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Summary of Contents for SUSS MJB4
- Page 1 SAFETY AND INSTALLATION Mask Aligners MJB4 Laboratory Mask Aligner Rev09/17-03 www.suss.com...
- Page 3 All warranty stipulations and obligation by SUSS are contained in the sales contract. Con- tractual stipulations are neither extended nor limited by this product documentation. The information included in this manual is SUSS MicroTec Proprietary Information. It is provided for the use by SUSS MicroTec’s customers only and shall not be altered.
- Page 4 PREFACE AND PUBLISHING DETAILS PUBLISHING DETAILS...
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Page 5: Table Of Contents
1.5.2. Thermal Dangers ...................2 1.5.3. Electrical Dangers ..................2 1.5.4. Radiation Danger ...................3 1.5.5. Danger of Poisoning................3 1.6. Working with the MJB4 Mask Aligner ..............4 1.6.1. Fitting, Changing and Cooling the Exposure Lamp........4 1.6.2. Preparing the Machine for Working............5 1.6.3. Safety Checks ..................6 2. - Page 6 CONTENTS - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 CONTENTS...
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Page 7: Warnings And Safety Precautions
Any other form of use must be agreed on with SUSS MicroTec Lithography's Engineering Product Sup- port department. In the event of contravention, SUSS MicroTec accepts no liability either for mal- function or for personal injury. -
Page 8: Main Switch With Emergency Off Function
The lamp starting voltage can be up to 30 kV. supply. Never place the hands between the base plate and the vibration-damped table of the machine! - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 WARNINGS and SAFETY PRECAUTIONS... -
Page 9: Radiation Danger
The biggest danger following a lamp explosion or lamp breakage lies in the inhalation of the toxic mer- cury fumes. Mercury can cause acute and chronic poisoning. SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 WARNINGS and SAFETY PRECAUTIONS - Original Documentation -... -
Page 10: Working With The Mjb4 Mask Aligner
1.6.1.2. Changing the Lamp correct power setting, soiling of the lamp tube or similar. Only use lamps of a type approved for use by SUSS Exposure lamps should only be handled with gloves. MicroTec Lithography! Clean any grease marks with alcohol! Caution! 1.6.1.1. -
Page 11: Preparing The Machine For Working
If you are not sure, call in SUSS work by switching on the main power switch. MicroTec's service to carry out a check! -
Page 12: Safety Checks
Emergency Off switch is operated, • acoustic warning signal by the power supply unit in the event of a failure in the nitrogen supply - only very brief for test purposes! - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 WARNINGS and SAFETY PRECAUTIONS... -
Page 13: Installation And Transport
Users who open containers with system compo- nents or install or transport the machine without a SUSS MicroTec technician or a person authorized by SUSS MicroTec do so at their own risk. Power connections and supply connections (com- pressed air, nitrogen, etc.) at the installation site must be completely installed by the customer before installation so the machine can be connected. - Page 14 INSTALLATION AND TRANSPORT Dimensions of the MJB4 Mask Aligner FRONT VIEW - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT...
- Page 15 50/60 Hz 1000 VA ; 230 V AC ±10% ; Standard with CPC350: 50/60 Hz 1300 VA ; 230 V AC ±10% ; Standard with CIC1200: 50/60 Hz SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT - Original Documentation -...
- Page 16 Serial Number 179 (not to be confused with the MJB4 equipment serial number). To find out to which group your MJB4 belongs take a look at the name plate located on the inside of the rear panel of the machine (see below)
- Page 17 HBO 350 W-S - PN: G146 049 • USH 350 DS - PN: G182 538 UXM 501 MD - PN: G148 979 (additional lamp adapter required, item no.: G202485) SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT - Original Documentation -...
- Page 18 22 mW/cm² at 365 nm, Uniformity ± 2.5% MO-UV300, 100 mm round: 30 mW/cm² at 320 nm, Uniformity ± 2.5% MO-UV250, 100 mm round: 7 mW/cm² at 240 nm, Uniformity ± 2.5% - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT...
- Page 19 INSTALLATION AND TRANSPORT MJB4 Connections at the Rear Side for Machines with Serial Numbers < 179 1 Nitrogen 6 F3 - External power 2 CDA 7 F4 -Electronics 3 Outgoing air 8 Lamp power supply AC 200-240 V/6 A 4 Vacuum...
- Page 20 INSTALLATION AND TRANSPORT MJB4 Connections at the Rear Side for Machines with Serial Numbers > 179 1 CDA 2 OFF Air 3 Vacuum 4 Nitrogen 5 Monitor Power Supply, AC 200-240 V/ 6 A 6 External, AC200-240 V/ 6 A...
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Page 21: Transporting The Mask Aligner
Users who transport the machine without a SUSS tainers MicroTec service technician or a person authorized by SUSS MicroTec do so at their own risk. • If shipping damage is suspected, do not open containers until a SUSS MicroTec service 2.2.1. - Page 22 INSTALLATION AND TRANSPORT Warning! “Transporting the MJB4 using a cross beam”). The center of gravity is behind the mid- The cross beam ensures that the transport straps dle of the machine (lamp housing). do not lie against the machine and therefore...
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Page 23: Transportation Locks
TSA Microscope Manipulator 1 Screw 1 (2x) 1 Screw 1 2 Screw 2 (3x) 2 Screw 2 3 Screw 3 (2x) 4 Plastic plate 5 Transport lock (marked red) SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT - Original Documentation -... -
Page 24: Taking The Machine Out Of Service
INSTALLATION AND TRANSPORT 2.2.6. Taking the Machine out of Service Before shutting down the machine for a longer period of time, you must be advised by a SUSS MicroTec service technician. We strongly recommend the following before long- term decommissioning: •... - Page 27 SICHERHEIT UND INSTALLATION Mask Aligner MJB4 Labor Mask Aligner Rev09/ 17-03 www.suss.com...
- Page 29 SUSS MicroTec ist um Aktualität bemüht, kann jedoch für die Richtigkeit, Vollständigkeit und Aktualität der Inhalte keine Gewähr übernehmen SUSS MicroTec behält sich das Recht vor, das Produkt zu ändern, Bauteile durch ähnliche oder gleichwer- tige Komponenten zu ersetzen oder Funktionen und Regelungen zu ändern, ohne dies in der Bedienungs- anleitung oder anderswo ausdrücklich zu erwähnen.
- Page 30 HAFTUNGSAUSSCHLUSS UND VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE...
- Page 31 1.5.2. Thermische Gefahren ................2 1.5.3. Elektrische Gefahren................3 1.5.4. Gefahr durch Strahlung................3 1.5.5. Gefahr der Vergiftung................3 1.6. Arbeiten mit dem Mask Aligner MJB4 4 1.6.1. Belichtungslampe einsetzen, wechseln und kühlen.......4 1.6.2. Arbeitsvorbereitung der Maschine ............5 1.6.3. Sicherheits-Überprüfungen ..............6 2. INSTALLATION und TRANSPORT ..............7 2.1.
- Page 32 INHALT ÜBERSETZUNG DER ORIGINAL DOKUMENTATION SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INHALT...
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Page 33: Warn- Und Sicherheitshinweise
Support Engineering der SUSS MicroTec Lithogra- richtet die Aufmerksamkeit auf spezielle technische phy abzustimmen. Bei Zuwiderhandlung übernimmt Produktinformationen, die selbst für Fachpersonal SUSS MicroTec weder für Fehlfunktionen noch für nicht unmittelbar offensichtlich sind. Personenschäden eine Haftung. OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Page 34: Hauptschalter Mit Not-Aus Funktion
Im Falle eines Druckabfalls der Druck- luftversorgung kann bei einer mit ei- nem schwingungsdämpfenden Untergestell ausgestatteten Maschine die Grundplatte unerwartet absinken. Greifen Sie nie zwischen Grundplatte und schwingungsisolierendes Unter- gestell der Maschine! OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Page 35: Elektrische Gefahren
Schutzklasse aufweisen. Die Farbe der Gläser Bei starken Lampen sowie bei Spezial- bietet keinen Hinweis auf ihre Schutzwirkung! lampen für Deep-UV ist für zusätzliche Absaugung sowie für gezielte Kühlung mittels Stickstoff-Spülung zu sorgen (siehe Einstelltabellen)! OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Page 36: Arbeiten Mit Dem Mask Aligner Mjb4
Beachten Sie immer die Vorschriften des jeweiligen Stoß zu schützen. Die Lampen sind grundsätzlich in Lampenherstellers! ihrer Originalverpackung zu lagern und zu transpor- Vermeiden Sie bei Einsetzen bzw. Entnahme der tieren! Lampe jede mechanische Belastung, die auf den OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Page 37: Arbeitsvorbereitung Der Maschine
Die folgenden Ausführungen setzen voraus, dass der Anschlüsse. Beauftragen Sie bei Unsicherheit die Installation des Mask Aligners ordnungsgemäß den Service der SUSS MicroTec mit der Überprü- durchgeführt wurde und das Gerät durch Einschal- fung! ten des Hauptschalters mit dem Stromversorgungs- Hinweis! netz verbunden wurde. -
Page 38: Sicherheits-Überprüfungen
Zu testen sind demgemäß: • Stillstand der Maschine und Hochfahren des Mi- kroskops unmittelbar bei Ausschalten des Haupt- schalters und • Akustisches Warnsignal des Stromversorgungs- geräts bei Stickstoff-Ausfall - für Testzwecke nur sehr kurzzeitig! OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Page 39: Installation Und Transport
Beim Öffnen der Container mit den Systemteilen, die Installation oder der Transport der Maschine ohne Anwesenheit eines Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autorisierten Person geschieht auf eigenes Risiko des Anwenders. Die Anschlüsse für Energie und Versorgungsmedi- en (Druckluft, Nitrogen, etc.) müssen bei Installati-... - Page 40 INSTALLATION TRANSPORT Abmessungen des Mask Aligners MJB4 FRONT ANSICHT OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Page 41 800 VA ; 230 V AC ±10% ; 200 kg Untergestell CPC200: 50/60 Hz Standard mit 1000 VA ; 230 V AC ±10% ; CPC350: 50/60 Hz Standard mit 1300 VA ; 230 V AC ±10% ; CIC1200: 50/60 Hz OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Page 42 2. Die neuen Werte (fett gedruckt) gelten ab ren nicht zum Lieferanteil. Herstellernummer 179 (nicht zu verwechseln mit der MJB4 Anlagen-Seriennummer). Die Herstellernummer ist dem Typenschild auf der Innseite der Anlagenrückwand zu entnehmen (siehe unten). Positionierung der Herstellernummer OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Page 43 (zusätzlicher Lampenadapter erforderlich, Arti- kel-Nr: G189336) • HBO 350 W-S - PN: G146 049 • USH 350 DS - PN: G182 538 • UXM 501 MD - PN: G148 979 (zusätzlicher Lampenadapter erforderlich, Arti- kel-Nr: G182721) OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Page 44 (12-Loch Blende) 22 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5% MO-UV300, 100 mm rund: 30 mW/cm² bei 320 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5% MO-UV250, 100 mm rund: 7 mW/cm² bei 240 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5% OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Page 45 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern <179 Anschlüsse Rückseite MJB4 mit Herstellernummer <179 1 Stickstoff 6 F3 Externer Anschluss 2 CDA 7 F4 -Elektronik 3 Rückluft 8 Lampenvorschaltgerät 4 Vakuum 9 Externer Anschluss 5 F2 Lampenvorschaltgerät...
- Page 46 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern > 179 1 CDA 2 Abluft 3 Vakuum 4 Nitrogen 5 Monitor-Anschluss, AC 200-240 V/ 6 A 6 Extern, AC200-240 V/ 6 A 7 Lampenvorschaltgerät, AC 200-240 V/ 10 A 8 Netzanschlüsse, AC 200-240 V...
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Page 47: Transport Der Maschine
Der Transport der Maschine und deren Installation hinweise beachten. müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- • Transportbehälter keinesfalls kippen oder sto- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- ßen. sierten Person vorgenommen werden. • Prüfen der Transportverpackungen auf Spuren Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- von Transportschäden. - Page 48 Hierfür empfehlen wir das Lampenhaus zu demontieren. ! Achtung! Ebenfalls ist auf das entsprechende Material der Transportbänder zu ach- ten, um Beschädigungen an der Ma- schine zu vermeiden. Transportöse OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
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Page 49: Transportsicherung
Schrauben 3 (2x) lösen und entfernen. • Maskenhalterklemmung öffnen und Transport- sicherung entfernen. Transport der MJB4-Maschine mittels Transporttraverse Justiertisch 1 Schraube 1 (2x) 2 Schraube 2 (3x) 3 Schraube 3 (2x) 4 Kunststoffplatte 5 Transportsicherung (rot markiert) OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT... -
Page 50: Außerbetriebsetzen
Mask Aligner vor Beschädigung zu schützen. Der Transport der Maschine und deren Installation müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- sierten Person vorgenommen werden. Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- nes Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw.
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