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Summary of Contents for Thyracont VSM77D
- Page 1 VSM77D, VSM77DL VSM78D, VSM78DL VSM79D, VSM79DL Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...
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Page 3: Table Of Contents
Produktbeschreibung ..............6 Installation ..................7 Hinweise zur Installation ............7 Vakuumanschluss ..............7 Elektrischer Anschluss ............... 8 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte ......8 3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung ....... 9 Betrieb ................... 10 Allgemeines ................10 Bedienung des VSM ..............11 Nachjustieren ................ -
Page 4: Hinweise Für Ihre Sicherheit
Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSM unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin- gungen;... -
Page 5: Vakuum Transmitter Vsm
Vakuum Transmitter VSM 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D und VSM79DL. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören:... -
Page 6: 2.3 Produktbeschreibung
2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Transmitter VSM dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Medien im Bereich 1000 - 5x10 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden. Das analoge Mess-Signal 1,82V - 8,6V ist dabei über den gesamten Messbe- reich logarithmisch vom Druck abhängig. -
Page 7: Installation
Installation Hinweise zur Installation Starkes Magnetfeld! Das Gerät enthält starke Permanentmagnete. Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5°C ... +60°C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30°C, max. 50% bei 40°C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss... -
Page 8: 3.3 Elektrischer Anschluss
Prozessmedien führen. 3.3 Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem Kabel herstellen! Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüberlie- genden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. -
Page 9: Kundeneigene Spannungsversorgung
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Typ SubD, 15polig, männlich Pin 1: Identifikation: 33 kΩ Pin 2: Signal Output 0-10VDC Pin 3: AGND... -
Page 10: Betrieb
Betrieb Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Transmitter VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisensor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem Kaltkathoden-Ionisationssensor (invertiertes Magnetron). Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brückenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brückenspannung ist ein Maß... -
Page 11: Bedienung Des Vsm
Bedienung des VSM Das VSM besitzt eine Status-LED, die folgende Betriebszustände signalisiert: Normalbetrieb / Magnetron on (grün - Dauerleuchten) Normalbetrieb / Magnetron off (grün - langsames Blinken) Fehler ( rot - Dauerleuchten) Bereit zum Nachjustieren (orange - langsames Blinken) Initialisiere Nachjustieren (orange - schnelles Blinken) Die Schaltpunkt LEDs leuchten, sobald das zugehörige Relais angezogen ist. -
Page 12: Nachjustieren
Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus- tieren des Piranisensors erforderlich machen. Nachjustieren am Gerät Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den Taster "ADJ"... -
Page 13: Ausheizen
Status LED grün Normalbetrieb / Magnetron aus Status LED grün Normalbetrieb / Magnetron ein Status LED schnell blinkend langsam blinkend Dauerleuchten Status LED orange Initialisiere Nachjustieren Status LED grün Status LED Normalbetrieb orange Justieren 10s grün Automatische Justierung von Status LED grün Nulldruck oder Atmosphärendruck Normalbetrieb... -
Page 14: Kommunikation
Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen wieder einsetzen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Version V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung "Thyracont Communication Protocol". -
Page 15: Befehlsübersicht
Befehlsübersicht Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Display Unit Display Orientation Relay 1... -
Page 16: Geräte-Parameter Und Information
Geräte-Parameter und Information Type of Device TD: Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSM207 Product Name PN: Abfragen des Produktnamens, z.B. VSM77D Serial Number Device SD: Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head SH: Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device VD: Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware VF: Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts... -
Page 17: Messwertabfrage
Messwertabfrage Measurement Range MR: Abfragen des Messbereichs, z.B. beim VSM 1000 … 5x10 mbar Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes. Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes. Measurement Value M4: Abfragen des aktuell vom Kaltkathodensensor gemessenen Druckwertes. Nicht verfügbar bei ausgeschalteter Kaltkathode. -
Page 18: Schaltpunkte
Schaltpunkte Das VSM besitzt 2 unabhängige, potentialfreie Relais-Schalter. Diese sind als Umschalter gemäß der in Abschnitt 3.3.2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss-Stecker nach außen geführt. Relay R1, R2: Die Relais können unabhängig voneinander für verschiedene Schaltmodi konfiguriert werden, der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser Schaltmodi. - Page 19 Die Einstellung T[p1] = F[p2] ist nicht erlaubt! Ein zu kleiner Abstand der beiden Schaltdrücke kann zum Fla- ckern und zur Beschädigung des Relais führen! Einstellung E: Relais zieht an bei Gerätefehler. Einstellung !E: Relais fällt ab bei Gerätefehler. Einstellung U: Relais zieht an bei Messbereichsunterschreitung.
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Page 20: Nachjustieren
Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus- tieren des Piranisensors erforderlich machen. Adjust High AH Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Atmosphärendruck Adjust Low AL Nachjustieren des Pirani-Sensors bei Nulldruck. - Page 21 Kaltkathode ein- und ausschalten - Cathode Control (CC) Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der Geräteelektronik automatisch gesteuerte Ein- und Ausschalten des Kaltkatho- densensors zu unterdrücken. Hierzu ist es möglich, den Sensor mithilfe des Geräte-Parameters "Cathode Control" (CC) per Softwarebefehl über die RS485-Schnittstelle:zu deaktivieren: "0": "deaktiviert"...
- Page 22 Skalierung Analogausgang - Analog Output Characteristic (OC) Die Skalierung des analogen Signalausgangs lässt sich mithilfe dieses Parameters per Softwarebefehl den Erfordernissen der Anwendung anpassen. Beispielsweise kann die Ausgangscharakteristik so eingestellt werden, dass das Signal zu Geräten anderer Hersteller kompatibel ist. Eine denkbar einfache Anpassung der Kennlinie mit graphischer Unterstützung ist z.B.
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Page 23: Vacugraph Tm Software
VacuGraph Software Die Software VacuGraph wurde speziell für den Einsatz mit Thyracont Messgeräten entwickelt und ist für die Betriebssysteme Windows und Android erhältlich. Sie ermöglicht neben dem Plotten und Speichern von Messdaten auch das bequeme Konfigurieren aller Geräteparameter. Auch als Set SLZUB mit... -
Page 24: Wartung Und Service
(Druck < 5x10 mbar) "UR" via RS485 Mess-Signal <0,5V / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder "ERROR1" via RS485 defekt Sensor ersetzen Status LED dauerrot Access code "7" via RS485 Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSM-de-171005... - Page 25 VSM-de-171005...
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Page 26: Technische Daten
Technische Daten VSM77 ∅40 VSM78 ∅52 VSM79 ∅70 Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode (invertiertes Magnetron) gasartabhängig Messbereich 1000 - 5x10 mbar (750 - 5x10 Torr) Max. Überlast 10 bar abs. Genauigkeit 1000 - 10 mbar: ca. 30 % v. Messwert 10 - 2x10 mbar: 10 % v. - Page 27 Anodenspannung < 2,5 kV Reaktionszeit 50 ms (Einschalten Kaltkathode < 2s) Betriebstemperatur 5...60 Lagertemperatur -40...+65 Ausheiztemperatur max. 160 °C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschal- tet) Spannungsversorgung 20 - 30 VDC Leistungsaufnahme max. 3 W, zusätzlich 0,8 W für Relais und LCD Ausgangssignal 0 - 10 VDC, min.
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Page 28: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung VSM-de-171005... - Page 29 Installation ..................33 Notes for Installation ..............33 Vacuum Connection ..............33 Electrical Connection ............... 34 3.3.1 Operation With Thyracont Display Unit ......34 3.3.2 Operation With Other Supply And Evaluation Units ..35 Operation ..................36 General ..................36 Operating The VSM ..............
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Page 30: Safety Instructions
Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM. -
Page 31: Vacuum Transducer Vsm
Vacuum Transducer VSM For Orientation This operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSM77D, VSM77DL, VSM78D, VSM78DL, VSM79D and VSM79DL. The article number can be found on the product's type label. Technical modifications are reserved without prior notification. -
Page 32: Product Description
The VSM vacuum transducer is measuring total gas pressure in the range of 1000 - 5x10 mbar. The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment. The analog output signal 1.82V - 8.6V has a logarithmic dependence on pressure over the whole range. -
Page 33: Installation
Installation Notes for Installation Strong magnetic field! The gauge contains strong permanent magnets. Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed! Installation location: Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms: Temperature: +5°C ... +60°C Rel. -
Page 34: Electrical Connection
Electrical Connection 3.3.1 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used (see accessories). Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit! Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw. -
Page 35: Operation With Other Supply And Evaluation Units
3.3.2 Operation With Other Supply And Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies. The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket Type SubD, 15pole, male... -
Page 36: Operation
Operation General Measurement Principle The VSM vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani / Cold Cathode. The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum. A sensor filament in a Wheatstone circuit is heated to a constant temperature, so the bridge voltage is a measure for total gas pressure. -
Page 37: Operating The Vsm
Operating The VSM The VSM is equipped with a status LED which signalizes the following operational states: (green LED continuously on) Normal Operation / Magnetron on Normal Operation / Magnetron off (green LED flashing slowly) Error (red LED continuously on) Ready for Adjustment (orange LED flashing slowly) Initializing Adjustment (orange LED flashing quickly) -
Page 38: Readjustment
Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position, flange to the bottom. Other orientation, operation under different climatic conditions, extreme temperature changes, ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor. Readjustment by pushbutton Readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the ADJ pushbutton of the VSM (see operating scheme below). -
Page 39: Bake-Out
Status LED green Normal Operation / Magnetron off Status LED green Normal Operation / Magnetron on Status LED flashing quickly flashing slowly continuously on Status LED orange Initializing Adjustment Status LED green Status LED Normal Operation orange Adjustment 10s orange Automatic Adjustment of Status LED green... -
Page 40: Communication
(2). Afterwards insert the rubber cap again. Communication telegrams are transmitted as ASCII text according to the Thyracont protocol version V2. Detailed information is provided in the separate description "Thyracont Communication Protocol". Download link: www.thyracont-vacuum.com/download-center/... -
Page 41: Survey Of Commands
Survey Of Commands Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Display Unit Display Orientation Relay 1... -
Page 42: Device Parameters And Information
Device Parameters And Information Type of Device TD: Query of device type, e.g. VSM207 Product Name PN: Query of product name, e.g. VSM77D Serial Number Device SD: Query of device serial number Serial Number Head SH: Query of sensor head serial number... -
Page 43: Measurement Query
Measurement Query Measurement Range MR: Query measurement range of the gauge, e.g. 1000 … 5x10 mbar for VSM. Measurement Value MV: Query current pressure measurement. Measurement Value M1: Query current pressure measurement of the Pirani sensor. Measurement Value M4: Query current pressure measurement of the cold cathode sensor. Not available when cold cathode is switched off. -
Page 44: Switch-Points
Switch-Points The VSM is equipped with 2 independent potential-free relay switch-points. These are available as change-over contacts at the connector according to the pin assignment described in chapter 3.3.2. Relay R1, R2: The relays can be independently configured for various switching modes. The Parameter is used to query and set these switching modes. - Page 45 Setting T[p1] = F[p2] is forbidden! A gap between the thresholds being too small will result in flickering of the relay and can even cause damage to the relay! Setting E: Relay closes in case of a device error. Setting !E: Relay opens in case of a device error.
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Page 46: Readjustment
Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position, flange to the bottom. Other orientation, operation under different climatic conditions, extreme temperature changes, ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor. Adjust High AH Adjustment of the Pirani sensor at atmosphere pressure Adjust Low AL... -
Page 47: Cathode Control Cc
Cathode Control (CC) For certain vacuum processes it may be favoured to suppress the automatic start of the cold cathode sensor, which is usually controlled by the transducer electronics. Therefore it is possible to disable the cold cathode by software command "Cathode Control"... - Page 48 Output Scaling - Analog Output Characteristic (OC) The analog output characteristic of the VSM can be scaled according to application requirements by adjusting this parameter via software command. The voltage output curve can, for example, be made directly compatible with transducers of other brand labels.
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Page 49: Vacugraph Tm Software
VacuGraph Software VacuGraph software has been especially developed for use with Thyracont gauges and is available for Windows and Android operating systems. VacuGraph features plotting and saving of measurement data as well as a comfortable way of configuring all device parameters. -
Page 50: Maintenance And Service
"UR" via RS485 output signal < 0.5V / defective electronics or send unit for repair or "ERROR1" via RS485 sensor replace sensor Status LED continuously red Access code "7" via RS485 Error message / warning see separate documentation Thyracont Communication Protocol VSM-de-171005... - Page 51 VSM-de-171005...
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Page 52: Technical Data
Technical Data VSM77 ∅40 VSM78 ∅52 VSM79 ∅70 Measurement Principle Heat conduction Pirani / Cold Cathode (inverted magnetron) depending on gas type Measurement Range 1000 - 5x10 mbar (750 - 5x10 Torr) Max. Overload 10 bar abs. Accuracy 1000 - 10 mbar: approx. 30 % f. reading 10 - 2x10 mbar: 10 % f. - Page 53 Anode Voltage < 2.5 kV Reaction Time 50 ms (switch-on cold cathode < 2s) Operating Temperature 5...60°C Storage Temperature -40...+65 °C Bake Out temperature max. 160°C at the flange (voltage supply switched-off) Voltage Supply 20 - 30 VDC Power Consumption max.
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Page 54: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity VSM-de-171005... - Page 55 VSM-de-171005...
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Questions and answers