迟 ............1.4 概述 ........... 3.6 阀控制 ..........1.5 技术指标 ........... 3.7 阀类型 ..........1.6 标定 ........... 3.8 多气体多量程...

  • Page 3: 第一部分 产品说明

    气体质量流量控制器和质量流量计 使 用 手 册 第一部分 产品说明 1.1 声明 《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公 司(以下简称“七星电子”)专有。如无七星电子的书面许可，不得部分或全部影印本使用手 册。本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，出版商不承担任何由于错误或 遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。 北京七星华创电子股份有限公司 第 1 页 共 30 页...

  • Page 4: 安全注意事项

    1.2 使用须知 尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。 产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。 对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。 1.3 安全注意事项 下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。 a） 请勿替换产品零部件或者改动产品 不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损。 b）请联络专业工作人员为您服务 使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服 务。 c）使用危险气体时请特别注意 如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿， 须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。 d）吹洗仪器时特别注意 在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗， 用干燥气体吹洗通道 内剩余气体的残渣。 e）请遵照合适的步骤吹洗 产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。 f）请勿在爆炸性环境下使用本产品 为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证 。 g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作 所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符， 且与仪器所使用的接头相一致且与 仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。 h）请检查产品接头处是否漏气 请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。 第...
  • Page 5 CS200-F 型 MFC/ MFM 是北京七星华创电子股份有限公司 （七星电子） 生产的数字型产 品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信 号， 0～5V 模拟信号， 4～20mA 模拟信号， 可以使用双电源 （±8～±16 VDC） 或单电源 （+14～ +28 VDC）,并加入了电磁截止阀。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通 讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC。CS200-F MFC 默认配置为： MAC 地址：32； RS485 通信波特率:19200； 控制方式：0～5V 电压控制。 更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。 第 3 页 共 30 页...

  • Page 6: 技术指标

    1.5 技术指标 CS200 型号 阀类型 常闭阀 或 常开阀(流量规格≤30SLM) (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM 流量规格(N ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) 准确度 ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) ±0.5% F.S. 线性 ±0.2% F.S. 重复精度 响应时间 ≤1 sec 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10SLM＜流量规格≤30SLM 工作压差范围 0.2～0.45MPa 30SLM＜流量规格≤50SLM 零点： ≤±0.05% F.S/℃； 温度系数...

  • Page 7: 标准状况

    标准状态规定为: 温度 —— 273.15K ( 0℃ ); 气压 —— 101325 Pa (760mm Hg) F.S. (Full Scale): 满量程值 ； S.P.(Set Piont)： 设定点值 1.6 标定 CS200-F MFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，则按 照标准状况标定。 1.6.1 标准状况 出口压力：大气压 气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为： SCCM：标准毫升/分钟 SLM：标准升/分钟 标准状态：温度 0ºC (273.15K) 气压：101325Pa (760mm Hg) 因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所...

  • Page 8: 第二部分 安装

    第二部分 安装 2.1 概述 警告： 必须要非常小心地处理有毒的、腐蚀性的或易燃易爆的气体。在质量流量控制器/ 流量计安装之后，应该彻底的检查整个气路以保证没有气体泄漏。通入腐蚀性气体之前应先通一 个小时的干燥惰性气体以清洗质量流量控制器/流量计。 重要提示：当安装质量流量控制器/流量计时，确保产品通道所示的箭头方向与流经产品的 气体流动方向相同。 2.2 打开包装 CS200-F 型 MFC/MFM 产品在净化间的环境下组装、标定和真空包装。产品由两层独立的密封 袋包装，外层为普通塑料袋，内层为洁净真空袋。在进入净化间之前应该先拆掉外面的塑料袋， 为了减少污染，内层的洁净袋应该在洁净环境下拆开。 2.3 机械安装 2.3.1 概述 在大多数应用场合下，需要在气路中安装一个截止阀。用户应根据工况来决定截止阀的安装 位置(上游或下游)。为了防止污染，建议您在产品的上游管路中安装过滤器。 CS200-F 型产品的安装位置应同您在订货时要求的安装位置一致，空气应该干燥和洁净，安 装时应避免外力冲击或震动。产品外形图如图 2-1 所示，图 2-2、图 2-3 和图 2-4 为不同的接头 （ Compression Fittingφ3 ； Compression Fittingφ6 ； Compression Fitting1/8 ″ ； Compression Fitting1/4″；Compression Fitting3/8″；VCR1/4″阳接头；1.5″C 型密封接头；1.5″W 型密封...
  • Page 9 图 2-1 CS200-F 型产品外形图 第 7 页 共 30 页...
  • Page 10 图 2-2 产品尺寸外形图 第 8 页 共 30 页...
  • Page 11 图 2-3 产品尺寸外形图 第 9 页 共 30 页...
  • Page 12 图 2-4 产品尺寸外形图 第 10 页 共 30 页...

  • Page 13: 1/4"Vcr 接头安装方法

    接头类型 3/8〞； φ6； φ10 VCR1/4〞阳接头 双卡套 双卡套 双卡套 产品长度 1/4〞； φ3； 1/8〞 VCO1/4〞阳接头 双卡套 双卡套 双卡套 157.8 表 2-1 不同接头产品长度表 注意 : 图 2-2 和 2-4 中的高度 132mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加 50mm 左右。 2.3.2 安装 按进出气的方向，把质量流量控制器/流量计正确地接入管路中。 2.3.2.1 1/4″VCR 接头安装方法 VCR 垫圈有两种：无定位 VCR 垫圈和有定位 VCR 垫圈。1/4″VCR 接头的安装，如图 2-5、 图...

  • Page 14: 双卡套接头的安装方法

    2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 双卡套接头的安装方法见图 2-7，在装上前卡套、后卡套、螺母后,先用手将螺母与接头拧紧， 再用扳手拧紧(国外进口的双卡套接头要求用扳手旋转 1.25 圈拧紧)，以保证不漏气。注意应该使 用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动，用另一只扳手旋转螺母，特别是在拆卸接管时必须使 用双扳手操作，否则会引起接头松动,影响密封。 接管 螺母 前卡套 接头 后卡套 图 2-7 双卡套接头安装示意图 注意 : 按图 2-7 所示安装接管时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺母与接头拧紧， 再用扳手拧紧（国外进口的双卡套接头要求用扳手旋转 1.25 圈拧紧） ，以保证不漏气。注意 应该使用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动，用另一只扳手旋转螺母。特别是在拆卸接 管时必须使用双扳手操作，否则会引起接头松动，影响密封。 2.4 电气安装 2.4.1 概述 CS200-F 型产品采用开关电源方式，可支持双电源（±8～±16V DC）或单电源（+14～+28V DC），客户可以根据需要自行选择。电磁截止阀为单独 24VDC 电源。 CS200-F 型产品的电气接头采用 D 型阳接头、DeviceNet 接头以及 ProfiBus 接头，D 型接头 分...
  • Page 15 CS200-F 型产品支持 RS485 串行通讯、DeviceNet 通讯协议及 ProfiBus 通讯协议，用户可以 用 RS485 电缆线和相应的适配器与电脑连接。 2.4.2 连接 图 2-8，图 2-9，图 2-10，图 2-11, 图 2-12，图 2-13，图 14，图 15 分别给出了 CS200-F 型质 量流量控制器的 9 针 D 型阳接头，15 针 D 型阳接头，RS485 端口，DeviceNet 接头，电磁截止阀, 波士卡转换器，ProfiBus DP 接头（9 孔 D 型接头），ProfiBus 产品 15 针 D 型阳接头的连线图。 注意...
  • Page 16 图 2-10 RS485 连接图 图 2-11 DeviceNet 接线图 图 2-12 电磁截止阀接线图 图 2-13 我公司提供的波士卡转换器连图 图 2-14 ProfiBus DP 接头连接图 图 2-15 ProfiBus 产品 15 针 D 型阳接头连接图 第 14 页 共 30 页...

  • Page 17: 电缆线选型表以及连接示例

    2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 D08- D08- 1/2/4 2F/3F/4F 外接±15V 外接+24V 至上位 至电脑 2B/3B/4B D08-1F/1FM/1FS/8C/8CM/1G/1GM 电源 电源 机串口 USB 口 2E/3E/4E QCX-19/ QCX-17/QCX-P17 QCX-P19 QCX-41 QCX-43 QCX-34 QCX-50 (DB15 针) QCX-46 QCX-48 QCX-20/ QCX-18/QCX-P18 QCX-P20 QCX-42 QCX-34 QCX-50 (DB9 针) QCX-47 QCX-49 表 2-2 电缆线选型表 图...
  • Page 18 图 2-17 CS 产品与外接电源连接例图 图 2-18 CS 产品与外接电源连接例图 第 16 页 共 30 页...
  • Page 19 图 2-19 CS 产品连接示意图 七星电子可以提供所有电气连接线， RS485 转换器。 并可以根据客户需要定制相应的连接线， 更多详细信息请咨询当地七星电子代理商。 第 17 页 共 30 页...

  • Page 20: 工作检查

    2.5 工作检查 开始操作质量流量控制器/流量计前需要进行以下检查： 2.5.1 检查气路是否漏气。 2.5.2 检查工艺顺序与气路元件的完好性。 2.5.3 检查 MFC/MFM 的控制信号、电源电压大小与形式。 2.5.4 检查通入的气体类型与额定压力。 2.5.5 工作前让质量控制器/流量计预热 20 分钟，并检查零点。 2.5.6 通入干燥的惰性气体进行试运行。 2.5.7 在使用质量流量控制器/流量计控制强腐蚀性气体之前， 应先通入一个小时的干燥惰性气体 以清洗质量流量控制器/流量计。 第三部分 功能介绍 3.1 概述 CS200-F 型产品是七星电子采用最先进的数字技术研发的产品。在传感器驱动，零点漂移和 阀控技术等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性。 3.2 控制方式 CS200-F 型产品兼容数字模拟控制方式，客户可以根据需要选择控制信号方式，产品支持数 字控制，0-5V 电压控制和 4-20mA 电流控制。当客户选择了其中一种控制信号，其他两种控制信 号将被系统自动屏蔽。而流量检测信号则通过数字方式，0-5V 电压和 4-20mA 电流同时送出，互 不影响。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列...

  • Page 21: 阀控制

    CS200-F 型产品支持软启动功能。软启动是指客户根据需要，按照一定的斜率改变 MFC 的 设定。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。 3.5 延迟 当设定点低于最小可控值（2%F.S.），MFC 将关闭控制阀，当新的设定值大于最小可控值， MFC 将等待延迟时间后再开始调节。客户可以设定该延迟时间，延迟时间值表示 MFC 将延迟的 毫秒数，例如设定延迟时间为 200，MFC 将延迟 200ms 再开始调节工作。 特别规定：当延迟时间值为 1 到 49 时，MFC 将默认为 100ms 以后开始工作。 3.6 阀控制 CS200-F 型产品支持通过数字通讯或者模拟电压的方式直接关闭或者打开 MFC 的电磁调节 阀。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。 3.7 阀类型 CS200-F 型...

  • Page 22: Led 指示灯

    CS200-F 型产品可以记录和输出通过 MFC/MFM 的气体流量累积值。 累积值的单位为标准毫 升（SCC）。例如累积值的读数为 3000，则说明通过该 MFC/MFM 的气体已累积到 3000 标准毫 升(SCC)。 更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。 3.10 报警 CS200-F 型产品提供自动警告和错误报警功能。客户可以根据需要打开或者禁止该功能，在 客户没有特殊要求时，报警功能默认为关闭状态。MFC/MFM 可以提供的警告和错误报警： 传感器警告和错误报警 EEPROM 错误 控制阀错误 温度警告和错误报警 当 MFC/MFM 发生警告，LED 指示灯将红灯闪烁。当 MFC/MFM 发生错误报警，LED 指示 灯将红灯常亮。 更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。 3.11 LED 指示灯 CS200-F 型...

  • Page 23: 第四部分 维护

    第四部分 维护 4.1 概述 不需要对质量流量控制器或质量流量计进行日常保养，只需进行偶尔的清洗及再标定。如果 通入控制器的是超洁净以及无腐蚀性气体，在 3 年或 4 年后进行清洗及再标定。如果通入控制器 的是低洁净度气体或一种腐蚀性气体，在 1 年或 2 年后进行清洗及再标定。 更多细节请联系“七星电子”代理商。 4.2 注意事项 4.2.1 介质使用要求 使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果流量 控制器/流量计出口接有液体源瓶, 应在流量控制器/流量计出口加装单向阀, 防止液体回流损 坏产品。 警告 对于使用腐蚀性或有毒、易燃气体的产品，通气使用前应严格保证并检验安装和联接的气密 性；如需从系统上卸下，应在断开气路前，使用干燥的对人体无害的常规气体（如氮气、空气） 或惰性气体对产品进行彻底的清洗。如没有清洗，可能会引起火灾、爆炸、中毒等意外事故，将 导致人员伤亡。 4.2.2 阀口密封问题 MFC 的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用。MFC 的阀口内部漏气率在 1%F.S. 以内, 属于正常情况。 第五部分...

  • Page 24: 故障检查

    5.2 故障检查 请您根据以下表格对故障进行判断。 序号 故障现象 故障可能原因 处理方法 气体仍在流动 检查截止阀是否关闭 不通气时， 零点漂移 使用调零功能 显示值不为零 其他故障 *请与“七星电子”联系 气路连接不正确 检查MFC是否与气路正确连接 压差不在要求范围 检查压力 MFC工作在其他模式下 使用软件检查并改变控制模式 电源问题 检查电源及电源连接是否正确 无法控制流量 设定信号不正确 检查设定电压或者电流信号 MFC被污染 *请与“七星电子”联系 *请与“七星电子”联系 传感器损坏 电路板问题 *请与“七星电子”联系 阀体损坏 *请与“七星电子”联系 电源问题 检查电源及电源连接是否正确 通讯连接问题 检查通讯线是否正确连接 无法通讯 检查MFC/MFM的地址是否与别的 地址冲突...

  • Page 25: 第六部分 保证和服务

    *请与“七星电子”联系 电路板问题 警告 : 标*号的项目必须由专业维修人员进行修理。如果故障不在上表中或根据上表无法解决故障现 象,请与 “七星电子”代理商联系。 第六部分 保证和服务 6.1 七星电子有限保证 七星电子及其授权分销商特此向其产品买家保证，其产品的材料与加工的质量自购买日起十 二个月内无材料和工艺瑕疵。 对买家的补偿仅限于替换及安装因材料或工艺瑕疵而失效的部件。 客户指定选用的所有部件适用相关制造商的保证。 其它与产品的状况或使用相关的陈述（无论明示或默示）、保证、或责任均明确予以除外， 在任何情况下，七星电子及其授权分销商均不向买家或任何第三方承担任何因间接或附带损害 （不论其是直接还是间接）导致的赔偿责任。 6.2 产品保证 “七星电子”生产的 MFC/MFM 系列产品提供以下保证： 6.2.1 用户收到货物后，有责任检查及核对货物，并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知 “七星电子”收货情况。 6.2.2 保修期内，产品必须由“七星电子”授权的服务中心修理，否则，产品的保修是无效的。 6.2.3 在一年保修期以内，维修是免费的。如果保修期过了，“七星电子”将会在维修前通知用 户需要更换的部件及维修费用。维修时间在 20 个工作日以内，保修件包括耗材及易磨损件 （四氟或氟密封圈等）。 6.2.4 如果没有出示清除污染及净化处理的证明，“七星电子”将不会修理或保修任何 MFC/MFM。 6.2.5 我们分别检查每台 MFC（接头外观检查，氦气检漏及流量标定）。对由于气体泄漏或危险 气体的使用所造成的任何损害，七星电子不负有任何责任。用户有责任按照可用的安全规章...

  • Page 26: 免责声明

    MFC 内部电路板的永久 损坏。 d．气路的连接：必须仔细的安装 VCR 密封件。“七星电子”保证所有的密封端口经过单独 检查并且没有划痕。 e．接头安装步骤：必须按照手册中陈述的安装步骤小心的装配。特别需要注意的是，如果 使用的是腐蚀性或者有毒气体，清洗程序非常重要。 f．禁止私自拆开 MFC/MFM。如果 MFC 外罩上的贴纸撕裂了，则 MFC 承诺的保修无效。 6.3 服务 “七星电子”产品的技术支持工程师将会帮助您解决关于操作、软件开发、连接、气体流动、 气体混合等方面的问题。 “七星电子”提供质量流量控制器的使用培训。 请您访问 http://mfc.sevenstar.com.cn 找到有关的产品资讯和离您最近的维修及服务中 心。 6.4 免责声明 北京七星华创电子股份有限公司对以下情况造成的损坏不承担责任： 1、 自然灾害 2、 误操作或者不合理使用 3、 在不适宜或者恶劣的环境下操作或者储存 4、 使用说明书以外的方法对仪器进行操作 5、 未经授权改动或更新产品 例如： 使用腐蚀性气体前未清洗气路或者 MFC 被灰尘等污染物污染或堵塞。...

  • Page 27: 附录Ⅰ

    录Ⅰ 产品序号描述 附 标 准 订 单 的 填 写 格 式 标 准 准 订 订 单 单 的 的 填 填 写 写 格 格 式 式 标 CS200 CS200 [t] [g,g,g] [v] [r,r,r,r] [a] [f,f] [t] –类号 [ F] 截止阀一体化MFC(0～5V ) [g,g,g] –...
  • Page 28 - [ 000C] 特殊量程详见 [a] – 通讯形式 - [ R ] DB9针 - [ D ] DB15针 - [ X ] DeviceNet接头 - [ F ] ProfiBus接头 [f,f] – 进出气接头 -[AA] 双卡套φ3mm(仅适用于满量程≤5SLM产品) -[GG] 双卡套φ6mm(仅适用于满量程≤30SLM产品) -[JJ ] 双卡套φ10mm -[BB] 双卡套1/8" (仅适用于满量程≤5SLM产品) -[CC ] 双卡套1/4"(仅适用于满量程≤30SLM产品) -[HH ] 双卡套3/8"...
  • Page 29 例如：输入输出信号：4~20mA； 混合气体要注明比例：N （60%）+CO （40%） 工作压差范围：（0.3~0.5）MPa 标定温度：40℃ 外罩及标签文字：中文 阀控信号：阀控模式是0 供电电源：±15V供电 控制方式：ProfiBus产品模拟电压模式 其他特殊要求。 举例: 以 CS200-F013C500CDGGVHS 为例： CS200 500C D GG 型号：CS200 类号： 截止阀一体化 使用气体：N 调节阀配置：常闭调节阀 满量程流量：500SCCM 通讯形式：DB15 针 进出气接头：Compression Fittingφ6mm 密封材料：氟橡胶 安装位置：水平安装 特殊要求：如 中文，工作压差(0.05～0.3) MPa，特殊接头(附图纸)， 特殊标定温度 40℃，使用电流设定等要求逐一填写。 第 27 页 共 30 页...

  • Page 30: 附录Ⅱ

    附录Ⅱ 常用气体转换系数 密度(克/升 0℃) 代号 比热(卡/克℃) 转换系数 (SEMIE52-0302) 空气 0.240 1.293 1.001 氩气 0.125 1.784 1.420 砷烷 0.117 3.478 0.673 三溴化硼 0.065 11.180 0.378 三氯化硼 0.122 5.227 0.450 三氟化硼 0.178 3.025 0.508 硼烷 0.502 1.235 0.441 四氯化碳 0.130 6.860 0.306 四氟化碳...
  • Page 31 密度(克/升 0℃) 气 体 代号 比热(卡/克℃) 转换系数 (SEMIE52-0302) 锗烷 0.141 3.418 0.570 氢气 3.422 0.090 1.010 溴化氢 0.086 3.610 0.999 氯化氢 0.191 1.627 0.988 氟化氢 0.348 0.893 1.001 碘化氢 0.055 5.707 1.000 硫化氢 0.228 1.520 0.802 氦气 1.242 0.179 1.420 氪气...
  • Page 32 注：转换系数使用说明 质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用 N 标定，实际使用中如果是其它气体，必 要时可进行读数修正，方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。如是单组份气 体， 其转换系数可在我厂产品技术说明书中查得； 如是多组份气体 （假定由 n 种气体组成） ， 请按下列公式计算其转换系数 C： 基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp) 其中： ρ——为气体在标准状态下的密度 CP——为气体的定压比热 N ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组份有关, 见下表） 气体分子构成系数表: N 取 值 气体分子构成 举 例 1.01 单原子分子 双原子分子 1.00 三原子分子 0.94 0.88 多原子分子 ω /ω...
  • Page 33 北京 741 信箱 3 分箱 通讯地址： 100015 邮政编码： +86-10-64362939 64362925 联系电话： +86-10-64361831—8491/8315 +86-10-64362923 传 真： http://mfc.sevenstar.com.cn 网 址： 电子信箱(E-mail): mfcsales@sevenstar.com.cn 乘地铁到东直门, 换乘 401 路公共汽车，到陈各庄下车或 乘车路线： 乘地铁到农业展览馆，换乘 516 路公共汽车，到酒仙桥东路北口下车 *公司承诺不断提升产品品质，保 上海办事处: 上海闸北区天目西路 547 号联通国际大厦 1916 室(200070) 留在不经通知的情况下对此手册 话: +86-21-33030324 电 真: +86-21-63533265 传 所含信息进行修改的权力。 *本手册内容，已经严格审校，如...
  • Page 34 REV.2.4 CS200-F MFC/MFM User’s Manual 2015. 12...
  • Page 35 5.1 Initial check ............. 2.3.2.2 Compression Fitting Installation ....5.2 Troubleshooting ..........2.4 Electrical Installation ........SECTION 6 WARRANTY AND SERVICES 6.1 Guarantee of Sevenstar ........2.5 Checking Before Operation......6.2 Product Warranty…………………………... 6.3 Services ............SECTION3 FUNCTIONS 6.4 Disclaimer ............

  • Page 36: Declaration

    The copy right of The user’s manual of mass flow controller and mass flow meter is subjected to Beijing Sevenstar Electronics Co., Ltd (following abbr. Sevenstar), which is not allowed to duplicate, store and distribute any part of this manual in mean of electric, mechanical, photocopy, recording or other way without permission of Sevenstar.

  • Page 37: Attention

    User of the product should read and comprehend this manual and pay attention to the text with labels and notices. Sevenstar assumes no liability for the customer’s failure to comply with this manual. This manual is necessary for your installation and maintenance, please keep it carefully. 1.3 The notice of safety Please pay attention to the below notices when reading this manual.

  • Page 38: General

    e) Please abide by proper steps of purging. Product should be purged and handled with gloves. f) Do not use the instrument in explosive environment. Do not use the instrument in explosive environment, unless the safety certificate is available. g) Please use proper fittings and keep the rules. All fittings of instrument must be matched according to the listing in manual.
  • Page 39 & matching gas system, capillary flow control system, gas chromatograph and other analytical instruments. The CS200-F MFC is a latest generation MFC for use in semiconductor applications and demanding industrial uses where its high accuracy and flexibility in interfacing are required.

  • Page 40: Specification

    1.5 Specification CS200 Type Full scale range ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM ＜ Accuracy ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. ( 35% F.S.) Linearity ±0.5% F.S. Repeatability ±0.2% F.S. Response Time ≤ 1sec Valve Rest Normally Closed or Normally Open（F.S.≤30slm） Position (0.05～0.35) MPa（Flow≤10 SLM ）...

  • Page 41: Calibration Features

    Attention MFC/MFM is calibrated by N as a standard gas. Units: SCCM (Standard Cubic Centimeter/Min); (Standard Liter/Min) Tem ——273.15K ( 0 ºC ); Standard Situation: Air Pressure——101325 Pa (760mm Hg) F.S : Full Scale 1.6 Calibration Features Normally, the MFC are calibrated close to customer’s requirement (the require should be accorded with the specification).

  • Page 42: Section 2 Installation

    volume flow rate is equal to the mass flow rate. Therefore at the standard state, the volume flow rate can represent mass flow rate. The standard mounting position is horizontal, And other positions such as vertical(inlet up or down)，flatwise or customized position are optional. The mounting position should be specified by the customer to ensure the best accuracy.

  • Page 43: Mechanical Installation

    The CS200-F MFC are assembled，calibrated and clean packaged under clean room conditions. These series products are packaged with two separately sealed plastic bags. The outside is common plastic bag, the inside is clean bag. The outside bag should be removed in the entrance to the clean room.
  • Page 44 Figure 2-1 CS200-F MFC Figure 2-2 Product（R&D）dimensions 9of34...
  • Page 45 Figure 2-3 Product（ ）dimensions DeviceNet 10of34...
  • Page 46 Figure 2-4 Product dimensions Fitting Length VCR1/4〞 M Compression FittingΦ6； Compression Fitting1/4”;Compression Fitting3/8”； Compression FittingΦ10;Compression FittingΦ3； Compression Fitting1/8” VCO1/4〞 M L（mm） 157.8 Table 2-1 The length of the product with different fittings 11of34...

  • Page 47: Installation

    Attention : The height (which is showing in figure 2-2 and figure 2-4) of 132mm are height without electric connectors of cable. It should be added around 50mm more after adding the electric connector. 2.3.2 Installation Place MFC according to the flow direction. 2.3.2.1 1/4〞VCR Connection Refer to figure 2-5 and figure 2-6.

  • Page 48: Compression Fitting Installation

    2.4 Electrical Installation 2.4.1 General With simple switching power supply, CS200-F MFC is available for ±8 to ±16 VDC (dual-ending) and +14 to +28 VDC (single-ending). Customer can choose as need. The 13of34...
  • Page 49 Sub-D connector is the SEMI Standard compatible, only 0-5V analog signal control and output available. 15 pin male sub-D connector, both 4-20mA and 0-5V analog signal control and output available. CS200-F MFC/MFM can communicate with PC via RS485 、 DeviceNet or ProfiBus . 2.4.2 Connections 9 pin male Sub-D connector, 15 pin male Sub-D connector , RS485 connector，...
  • Page 50 Figure 2-10 RS485 connector Figure 2-11 electromagnetic valve connector Figure 2-12 electromagnetic valve connector Figure 2-13 RS232-RS485 connector Figure 2-14 ProfiBus connector of Figure 2-15 ProfiBus connector of 9-pin female sub-D 15-pin male sub-D connector 15of34...
  • Page 51 2.4.3 Table of Selecting Type of Cable and its Illustration of Connection D08- To USB D08- 1/2/4 2F/3F/4F Input Input 2B/3B/4B Serial of D08-1F/1FM/1FS/8C/8CM/1G/1GM ±15V +24V 2E/3E/4E Computer QCX-19/ QCX-17/QCX-P17 QCX-P19 QCX-41 QCX-43 QCX-34 QCX-50 (DB15 Pin) QCX-46 QCX-48 QCX-20/ QCX-18/QCX-P18 QCX-P20 QCX-42...
  • Page 52 Figure 2-17 CS Product and Illustration of Connecting Power Figure 2-18 CS Product and Illustration of Connecting Power 17of34...

  • Page 53: Checking Before Operation

    Figure 2-19 Illustration of Connecting CS Product Sevenstar manufactures all standard cables, RS485 adaptor, customized cables and some accessories. For more details, contact Sevenstar or its local agent. 2.5 Checking Before Operation Before operating the MFC the following checks should be completed:...

  • Page 54: Section3 Functions

    The analog output will be available at all times. The flow output of the CS200-F MFC will be available through the RS485 interface, even in the analog control mode. The setting of the CS200-F MFC can be provided to the MFC through one of two sources, in 19of34...

  • Page 55: Zero

    After zero finished, the green LED will be on constantly. CS Product of the ProfiBus has the Zero function,but does not have the LED. 3.4 Soft-Start The CS200-F MFC support soft-start function. Soft-start allows customer change the setting of MFC with definite rate. Please refer to “Digital MFC Communication User Manual” for more details.

  • Page 56: Valve Type

    Customer can change gas convert factor, full scale of MFC via digital interface. Full scale of CS200-F MFC can be re-ranged from 30% to 110%F.S. For example, an MFC with 100 SCCM full scale , the new full scale can be re-ranged between from 30 SCCM to 110 SCCM.

  • Page 57: Total Flow Accumulator

    The Total Flow accumulator will record the amount of gas (in SCC) that has been delivered by CS200-F MFC. The amount of purge will not be accumulated in the total flow amount. For example, the total reading is 3000, means the amount of gas delivered by MFC is 3000SCC Please refer to “Digital MFC Communication User Manual”...

  • Page 58: Section 4 Maintenance

    It can be used about 3 or 4 years with an ultra-clean and non corrosive gas. It can be used about 1 or 2 years with a low purity gas or a corrosive gas. For any other problems, contact Sevenstar. 4.2 Caution...

  • Page 59: Section 5 Troubleshooting

    4.2.1 Medium Forbidden The used gas should be purified without dust，liquid and oil stain. If necessary, the filter should be added to gas system for purification. If the outlet of MFC is connected to liquid sources, a One-way valve should be added to avoid the liquid back to destroy MFC. Attention : For the cases that the MFC/MFM used with toxic, pyrophoric, flammable or corrosive gas, you should ensure that the fixing and fitting are airtight.
  • Page 60 Check closure of series shutoff valve without gas flow, is present not zero Zero drift Zero MFC other *Contact Sevenstar Gas connection incorrect Check gas connection Pressure incorrect Check pressure condition Change the control mode by the Wrong control mode...

  • Page 61: Section 6 Warranty And Services

    Warranty periods: One year 6.2.2 Buyers undertake to check and inspect the goods and to notify Sevenstar of shipment incidents by fax, phone or e-mail as soon as possible after receipting the goods.
  • Page 62 Users are responsible for following the safety rules applicable to each gas they use. Improper use of a Sevenstar MFC will void the warranty, and MFC that have been damaged as a result of improper use will not be replaced by Sevenstar.

  • Page 63: Services

    6.4 Disclaimer Beijing Sevenstar Electronics Co., Ltd is not responsible to loss as following situation: 1. Nature disaster and calamity; 2. Unsuitable operation and unreasonable usage; 3. Operating and storing in inappropriate or execrable circumstance;...
  • Page 64 AppendixⅠ CS200 Selection Guide CS200-[t] [g,g,g] [v] [r,r,r,r] [a] [f,f] [s] [m] [d] [t] – Type - [F] MFC with shut-off valve [g,g,g] – Gas Standard: SEMI52-0302 (029 NH is unavailable) For example -[ 013 ] N2 -[ 007 ] H2 -[ 000 ] Mixture Gases (please consult [d] for details) [v] –...
  • Page 65 -[ E ] HESD(Horizontal Edge Side Down) -[ U ] Vertical Inlet Up -[ D ] Vertical Inlet Down [d] –Description -[ - ]：Default Value The letters on cover and tag：In English Differential Pressure: (0.05 ~ 0.35) MPa (7.3~50.8 psid) (FLOW≤10SLM) ＜...
  • Page 66 Take CS200-F013C500CDGGVHS as the example CS200 - F 500C R GG V Model：CS200 Type: MFC with shut-off valve Gas: Type of Valve: Normally closed Full range Electronic connector：DB9 Fittings：Compression Fittingφ6mm Seal material: Viton Mounting position For example Customized requirement: In Chinese. Differential pressure, (0.3-0.5)MPa, customized fittings, customized calibration temperature, 40℃...

  • Page 67: Appendixⅱ

    APPENDIX II CONVERSION FACTOR GAS CODE SPECIFIC HEAT DENSITY CONVERSION (SEMIE52-0302) ( Cal/g (g/l 0 ) FACTOR ℃ ℃ 0.2400 1.2930 1.001 0.1250 1.7837 1.420 0.1168 3.4780 0.673 0.0647 11.1800 0.378 0.1217 5.2270 0.450 0.1779 3.0250 0.508 0.5020 1.2350 0.441 0.1297 6.8600 0.306...
  • Page 68 GAS CODE SPECIFIC HEAT DENSITY CONVERSION (SEMIE52-0302) ( Cal/g (g/l 0 ) FACTOR ℃ ℃ 0.1405 3.4180 0.570 3.4224 0.0899 1.010 0.0861 3.6100 0.999 0.1911 1.6270 0.988 0.3482 0.8930 1.001 0.0545 5.707 1.000 0.2278 1.5200 0.802 1.2418 0.1786 1.420 0.0593 3.7390 1.431 0.2486...
  • Page 69 Conversion Factors Instruction： MFC and MFM are standard calibrated by N while it’s out of factory. Other gas calibrations can be approximated by converting of conversion factors of our instruction. While using other gas operating: One single gas: The conversion factors could find out in the users specification instruction. A mixture of two or more gases: Assume there is “n”...
  • Page 70 Beijing Sevenstar Qualiflow Electronic Equipment Manufacturing Co.,Ltd. CS Series Mass Flow Controller Beijing Sevenstar Electronics Co., Ltd. Mass Flow Meter Subsidiary Co., Ltd. Address: No.1 Jiuxianqiao East Rd., Chaoyang District, Beijing, China P.O.BOX 3#741, Beijing, China Post code： 100015 Tel：...

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Cs200-f mfm

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