Matsusada Precision HECD Series Basic Instruction Manual

HECD シリーズ簡易操作マニュアル（pp.1～8）
HECD series Basic Instruction Manual (pp.9 to 16)
１．はじめに
本紙は、HECD シリーズの主な機能をまとめたものです。詳細
な説明や注意事項等は取扱説明書に記載しております。製品
からは、高電圧、高エネルギーが発生します。感電により死亡
や重大な怪我に至る危険性がありますので、製品を安全にご
使用いただくために、ご使用前に取扱説明書を必ず最後まで
お読みください。製品の正しい使い方をご理解いただいた上で
ご使用ください。取扱説明書に記載された警告や操作手順を
守らない事によって生じる損害ついて、当社は一切その責任
を負いませんので、予めご了承ください。
WEB 取説のご案内
最新の取扱説明書/ドライバ関連は、弊社ホームページか
らダウンロードしていただく必要がございます。
右の QR コードからも弊社ホームページ
へ移動できます。
取扱説明書をダウンロードできない場合
は、お手数ですが、弊社営業担当にご連絡
ください。
取扱説明書は、いつでも必要な時にご覧になれるよう、大
切に保管してください。
https://www.matsusada.co.jp/product/
目 次
１．はじめに .....................................................................................
２．付属品の確認 ..........................................................................
３．製品を安全にご使用いただくために ..............................
４．初期点検 ....................................................................................
５．外観説明 ....................................................................................
６．接続 .............................................................................................
７．操作説明 ....................................................................................
８．ウエハセンシング ...................................................................
９．アナログ制御 ............................................................................
１０．"故障かな？"っと思ったら ..............................................
*284.9.005*
B/N: 284.9.005 Rev 0.0
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２．付属品の確認
開梱後、まず製品本体以外に下記の付属品が揃っているか
確認してください。万一、違う物が入っていた場合、足りない物
があった場合、もしくは破損していた場合には、お手数ですが、
弊社営業担当にご連絡をお願いいたします。
<付属品>
□ 簡易操作マニュアル（本紙）
□ 入力ケーブル
□ 出力高圧ケーブル
(LSep/LCt ｵﾌﾟｼｮﾝ装着時は 2 本)
□ D-sub コネクタ 37pin
1
F-RA-001-10R1
1 部
1 本
3 本
1 個