Varian 969-9057 Instruction Manual page 23

NEI
! ! ! !
ADVARSEL!
For  unng skader m du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
p det sterkeste  bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger p inngangen, m du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
Turbo-V700HT serien turbo-molekulÊre pumper m kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-
9445, 969-9545, 969-9872), og m koples til hovedpumpen (se
skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment p 4000 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene med ISO
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. F¯lgende
tabell angir det n¯dvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE KLEMME
ISO 200 Dobbel klemme
gjenge M10
Enkel klemme
gjenge M10
Turbopumpen med innl¯psflens ConFlat skal festes pÂ
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle lÂsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til ìTeknisk informasjonî.
For  feste pumpen til fundamentet er det n¯dvendig  bruke
tre M6-skruer, som skrues fast i hullene p pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning p 500 N/mm
skruenes riktige strammemoment er 3,1 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les n¯ye gjennom denne manualen f¯r pumpen tas i bruk.
For  ¯ke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fÂs som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pÂgÂr m temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120MC.
innl¯psflens skal festes
ANTALL STRAMME-
MOMENT
6 22 Nm
12 22 Nm
Bruk alltid vannavkj¯ling under oppvarmingen
Ikke ber¯r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De
brannskader.
Bruk st¯v- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen m ikke vÊre mindre enn 2
bar (over atmosfÊrisk trykk).
Unng st¯t, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen nÂr den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell Âpning. Til denne Âpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for  beskytte lagrene (se
ìTeknisk informasjon).
NÂr pumpen brukes for  pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene f¯lges.
til
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj¯er.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V700HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid pÂ
pumpen m kun utf¯res av autorisert personell.
F¯r noe arbeid gj¯res p turbopumpen m den frakoples
tilf¯rselen, den m luftes ved  Âpne den aktuelle ventilen og
deretter vente
overflatetemperatur er lavere enn 50MC.
Dersom pumpen stanser, m du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ¯delagte
2
pumpen.
F¯r pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, m det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket m vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, m dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
BRUKERVEILEDNING
! ! ! !
ADVARSEL!
h¯ye temperaturene
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
ADVARSEL!
! ! ! !
ADVARSEL!
til rotoren har stanset
MERK
87-900-878-01(C)
kan f¯re til
og pumpens