Varian 969-9057 Instruction Manual page 21

NEJ
! ! ! !
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller fˆremÂl i turbopumpens
inlopp fˆr att undvika skador. Anv‰ndning av skyddsgaller
(tillval) rekommenderas starkt. Om vibrationsd‰mpare
eller bˆjliga metallb‰lgar monteras vid inloppet mÂste
pumpen fˆrankras i fundamentet.
Turbomolekyl‰rpumparna i serien V700HT mÂste anv‰ndas
med en s‰rskild styrenhet frÂn Varian (serie 969-9445, 969-
9545, 969-9872), och anslutas till en fˆrpump (se schema i "
Technical information").
Turbopumpen kan installeras
turbopumpen i ett stabilt l‰ge genom att ansluta pumpens
intagsfl‰ns till en fast fl‰ns som mÂste tÂla ett vridmoment pÂ
4000 Nm runt sin axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfl‰ns
vakuumkammaren med hj‰lp av dubbla eller enkla klamrar.
Den fˆljande tabellen beskriver nˆdv‰ndigt antal klamrar och
med vilket Âtdragningsmoment de ska sp‰nnas.
FLƒNS TYP AV
KLAMMER
ISO 200 Dubbel klammer
med g‰nga M10
Enkel klammer
med g‰nga M10
Turbopumparna med intagsfl‰ns ConFlat ska f‰stas till
vakuumkammaren med hj‰lp av Varian f‰stdelar. Fˆr detaljer
h‰nvisas till bilaga ìTechnical Informationî.
Fˆr att f‰sta pumpen till fundamentet ‰r det nˆdv‰ndigt att
anv‰nda 3 M6 skruvar, som installeras i hÂlen p pumpens
fundament. De anv‰nda skruvarna mÂste tÂla en belastning pÂ
2
500 N/mm korrekt Âtdragningsmoment ‰r 3,1 Nm.
Installation av tillbehˆrsutrustning
Information".
ANVƒNDNING
Anvisningar fˆr riktig anv‰ndning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
L‰s bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
Fˆr att fˆrb‰ttra tryckgr‰nserna kan pumphuset v‰rmas med
ett s‰rskilt v‰rmeaggregat som finns som tillval. Under
uppv‰rmningen av pumploppet fÂr temperaturen vid inloppet
aldrig bli hˆgre ‰n 120 QC.
i valfri position. F‰st
ska f‰stas i
ANTAL JTDRAGNINGS-
MOMENT
6 22 Nm
12 22 Nm
beskrivs i "Technical
Under uppv‰rmningen mÂste vattenkylningen anv‰ndas.
! ! ! !
Vidrˆr inte turbopumpen
uppv‰rmningen fˆr att undvika br‰nnskador.
Anv‰nd luft eller ‰delgas, fri frÂn damm och partiklar fˆr
luftning av pumpen. Trycket vid inloppet fÂr vara hˆgst 2 bar
(ˆver atmosf‰riskt tryck).
Undvik sammanstˆtningar,
fˆrflyttningar av turbopumpen n‰r den ‰r igÂng. Lagren kan bli
skadade.
Fˆr pumpning av fr‰tande gaser ‰r dessa pumpar fˆrsedda
med en speciell ˆppning igenom vilken man skall leda en strˆm
av ‰delgas (kv‰ve eller argon) fˆr att skydda lagren (se bilagan
ìTechnical informationì).
! ! ! !
DÂ pumpen anv‰nds fˆr pumpning av giftiga, l‰ttant‰ndliga
eller radioaktiva typ, bˆr man fˆlja de s‰rskilda anvisningarna
fˆr varje enskild gas.
Anv‰nd ej pumpen i n‰rheten av explosiva gaser.
UNDERHJLL
Pumparna i Turbo-V700HT-serien ‰r underhÂllsfria. Allt
servicearbete mÂste utfˆras av auktoriserad personal.
! ! ! !
Innan nÂgot arbete utfˆrs p turbopumpen mÂste pumpens
strˆmfˆrsˆrjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen ˆppnas. V‰nta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur ‰r l‰gre ‰n 50fC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ers‰tta pumpen med en
renoverad pump.
Innan pumpen l‰mnas in till tillverkaren fˆr reparation eller
utbyte mot en renoverad
s‰kerhetsbladet" som medfˆljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala Âterfˆrs‰ljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt g‰llande lagstiftning
16
BRUKSANVISNING
VARNING!
eller nÂgra tillbehˆr
! ! ! !
VIKTIGT
! ! ! !
VIKTIGT
sv‰ngningar eller
! ! ! !
VIKTIGT
VARNING!
VARNING!
OBSERVERA
enhet, mÂste "h‰lso-
87-900-878-01(C)
under
plˆtsliga
och