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Summary of Contents for Thyracont VSR53D
- Page 1 VSR53D, VSR53DL VSR54D, VSR54DL Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...
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Page 2: Table Of Contents
Lieferumfang ................4 Produktbeschreibung .............. 4 Installation .................. 5 Hinweise zur Installation ............5 Vakuumanschluss ..............5 Elektrischer Anschluss ............7 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte......7 3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung ......8 Betrieb ..................9 Allgemeines ................9 Kommunikation ..............10 4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSR ........10... -
Page 3: Hinweise Für Ihre Sicherheit
Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen ... -
Page 4: Vakuum Messumformer Vsr
2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSR dient zur Absolutdruck-Messung im Bereich 1200 - 1x10 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät angeschlos- sen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsver- sorgung betrieben werden. Das analoge Mess-Signal 1,5V - 8,58V ist dabei über den gesamten Messbe- reich logarithmisch vom Druck abhängig. -
Page 5: Installation
Bestimmungsgemäße Verwendung Das VSR dient ausschließlich der Absolutdruckmessung im Bereich 1200 - 1x10 mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen werden. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten abweichen, insbesondere: der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs- anleitung hierfür nicht vorgesehen sind der Anschluss an Geräte, die berührbare, Spannung führende Teile... - Page 6 - Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder benötigt!) - Vakuumanschluss über Kleinflansch DN16 ISO KF (VSR53) oder DN16CF- Flansch (VSR54) herstellen - Bei Verbindung über Kleinflansch Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.B. Spannband- Spannring), Dichtringe mit Zentrierring verwenden - Sicherstellen, dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist, beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer...
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Page 7: Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führen- dem Kabel herstellen! Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüber- liegenden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. -
Page 8: Kundeneigene Spannungsversorgung
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Typ SubD, 15polig, männlich Pin 1: Identifikation: 22 kΩ Pin 2: Signal Output 0-10 VDC Pin 3: AGND... -
Page 9: Betrieb
Betrieb Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Messumformer VSR besitzt eine interne Kombination aus einem piezoelektrischen Membransensor und einem Piranisensor, der die Wärmeleitfä- higkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Pie- zosensors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. Die dabei auftretende Verstimmung der Messbrücke ist ein Maß... -
Page 10: Kommunikation
Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen wieder einsetzen. Die Kommunikation erfolgt gemäß Thyracont Protokoll, ausführliche Detailinfor- mationen hierzu finden Sie in einer gesonderten Beschreibung. Der analoge Signalausgang 0-10V steht gleichzeitig zur RS485 zur Verfügung! -
Page 11: Kommunikationsprotokoll
4.2.2 Kommunikationsprotokoll Die Kommunikation erfolgt gemäß Thyracont-Protokoll. Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII-Code übertragen: Address Code Data Address: 3 Bytes, dezimal; Adressraum RS485: 001 – 999 Code: 1 Byte, Befehlsparameter, Großbuchstaben für Lesen, Kleinbuch- staben für Schreiben Data: Datenfeld, max. - Page 12 Befehlsübersicht: Befehlstyp Code Datentyp Funktion STRING lesen (VSR: VSR205) Messwert FLOAT lesen Schaltpunkt S, s FLOAT lesen S, schreiben s (VSR: SP1 und SP2) Gasart-Korrekturfaktor C, c UNSIGNED INT lesen C, schreiben c (VSR: C1 für Pirani) Modus W, w UNSIGNED INT lesen W, schreiben w Wertangleichung...
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Page 13: Bedienung Des Vsr
Bedienung des VSR Das VSR besitzt eine Status-LED, die folgende Betriebszustände signalisiert: Normalbetrieb / Pirani (grün - Dauerleuchten) Normalbetrieb / Piezo (grün - langsames Blinken) Fehler ( rot - Dauerleuchten) Bereit zum Nachjustieren (orange - langsames Blinken) Initialisiere Nachjustieren (orange - schnelles Blinken) Die Modelle VSR53DL und VSR54DL verfügen zudem über eine gelb hinter- leuchtete LCD Anzeige. -
Page 14: Nachjustieren
Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus- tieren erforderlich machen. Nachjustieren am Gerät Für den Pirani-Sensor ist ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck digital über den Taster "ADJ"... - Page 15 Status LED grün Normalbetrieb / Piezo Status LED grün Normalbetrieb / Pirani Status LED schnell blinkend langsam blinkend Dauerleuchten Status LED orange Initialisiere Nachjustieren Status LED grün Status LED Normalbetrieb orange Justieren 10s grün Automatische Justierung von Status LED grün Nulldruck oder Atmosphärendruck Normalbetrieb...
- Page 16 Unlock Justierpunkt für "001j1l " "001j1l " Atmosphärendruck Justieren auf Atmosphärendruck "001j985022u " "001j985022u " Unlock Justierpunkt für "001j0k " "001j0k " Nulldruck Justieren auf Nulldruck "001j000000[ " "001j000000[ " Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. VSR-de-141106...
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Page 17: Gasart-Korrekturfaktoren
Telegramm an Antwort-Telegramm Messumformer vom Messumformer Gasart-Korrekturfaktor 1 lesen "001C1E " "001C000240z " c1=2.40 Unlock Gasart-Korrekturfaktor 1 "001c1e " "001c1e " Gasart-Korrekturfaktor 1 "001c000057` " "001c000057` " auf 0,57 setzen Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. VSR-de-141106... -
Page 18: Schaltpunkte
Messumformer Schaltpunkt 2 lesen "001S2V " "001S400016O " ( 4.0x10-4 mbar) Unlock Schaltpunkt 2 "001s2v " "001s2v " Schaltpunkt 2 auf "001s420017r " "001s420017r " 4.2x10-3 mbar setzen Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. VSR-de-141106... -
Page 19: Modus Wertangleichung
Beispiel für Adress-Schalterstellung "1": Aktion Telegramm an Antwort-Telegramm Messumformer vom Messumformer Modus Wertangleichung setzen "001w000001i " "001w000001i " auf Wertangleichung Modus Wertangleichung lesen "001Wh " "001W000001I " ( Wertangleichung) Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. VSR-de-141106... -
Page 20: Wartung Und Service
Wartung und Service Vorsicht bei kontaminierten Teilen! Es kann zu Gesundheitsschäden kommen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontami- nation. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen. Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. - Page 21 VSR-de-141106...
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Page 22: Technische Daten
Technische Daten VSR53 VSR54 Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani Messbereich 1200 - 1x10 mbar (900 - 1x10 Torr) Max. Überlast 4 bar abs. Genauigkeit 1200 - 10 mbar: ca. 0,3 % f.s. (v. Skalenendwert) 10 - 0,002 mbar: 10 % f.r. (v. Messwert) Materialien mit Edelstahl 1.4301, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, SiO Vakuumkontakt... - Page 23 Ausgangssignal 0 - 10 VDC, min. 10 kΩ Messbereich 1,5 - 8,58 VDC, logarithmisch Serielle Schnittstelle RS485: 9,6 … 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity Schaltausgänge 2x Relais, potentialfrei 50 VAC / 2 A bzw. 30 VDC / 2 A, max. 60 VA Elektrischer Anschluss Sub-D, 15-polig, männl., verschraubbar Vakuumanschluss...
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Page 24: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung VSR-de-141106... -
Page 25: Thyracont Vacuum Instruments Gmbh Max Emanuel Straße
Installation ................28 Notes for Installation ............. 28 Vacuum Connection .............. 28 Electrical Connection ............30 3.3.1 Operation With Thyracont Display Unit ......30 3.3.2 Operation With Other Supply And Evaluation Units ..31 Operation .................. 32 General ................. 32 Communication .............. -
Page 26: Safety Instructions
Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with ... -
Page 27: Vacuum Transducer Vsr
The VSR vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1200 - 1x10 mbar. The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment. The analog output signal 1.5V - 8.58V has a logarithmic dependence on pressure over the whole range. -
Page 28: Installation
Proper Use The VSR serves exclusively to provide absolute pressure measurements in the range 1200 - 1x10 mbar. It may only be connected to components specifically provided for such purpose. Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper, in particular: the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable, voltage carrying parts. - Page 29 - Remove the protective cover (is required again during maintenance work!) - Make vacuum connection via small flange DN16 ISO KF (VSR53) or conflat flange DN16CF (VSR54) - Use clamps, that can be opened and closed with appropriate tools only (e.g. strap retainer-tension-ring), use sealing rings with a centering ring - Make sure that the sensor flange is connected to ground, e.g.
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Page 30: Electrical Connection
Electrical Connection 3.3.1 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used (see accessories). Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit! Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw. -
Page 31: Operation With Other Supply And Evaluation Units
3.3.2 Operation With Other Supply And Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies. The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket Type SubD, 15pole, male... -
Page 32: Operation
Operation General Measurement Principle The VSR vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Piezo / Pirani. Under the influence of pressure the thin diaphragm of the piezo-resistive sensor is bent, on its back a resistor-bridge is applied. The bending forces the measurement-bridge to come out of tune, which is a measure for the applied pressure. -
Page 33: Communication
(1) and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool (2). Afterwards insert the rubber cap again. Communication is carried out according to the Thyracont protocol, detailed information hereto is provided in a separate description. -
Page 34: Communication Protocol
4.2.2 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol. The commands are sent as ASCII-code in the following command frame: Address Code Data Address: 3 Bytes, decimal; address space RS485: 001 – 999 Code: 1 Byte, command parameter, upper case character for read... - Page 35 Survey of Commands: Command Code Data Type Function Type STRING read (VSR: VSR205) Measurement Value FLOAT read Setpoint S, s FLOAT read S, write s (VSR: SP1 and SP2) Gas-Correction-Factor C, c UNSIGNED INT read C, write c (VSR: C1 for Pirani) Mode W, w UNSIGNED INT...
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Page 36: Operating The Vsr
Operating the VSR The VSR is equipped with a status LED which signalizes the following operation- al states: Normal Operation / Pirani (green LED continuously on) Normal Operation / Piezo (green LED flashing slowly) Error (red LED continuously on) Ready for Adjustment (orange LED flashing slowly) Initializing Adjustment (orange LED flashing quickly) In addition models VSR53DL and VSR54DL have an LCD with yellow backlight,... -
Page 37: Readjustment
Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position, flange to the bottom. Other orientation, operation under different climatic conditions, extreme temperature changes, ageing or contamination can result in the need for readjustment. Readjustment by pushbutton For the Pirani sensor readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the ADJ pushbutton of the VSR (see operating scheme below). - Page 38 Status LED green Normal Operation / Piezo Status LED green Normal Operation / Pirani Status LED flashing quickly flashing slowly continuously on Status LED orange Initializing Adjustment Status LED green Status LED Normal Operation orange Adjustment 10s orange Automatic Adjustment of Status LED green zero or atmosphere pressure Pirani...
- Page 39 " atmosphere pressure Adjustment on atmosphere "001j985022u " "001j985022u " Unlock adjustment point for "001j0k " "001j0k " zero pressure Adjustment on zero "001j000000[ " "001j000000[ " Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4.2. VSR-de-141106...
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Page 40: Gas-Correction-Factors
Read gas correction factor 1 "001C1E " "001C000240z " c2=2.40 Unlock gas correction factor 1 "001c1e " "001c1e " Set gas correction factor 1 "001c000057` " "001c000057` " to 0.57 Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4.2. VSR-de-141106... -
Page 41: Switchpoints
Read setpoint 2 "001S2V " "001S400016O " ( 4.0x10-4 mbar) Unlock setpoint 2 "001s2v " "001s2v " Set setpoint 2 to "001s420017r " "001s420017r " 4.2x10-3 mbar Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4.2. VSR-de-141106... -
Page 42: Mode Sensor Transition
Answer telegram transducer from transducer Set mode sensor transition "001w000001i " "001w000001i " to continuous transition Read mode sensor transition "001Wh " "001W000001I " ( transition) Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4.2. VSR-de-141106... -
Page 43: Maintenance And Service
Maintenance and Service Danger of possibly contaminated parts! Contaminated parts can cause personal injuries. Inform your- self regarding possible contamination before you start working. Be sure to follow the relevant instructions and take care of necessary protective measures. The unit requires no maintenance. External dirt and soiling can be removed by a damp cloth. - Page 44 VSR-de-141106...
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Page 45: Technical Data
Technical Data VSR53 VSR54 Measurement Principle Piezo-resistive 7 heat conduction Pirani / Measuring Range 1200 - 1x10 mbar (900 - 1x10 Torr) Max. Overload 4 bar abs. Accuracy 1200 - 10 mbar: ca. 0,3 % f.s. (f. scale end) 10 - 0.002 mbar: 10 % f.r. (f. reading) Materials with vacuum stainl. - Page 46 Output Signal 0 - 10 VDC, min. 10 kΩ measuring range 1.5 - 8.58 VDC, logarithmic Serial Interface RS485: 9.6 … 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity Switchpoints 2x relay, potential free 50 VAC / 2 A or 30 VDC / 2 A, max. 60 VA Electrical Connection Sub-D, 15-pole, male., lockable Vacuum Connection...
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Page 47: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity VSR-de-141106... - Page 48 VSR-de-141106...
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Questions and answers