Download Print this page

horiba SF-2U Instruction Manual

Film flow meter

Table of Contents

日本語
- Table of Contents
- はじめに
- 動作原理
- パッケージの確認
- 製品仕様
- 各部説明
- 操作説明
- 測定場所
- 電源接続
- 成膜液注入
- 体積管ユニット装着
- 配管接続
- 校正温度設定
- 電源投入
- 体積管湿らし
- 大気圧入力
- 演算式
- 定期点検
- 保守部品
- 定期交換部品
- 成膜液の補充
- 体積管の洗浄
- 成膜液の交換
- 日常保守
- トラブルチャート
- 電源が入らない
- A1 アラーム発生
- A2 アラーム発生
- A3 アラーム発生
- A4 アラーム発生
- 膜が複数枚出来る
- 時計をカウントしない
- 付録 a コンピュータ通信仕様
- 付録 B プリンタ通信仕様
English

Advertisement

Quick Links

自動式精密膜流量計

FILM FLOW METER

SF-1U/2U

取扱説明書

Instruction Manual

CODE: I030248700E

Table of Contents

Advertisement

Chapters

Table of Contents

Need help?

Need help?

Do you have a question about the SF-2U and is the answer not in the manual?

Questions and answers