Agilent Technologies TwisTorr 305 FS User Manual page 82

Hide thumbs Also See for TwisTorr 305 FS:
Table of Contents

Advertisement

6
使用方法
エラーメッセージ
メッセー
過剰負荷
短絡
システム
オーバー
ライド
過電圧
起動時間
82/190
説明
ポンプにより引き出された電流量
がプログラムされたものよりも高
くなっています。
起動フェーズの後、出力接続がシ
ョートしました。
ポンプは、リモートコンタクト経
由で提供された緊急停止信号によ
り停止されました。
コントローラーの電源供給回路が
故障しているか、またはコントロ
ーラーがスパイクを受けました。
起動時間切れ
TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual / 87-901-059-01
修理動作
ポンプのローターが障害なく
回転できるか確認してくださ
い。ポンプを開始するには、
「開始」のプッシュボタンを
2回押してください。
接続を確認してください。
コントローラーの電源ケーブ
ルを抜き、緊急状態を確認し
てください。それから電源ケ
ーブルを再接続し、ポンプを
開始するには、「開始」のプ
ッシュボタンを2回押してく
ださい。
ポンプを開始するには、「開
始」のプッシュボタンを2回
押してください。
もしメッセージが消えない場
合、Agilent に問い合せてくだ
さい。
起動時間の設定の確認。カス
タマー手順に従って調整して
ください。ポンプ内に流入さ
れるガス量を確認してくださ
い。

Advertisement

Table of Contents
loading

This manual is also suitable for:

X3506-64130X3506-64131

Table of Contents