Varian 969-9447 Instruction Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Varian Manuals
  4. Controller
  5. 969-9447
  6. Instruction manual

Varian 969-9447 Instruction Manual

Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Download this manual
Turbo-V 1000 ICE
controller
Model 969-9447
Model 969-9547
87-900-905-01 (I)
SEPTEMBER 2004
vacuum technologies
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE ISTRUCCIONES
MANUAL DE ISTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
ISTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL

Advertisement

Table of Contents
loading
Need help?

Need help?

Do you have a question about the 969-9447 and is the answer not in the manual?

Questions and answers

Subscribe to Our Youtube Channel

Related Manuals for Varian 969-9447

Summary of Contents for Varian 969-9447

  • Page 1 MANUALE DI ISTRUZIONI Turbo-V 1000 ICE BEDIENUNGSHANDBUCH controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9447 BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9547 ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA...
  • Page 2 Turbo-V 1000 ICE Controller...

  • Page 3: Table Of Contents

    ISTRUZIONI PER L’USO ....................GEBRAUCHSANLEITUNG ................... MODE D’EMPLOI ......................ISTRUCCIONES DE USO ..................... ISTRUÇÕES PARA O USO ..................GEBRUIKSAANWIJZINGEN ..................BRUGSANVISNING ...................... BRUKSANVISNING ....................... BRUKERVEILEDNING ....................KÄYTTÖOHJEET ......................ODHGIES CRHSEWS........................HASZNÁLATI UTASÍTÁS …................... INSTRUKCJA UZYTKOWANIA ..................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................………. 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................………..
  • Page 4 OPTIONAL SERIAL PORT ......................Serial Port Installation ......................75 Serial Communication Port J13 and J14 ................76 RS 232-422 Communication Description ................76 Trasmission Channel Characteristics..................RS 485 Communication Description ..................76 Trasmission Channel Characteristics..................76 Message Structure........................76 Window-Based Protocol......................79 USE ..............................

  • Page 5: Istruzioni Per L'uso

    L’utilizzo dell’apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell’appendice "Technical Information". Imballo dei controllers Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: Ogni controller è fornito dalla Varian predisposto per una certa tensione di alimentazione: PERICOLO! • il modello 969-9447 per 220 Vac...
  • Page 6 è collegata al operativi. sistema o non è chiusa con la flangia di chiusura. 5. Display alfanumerico a cristalli liquidi: matrice di punti, 2 linee x 16 caratteri. Pannello frontale del Controller 969-9447 e 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 7 10. Connettore per cavo di collegamento al flussimetro (flow meter). 11. Collegamento di terra. Pannello posteriore dei controller 969-9447 e 969-9547 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di PROCEDURE DI USO riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere un controller...
  • Page 8 Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del FLOW METER ALARM valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.

  • Page 9: Gebrauchsanleitung

    Personal, nicht autorisierten (nicht kondensierend) Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Die Controller der Serie VOR DER INSTALLATION Turbo-V 1000 ICE sind mikroprozessor-gesteuerte Controller wird einer speziellen Frequenzwandler. Sie sind mit Festkörperbauteilen Schutzverpackung geliefert.
  • Page 10 Stand geachtet werden, da sonst die Gefahr von 5. Alphanumerisches Flüssigkristall-Display: Punktmatrix, Personen- und Geräteschäden besteht. Die Pumpe nie 2 Zeilen mit 16 Stellen. einschalten, wenn der Eingangsflansch nicht am System angeschlossen bzw. nicht mit dem Schließflansch abgedeckt ist. Fronttafel der Controller 969-9447 und 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 11 Sicherung an Versorgungskabel “heater jacket. Steckverbinder für Anschlußkabel zum Durchfluß- messer (flow meter). Erdungsanschluß. Rückseitige Tafel der Controller 969-9447 und 969-9547 Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst bzw. BEDIENUNG der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter Einschalten des Controllers Controller sorgt.
  • Page 12 Die Taste START zweimal drücken, um die OVERVOLTAGE eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Einwandfreien Betrieb des FLOW METER ALARM Flußwert befindet sich für die Dauer von...

  • Page 13: Mode D'emploi

    Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Emballage des contrôleurs Information". Cette notice utilise les signes conventionnels Chaque contrôleur est fourni par Varian pré-équipé pour suivants: une certaine tension d'alimentation: • le modèle 969-9447 pour 220 Vca •...
  • Page 14 à l'aide de la opérationnels. bride de serrage. 5. Ecran alphanumérique à cristaux liquides: matrice de points, 2 lignes x 16 caractères. Tableau frontal des Contrôleurs 969-9447 et 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 15 Tableau arrière des Contrôleurs 969-9447 et 969-9547 En cas de panne, il est possible de s'adresser au Servi- PROCEDURES D'UTILISATION ce de réparation Varian ou bien au "Varian advance exchange service" qui permet d'obtenir un contrôleur Allumage du Contrôleur régénéré à la place du contrôleur détraqué.
  • Page 16 Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du...

  • Page 17: Istrucciones De Uso

    El usuario deberá leer atentamente el presente manual controlers se deberá cumplir con las condiciones instrucciones cualquier otra información ambientales siguientes: • suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el temperatura: de -20 °C a +70 °C • equipo. Varian considera libre cualquier...
  • Page 18 5. Display alfanumérico de cristales líquidos: matriz de puntos, 2 líneas x 16 caracteres. cerrada con la brida de cierre. Panel frontal del controler 969-9447 y 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 19 Conector para cable de conexión al indicador del flujo (flow meter). Conexión de tierra. Panel trasero del controler 969-9447 y 969-9547 En caso de avería es posible utilizar el servicio de PROCEDIMIENTOS DE USO reparación Varian o del “Varian advance exchange service”, que permite obtener un controler regenerado...
  • Page 20 En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del FLOW METER ALARM limpieza (purge).

  • Page 21: Istruções Para O Uso

    • pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian temperatura: de -20 ºC a + 70 ºC • não se responsabiliza pela inobservância total ou humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de...
  • Page 22 4 por, no mínimo, 2 segundos, é activado um fechado com o flange de fecho. programa com o qual é possível programar alguns parâmetros operativos. 5. Mostrador alfanumérico a cristais líquidos: matriz por pontos, 2 linhas x 16 caracteres Painel frontal do Controller 969-9447 e 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 23 10. Conector para cabo de ligação ao fluxímetro (flow meter). 11. Ligação à terra. Painel posterior dos Controllers 969-9447 e 969-9547 Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de PROCEDIMENTOS DE USO reparação Varian ou o "Varian advanced exchange service", que permite obter um controller regenerado...
  • Page 24 Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.

  • Page 25: Gebruiksaanwijzingen

    • informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van VOORBEREIDING VOOR INSTALLATIE de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet...
  • Page 26 5. Alfanumeriek display met vloeibare kristallen (LCD): gekoppeld of de afsluitflens is gesloten. puntjespatroon, 2 lijnen x 16 karakters. Frontpaneel van de controllers 969-9447 en 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 27 (geleverd als optie). Hoofdschakelaar. Zekering op stroomvoorziening van heater jacket. Connector voor verbindingskabel naar stromingsmeter (flow meter). Aardaansluiting. Achterpaneel van de controllers 969-9447 en 969-9547 geval storing mogelijk GEBRUIKSPROCEDURES reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een Inschakelen van de controller ruilcontroller ter vervanging van de defecte controller.
  • Page 28 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit FLOW METER ALARM De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.

  • Page 29: Brugsanvisning

    • yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. temperatur: fra -20 °C til +70 °C • Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt...
  • Page 30 Dette er for at forebygge skader på apparatet driftparametre. og personer. Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet 5. LCD-display med tal og bogstaver: punktmatrice, 2 ikke er tilsluttet systemet eller er blokeret. rader med 16 tegn. Frontpanelet på Styreenheden 969-9447 og 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 31 RS-485 (leveres som tilbehør). Linieafbryder. Sikring på forsyningsenhed til heater jacket. 10. Kontakt på kabel til tislutning af gennemstrømningsmåler (flow meter). Jordforbindelse. Bageste panel på styreenheden 969-9447 og 969-9547 Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af INSTRUKTION Varians reparations-service eller Varian udvekslingsservice, hvor man kan få...
  • Page 32 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. FLOW METER ALARM Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning gennemstrømningen under fungerer korrekt.

  • Page 33: Bruksanvisning

    Varian före användning temperatur: från -20 °C till +70 °C • utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION...
  • Page 34 5. LCD-display med siffror och bokstäver: punktmatris, 2 apparaten och personer. Sätt aldrig igång pumpen, om rader med 16 tecken. intagsflänsen varken är kopplad till systemet eller är blockerad på plats med låsflänsen. Frontpanelen på Styrenheten 969-9447 och 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 35 Tillgängligt utrymme för kontakt till seriell port RS-232 - RS-422 - RS-485 (levereras som tillbehör). Nätbrytare. Säkring på spänningsmatning till heater jacket. 10. Kontakt för anslutningskabel till flödesmätare (flow meter). Jordanslutning. Bakre panel på Styrenheten 969-9447 och 969-9547 styrenheten havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som INSTRUKTIONER FÖR BRUK...
  • Page 36 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...

  • Page 37: Brukerveiledning

    Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: • og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i temperatur: fra 20 °C til +70 °C • bruk. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
  • Page 38 5. LCD-display med siffer og bokstaver: punktmatrise, 2 startes opp. rader med 16 tegn. Frontpanelet på styreenheten 969-9447 og 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 39 Sikring på forsyningen til heater jacket. 10. Koplingsstykket til strømningsmålerens koplingskabel (flow meter). 11. Jordkopling. Bakpanelet på styreenheten 969-9447 og 969-9547 Dersom styreenheten stanser, må du ta kontakt med INSTRUKSJONER FOR BRUK Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice, som kan tilby overhalte styreenheter til Starte styreenheten erstatning for den ødelagte styreenheten.
  • Page 40 Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder...

  • Page 41: Käyttöohjeet

    • huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki lämpötila: -20 °C ja +70 °C asteen välillä • muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ilman lauhdetta) seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyömisestä,...
  • Page 42 Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä itse joitakin toimintaparametrejä. koneelle. Älkää myöskään käyttäkö pumppua, mikäli Aakkosnumeerinen nestekidenäyttö : pistematriisi, 2 sisääntulon laippaa ei ole kytketty järjestelmään tai riviä x 16 merkkiä. mikäli sitä ei ole suljettu laippasulkijalla. Valvojien 969-9447 ja 969-9547 etupaneelit 87-900-905-01 (I)
  • Page 43 Kuumennusvaipan sähkökaapelin liitin. Tila, joka on tarkoitettu viestintäportin sarjakytkennälle RS-232 - RS-422 - RS-485 (toimitetaan lisävarusteena). Virtakatkaisin. Kuumennusvaipan sähkösulake. 10. Kytkentäkaapelin ja virtausmittarin välinen liitin. Maadoitusliitäntä. Valvojien 969-9447 ja 969-9547 takapaneeli Toimintahäiriön sattuessa mahdollista käyttää KÄYTTÖTOIMENPITEET Varianin korjauspalvelua tai "Varian advance exchange service"...
  • Page 44 KÄYTTÖOHJEET VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET CHECK CONNECTION TO Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa START- painonappia, jolloin pumppu käynnistyy. Lukitussignaali (interlock) liittimessä P1 Palauttakaa liittimen J1 neulojen 3 ja 8 PUMP WAITlNG INTERLOCK aktiivinen...

  • Page 45: Odhgies Crhsews

    SDUHY F HWDL DSRY WK  SULQ DSRY WK FUKVLPRSRLY K VK VFHWLNKY XJUDVLY D  DVXPSXY N QZWK • Varian 0 - 95% WKd VXVNHXKY d  + GHQ IHY U HL NDPLY D HXTXY Q K RY V RQ Varian DIRUDY WKQ ROLNKY KY PHULNKY DTHY W KVK WZQ RGKJLZY Q  WKQ 352(72,0$6,$ *,$ 7+1 (*.$7$67$6+...
  • Page 46 2'+*,(6 &5+6(:6 2'+*,(6 &5+6(:6 (*.$7$67$6+ (*.$7$67$6+ 6+0(,:6+ .,1'8126 .,1'8126 2 VXQGHWKY U Dd TD SUHY S HL QD DIHTHLY VXQGHGHPHY Q Rd 2 UXTPLVWKY d HLY Q DL HIRGLDVPHY Q Rd PH WULSROLNRY NDOZY G LR PH WK JHY I XUD DQ GHQ JLY Q HWDL NDPPLY D H[ZWHULNKY WURIRGRY W KVKd PH PLY D SULY ] D SRX HY F HL HJNULTHLY VXY Q GHVK + DQWOLY D SUR  NHQRXY NDL K DQWOLY D Turbo-V...
  • Page 47 ',$',.$6,(6 6&(7,.$ 0( 7+ &5+6+ 6H SHULY S WZVK EODY E Kd PSRUHLY W H QD FUKVLPRSRLKY V HWH WKQ XSKUHVLY D HSLVNHXZY Q WKd KY WR $QDPPD WRX 5XTPLVWKY $QDPPD WRX 5XTPLVWKY Varian "Varian GLY Q HL advance exchange service"...
  • Page 48 HY Q D controller PKY Q XPD DSRWDQTHLY W H VWK JLD WK DQDJQZULY V LPR VKY P D Varian VXQWKY U KVK (OHY J FHWH WK VZVWKY OHLWRXUJLY D WRX 6XQDJHUPRY d VFHWLNRY d PH WK URKY )/2: 0(7(5 $/$50...

  • Page 49: Használati Utasítás

    Varian által • relatív nedvességtartalom: 0 - 95% (nem szolgáltatott információt. A Varian elhárít magától lecsapódó). minden esetleges felelősséget, mely a felhasználói utasítások teljes vagy részleges figyelmen kívül hagyásához, a nem kiképzett személyzet által történő A TELEPÍTÉSRE VALÓ ELŐKÉSZÍTÉS nem megfelelő...
  • Page 50 és a berendezésben való károk elkerülése érdekében, biztosítani kell az asztal stabilitását. Soha nem szabad a szivattyút a A 969-9447-es és a 969-9547-as vezérl ő el ő lapja bementi peremnek a rendszerhez való csatlakoztatása, vagy a záró peremmel való lezárása nélkül üzemeltetni.
  • Page 51 9. Biztosíték a fűtő köpeny (heater jacket) táplálásához. 10. Csatlakozó az áramlásmérő (flow meter) összekötő kábeléhez. 11. Földösszeköttetés. A 969-9447-es és a 969-9547-as vezérl ő k hátlapja Meghibásodás esetén igénybe vehető a Varian javítási HASZNÁLATI ELJÁRÁSOK szolgáltatása, vagy a "Varian advanced exchange service", mely a meghibásodott helyett, egy javított...
  • Page 52 újraindításához kétszer OVERVOLTAGE tápellátási részegységében, vagy a megnyomni a START nyomógombot. vezérlő egy hamis jelet kapott. Ha az üzenet ismétlődik, a Varian-tól karbantartási beavatkozást kérni. FLOW METER ALARM tisztítóáramhoz kapcsolódó Ellenőrizni a gáz tápláló körének helyes vészjelzés. Az átáramló mennyiség, 10 működését.

  • Page 53: Instrukcja Uzytkowania

    Opakowanie kontrolerow dodatku do “Technical Information”. Podrecznik opiera nastepujacych konwencjach: Kazdy kontroler dostarczony przez Varian posiada juz uregulowanie napiecie zasilania: • model 969-9447na 220 Vac ZAGROZENIE! • model 969-9547na 120 Vac Sygnaly ostrzegajace o zagrozeniu powinny zwrocic...
  • Page 54 5. Display alfanumeryczny cieklych krysztalach: stol jest odpowiednio stabilny.Pod zadnym pozorem nie matryca punktowana, 2 linie x 16 czcionek. uruchamiac pompy jezeli kolnierz wejsciowy nie jest polaczony z systemem jest zamknieta Pulpit frontany kontrolera kolnierzem zamykajacym. 969-9447 i 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 55 (dostarczany jako dodatkowy na zyczenie). Wylacznik linii. heater jacket. Bezpiecznik do zasilania heater jacket. 10. Lacznik dla kabla polaczeniowego z flusometrem (flow mete). 11. Uziemienie. Tylny pulpit kontrolerow 969-9447 i 969-9547 Jakakolwiek interwencja moze dokonywana PROCEDURE UZYTKOWANIA wylacznie przez osoby autoryzowane.W przypadku...
  • Page 56 Nacisnac dwa razy przycisk START dla OVERVOLTAGE zasilania kontrolera kontroler ponownego uruchomienia pompy. otrzymal sygnal nieprawidlowy. Jezeli sygnal sie powtorzy zwrocic sie do Varian o przeprowadzenie konserwacji. FLOW METER ALARM Sygnal alarmowy dotyczacy przeplywu Skontrolowac prawidlowe funkcjonowanie strumienia przeczyszczajacego. obwodu zasilania gazu. Wartosc...

  • Page 57: Příručka K Použití

    Information". Tato příručka používá následující označení: Obal kontrolér ů NEBEZPEČÍ! Každý kontrolér, dodaný podnikem Varian, je připraven Odkazy, které upozorňují na nebezpečí a donutí na jisté elektrické napětí: operátora, aby se řídil dle procedury nebo specifické praktiky, která nebude-li řádně vykonána, může ohrozit •...
  • Page 58 že čerpadlo je položené na stole. Jestliže vstupní Č elný panel “Kontroléru” příruba není napojená na systém nebo není uzavřená 969-9447 a 969-9547 se zavírající přírubou, čerpadlo se nesmí spustit do provozu. 87-900-905-01 (I)
  • Page 59 Síťový vypínač. Poistka na napájení heater jacket. 10. Konektor pro kabel na napojení průtokoměru (flow meter). Uzemnění. Zadní panel Kontroléru 969-9447 a 969-9547 V případě poruchy se může využít opravářského POUŽÍVANÉ PROCEDURY servisu Varian nebo "Varian advanced exchange service", kde poškozený kontrolér bude vyměněn za Zapalování...
  • Page 60 údržby je nutné se obrátit na Varian. FLOW METER ALARM Alarm vztahující se na tok purge. Zkontrolovat, zda plynový napájecí obvod Hodnota toku zůstala oproti hodnotě funguje správně. nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší...

  • Page 61: Návod K Použitiu

    ďalšie doplnky, dodané • teplota: od -20 °C do +70 °C podnikom Varian. Podnik Varian nepreberá na seba • relatívna vlhkosť: 0 - 95% (bez kondenzátu). žiadnu zodpovednosť za úplné, alebo čiastočné...
  • Page 62 Aby ste sa vyhli osobnému nebezpečiu a poškodeniu prístroja, skontrolujte, aby čerpadlo, umiestnené na Čerpadlo pracovnom stole bolo stabilné. nikdy nenaštartujte vtedy, keď vstupná príruba nie je Č elný panel “Controller” napojená na systém, alebo nie je zavretá s uzáverovou 969-9447 e 969-9547 prírubou. 87-900-905-01 (I)
  • Page 63 Poistka na napájanie heater jacket. 10. Spojka pre kábel na napojenie tokometru (flow meter). 11. Uzemnenie. Zadný panel “Controller” 969-9447 e 969-9547 V prípade vady je možné využiť opravnú službu Varian POSTUP PRI POUŽITÍ alebo "Varian advanced exchange service", ktorá vymení vadný “controller”.
  • Page 64 čerpadla. “controller”, alebo “controller” dostal falošný signál. Keď sa tento oznam objaví znovu, obráťte sa na firmu Varian pre údržbu. Skontrolujte, či obvod napájania plynu Alarm, vzťahujúci sa na tok purge. FLOW METER ALARM Hodnota toku zostala pod nastavenou funguje správne.

  • Page 65: Navodila Za Uporabo

    Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem zagotoviti naslednje pogoje okolice: upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian. • temperatura: od -20 °C do +70 °C Varian ne odgovarja v slučaju celotnega ali delnega •...
  • Page 66 če ni operativnih programov. 5. Alfaštevilčni zaslon od tekočih kristalov: prebijalo zaprta s zapiralno prirobnico. bodov, 2 linije x 16 znakov. Prednja ploš č a Controllera 969-9447 e 969-9547 87-900-905-01 (I)
  • Page 67 Varovalka na napajanju heater jacket. 10. Konektor za priključni kabel tokomera (flow meter). Ozemljitev. Ozadnja ploš č a controllerjev 969-9447 e 969-9547 V slučaju okvare obrnite se servisu Varian ali "Varian POSTOPKI UPORABE advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller.
  • Page 68 Dvakrat pritisnite tipko START za ponoven OVERVOLTAGE zagon črpalke. Če se to obvestilo spet controllera, controller dobil nepristen znak. pojavi, obrnite se Varian za pravilno vzdrževanje. FLOW METER ALARM Alarm glede toka purge. Vrednost toka Preverite, da napajalno vezje plina dobro manjša nastavljenega deluje.

  • Page 69: Instructions For Use

    • model 969-9447 is factory set for 220 Vac operation • model 969-9547 is factory set for 120 Vac operation...
  • Page 70 Never operate the Turbo-V pump if the pump some operation parameters. inlet is not connected to the system or blanked off. 5. LCD back-lighted alphanumeric display: dot matrix 2 lines x 16 characters. Controller 969-9447, 969-9547 front panel 87-900-905-01 (I)
  • Page 71 Power switch. Heater jacket power supply fuse. 10. Flow meter connection cable socket. 11. Ground connection. Controller 969-9447 and 969-9547 rear panel When a fault has occurred it is possible to use the USE PROCEDURE Varian repair service. Replacement controllers are...
  • Page 72 If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas value remained at less than the set supply circuit.

  • Page 73: Technical Information

    The controller is available in two versions: supply converts the single phase (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium • Model 969-9447 (220 Vac, 50-60 Hz) frequency output which is required to power the Turbo-V pump. •...

  • Page 74: Controller Specifications

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 to 60 Hz Power 1400 VA maximum Output for pump: Voltage 54 Vac nominal Frequency 633 Hz Power 450 W maximum water cooling 450 W air cooling 300 W Operating temperature 0 °C to +40 °C...

  • Page 75: Controller Outline

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 1000 ICE controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9447 and 969-9547 outline 87-900-905-01 (I)

  • Page 76: Fuse Holder And Voltage Changer Assembly

    INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. Controller models 969-9447 Rear panel and 969-9547 interconnection Proceed as follows to replace one or both fuses: Connection P1 • Remove the assembly by levering in position A with Logic Input Interconnections a small screwdriver.

  • Page 77: Connection J2 - Logic Output Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION Connection J2 Logic Output Interconnections DESCRIPTION Remote START/STOP S1 optically isolated from the internal circuit, requires a permanently closed contact (relay contact. transistor, etc.). When the contact closes the turbopump starts at high speed and when the contact opens, the turbopump is stopped.

  • Page 78: Connection J7 - Accessories And Options Interconnections

    ∗ Open collector type contacts Connection J7 Accessories and Options Interconnections Controller-to-pump connector (applicable to model 969-9447 and 969-9547) J7 connectors CAUTION! The output voltage of the connector J7 is 120 Vac and the maximum current is 1A. Do not connect this plug to a device with a leakage current greater than 1.75 mA.

  • Page 79: Connection J11 - Purge Flow Meter Connector

    A (3x6), which is not provided. • Insert the flat cable through the rear panel and plug Use this connector (J11) only with the Varian solid it into the socket P1 located on the Interface board. state flowmeter model 969-9114 or 969-9115. Any •...

  • Page 80: Serial Communication Port J13 And J14

    80 hex (for RS 232 and 422 only). Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port RS 485 Communication Description connections. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector.
  • Page 81 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX> = 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
  • Page 82 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 33 38 03 38 39 ADDR STX ADD WINDOW RD 000038...

  • Page 83: Window-Based Protocol

    TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L WATER COOLING [0=NO / 1=YES] X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]...

  • Page 84: Use

    TECHNICAL INFORMATION The controller with the Soft Start mode allows the pump to ramp-up to Normal Speed slowly with a minimum ramp-up time of 30 minutes and a maximum of about 55 minutes. General The Soft Start mode is always operative as default mode. If Make all vacuum manifold and electrical connections and it is necessary to deselect this mode refer to the following refer to Turbo-V ICE pump instruction manual before to...

  • Page 85: Front/Remote/Serial Selection

    TECHNICAL INFORMATION • Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): L A S T A L A R M : X X X X X When there is only one temperature sensor T = X X X X X h C = X X X X X K R P M P = X X X W...
  • Page 86 TECHNICAL INFORMATION • The display shows: Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows C O N F I G U R A T I P U R G E F L O W S E T : X X X S C C M S O F T W A R E V E R S I Q E X X X X X X X X X...
  • Page 87 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press PUMP CURRENT push-button and the display display shows shows: L O W E R B E A R I W A T E R C O O L I S E N S O R : O F F Detection of the pump’s lower bearing temperature.
  • Page 88 TECHNICAL INFORMATION • • Choose the desired selection by pressing the CYCLE Press the PUMP CURRENT push-button to enter the push-button. value and ,if the serial option is installed, the display shows: F R O N T R E M O T E S E R R S X X X S E L E C T...
  • Page 89 TECHNICAL INFORMATION • With the RS 232/422/485 connected, a bi-directional Press PUMP CURRENT to confirm. and the display communication is established by selecting HOST. Data are shows: sent to an external computer every time the external computer asks for the values. P U M P X X X X X h The available data are listed in the read mode in the serial...

  • Page 90: Starting The Pump

    TECHNICAL INFORMATION • Starting the Pump If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: If the forepump and vent device are not operated by the controller, close the vent valve and switch on the P U M P S T A R T forepump.

  • Page 91: Monitor Relay Programming

    TECHNICAL INFORMATION Monitor Relay Programming Pump Shutdown Press the front panel STOP push-button or remove the • remote signal; the power from the turbopump will be The display shows: removed and the pump will begin to slow down. T H R E S H O L D Power Failure S E T T N G ;...

  • Page 92: Rs 232/422/485 Control Mode Operation

    7(&+1,&$/ ,1)250$7,21 If the Soft Start has been deselected the display shows: P U M P R E A D Y U S E P U M P R E A D Y U S E R S 2 3 2 R E M O T E S T A R T If the Soft Start has been deselected the display shows:...

  • Page 93: Maintenance

    7(&+1,&$/ ,1)250$7,21 MAINTENANCE 87-900-905-01 (I)

This manual is also suitable for:

Turbo-v 1000 ice969-9547

Table of Contents