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Summary of Contents for Thyracont VSR53D
- Page 1 V a c u u m I n s t r u m e n t s VSR53D, VSR54D, VCR53D, VCR54D VSR53DL, VSR54DL, VCR53DL, VCR54DL Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...
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Page 3: Table Of Contents
3.3 Elektrischer Anschluss ......3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte ... . -
Page 4: Hinweise Für Ihre Sicherheit
1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSR/VCR unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbe- dingungen;... -
Page 5: Vakuum Transmitter Vsr/Vcr
2 Vakuum Transmitter VSR/VCR 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSR53D, VSR54D, VCR53D, VCR54D, VSR53DL, VSR54DL, VCR53DL, VCR54DL. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh- ne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören:... -
Page 6: Produktbeschreibung
- 1200 mbar. Der Transmittertyp VCR mit Pt/Rh Filament ist für den Einsatz in vielen Korrosivgas-Anwendungen geeignet und misst Abso- lutdruck im Bereich 5,0x10 - 1200 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzei- gegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden. -
Page 7: Installation
3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C ... +60 C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 C, max. 50% bei 40 C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-... -
Page 8: Elektrischer Anschluss
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien führen! 3.3 Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeigne- tes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem Ka- bel herstellen! Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern. -
Page 9: Kundeneigene Spannungsversorgung
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Span- nungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Sub-D, 15polig, männlich Pin1: Identifikation: 22 k Pin2: Signal Output 0-10 VDC Pin3: AGND Pin4:... -
Page 10: Betrieb
4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Vakuum Transmitter des Typs VSR und VCR besitzen eine interne Kombination aus einem piezoresistiven Membransensor und einem Piranisensor, der die Wär- meleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Unter Einwirkung des Druckes verformt sich die dünne Membran des Piezosen- sors, auf deren Rückseite eine Widerstands-Messbrücke aufgebracht ist. -
Page 11: Bedienung Des Vsr/Vcr
4.2 Bedienung des VSR/VCR Die Status-LED des VSR/VCR signalisiert folgende Betriebszustände: Die Schaltpunkt LEDs leuchten, sobald das zugehörige Relais angezogen ist. Die Modelle VSR53DL, VCR53DL, VSR54DL und VCR54DL verfügen über eine gelb hinterleuchtete LCD Anzeige. Diese zeigt den aktuell gemessenen Ist-Druck. Liegt ein Fehler im Betrieb des Transmitters vor, wird dies durch ein rot hinterleuch- tetes Display signalisiert. -
Page 12: Nachjustieren
Anzeigeeinheit und Display-Orientierung können per Softwarekommando geän- dert werden, siehe hierzu Abschnitt 5.5. 4.3 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie- ren erforderlich machen. - Page 13 Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh- len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten. Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster »Adj« entfernen (1), dann mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den Taster drücken (2), bis die Status-LED schnell orange zu blinken beginnt.
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Page 14: Ausheizen
Nachjustieren per Software-Kommando Siehe Abschnitt 5.7. 4.4 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSR/VCR ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 150 C keinesfalls überschreiten. Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen! VSR/VCR-RS485-200616... -
Page 15: Kommunikation
Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen wieder ein- setzen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi- on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«. -
Page 16: Parameterübersicht
5.2 Parameterübersicht Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 2 (Piezo) Display Unit Display Orientation Relay 1... -
Page 17: Geräte-Parameter Und Information
5.3 Geräte-Parameter und Information Type of Device (TD): Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSR205 Product Name (PN): Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer) Serial Number Device (SD): Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head (SH): Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device (VD): Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware (VF): Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts... -
Page 18: Messwertabfrage
5.4 Messwertabfrage Measurement Range (MR): Abfragen des Messbereichs Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M2: Abfragen des aktuell vom Piezosensor gemessenen Druckwertes 5.5 Displayfunktionen Display Unit (DU): Abfragen und Einstellen der für das LCD Display des Transmitters verwendeten Druckeinheit. -
Page 19: Schaltpunkte
5.6 Schaltpunkte Das VSR/VCR besitzt 2 unabhängige, potentialfreie Relais-Schalter. Diese sind als Umschalter gemäß der in 3.3.2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss- Stecker nach außen geführt. Relay R1, R2: Die Relais können unabhängig voneinander für verschiedene Schaltmodi konfigu- riert werden, der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser Schaltmodi. Einstellung T[p1] F[p2]: Hier werden zwei Druckwerte T[p1] (true) und F[p2] (false) übertragen. -
Page 20: Nachjustieren
Die Einstellung T[p1] = F[p2] ist nicht erlaubt! Ein zu kleiner Ab- stand der beiden Schaltdrücke kann zum Flackern und zur Beschä- digung des Relais führen! Einstellung E: Relais zieht an bei Gerätefehler. Einstellung !E: Relais fällt ab bei Gerätefehler. Einstellung U: Relais zieht an bei Messbereichsunterschreitung. -
Page 21: Sensor Parameter
Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen, empfeh- len wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten. 5.8 Sensor Parameter Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST) Im VSR/VCR erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Piezobereich. - Page 22 Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1) Das Mess-Signal des VSR/VCR ist im Bereich des Pirani-Sensors gasartabhän- gig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem ein entsprechen- der Korrekturfaktor gesetzt wird.
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Page 23: Vacugraph Software
5.9 VacuGraph Software Die Software VacuGraph wurde speziell für den Einsatz mit Thyracont Messgerä- ten entwickelt und läuft auf den Betriebssystemen Windows, Linux, MacOS und Android. Sie ermöglicht neben dem Plotten und Speichern von Messdaten auch das be- queme Konfigurieren aller Geräteparameter. -
Page 24: Wartung Und Service
1,0 V / »UR« via RS485 unterschritten Messgrenze) Mess-Signal < 0,5 V / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder »ERROR1« via RS485 / defekt Sensor ersetzen Status LED dauer-rot Access Code »7« via Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte RS485 Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSR/VCR-RS485-200616... - Page 25 VSR/VCR-RS485-200616...
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Page 26: Technische Daten
7 Technische Daten Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani (Pirani gasartabhängig) Messbereich VSR: 1200 - 1,0x10 mbar (900 - 1,0x10 Torr) VCR: 1200 - 5,0x10 mbar (900 - 5,0x10 Torr) Max. Überlast 4 bar abs. Genauigkeit VSR: 1200 ... 40 mbar: 0,3% v. Skalenendwert 40 ... - Page 27 Lagertemperatur -40 ... +65 C Ausheiztemperatur max. 150 C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschaltet) Spannungsversorgung 20 - 30 VDC Leistungsaufnahme max. 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für Relais und LCD Ausgangssignal 0 - 10 VDC, min. 10 k , Messbereich VSR: 1,5 - 8,58 VDC, logarithmisch Messbereich VCR: 2,2 - 8,58 VDC, logarithmisch...
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Page 28: Konformitätserklärung
8 Konformitätserklärung VSR/VCR-RS485-200616... - Page 29 3.3 Electrical Connection ......3.3.1 Operation with Thyracont Display Unit ... . .
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Page 30: Safety Instructions
1 Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSR/VCR;... -
Page 31: Vacuum Transducer Vsr/Vcr
2.1 For Orientation These operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSR53D, VSR54D, VCR53D, VCR54D, VSR53DL, VSR54DL, VCR53DL, VCR54DL. The article number can be found on the product’s type label. Technical modificati- ons are reserved without prior notification. -
Page 32: Product Description
5.0x10 - 1200 mbar. The transdu- cer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment. The analog output signal 1.5 V - 8.58 V of VSR and 2.2 V - 8.58 V of VCR has a logarithmic dependence on pressure over the whole range. -
Page 33: Installation
3 Installation 3.1 Notes for Installation Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed! Installation location: Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms: Temperature: +5 C ... +60 C Rel. humidity: max. 80% up to 30 C, max. 50% at 40 C, non-condensing Ambient pressure: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vacuum Connection Dirt and damage, especially at the vacuum flange, have an adver-... -
Page 34: Electrical Connection
3.3 Electrical Connection 3.3.1 Operation with Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used (see accessories). Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit! Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw. -
Page 35: Operation With Other Supply And Evaluation Units
3.3.2 Operation with other Supply and Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or volta- ge supplies. The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket Sub-D, 15-pole, male Pin1:... -
Page 36: Operation
4 Operation 4.1 General Measurement Principle VSR and VCR vacuum transducers are equipped with an internal combination sen- sor of type Piezo / Pirani. Under the influence of pressure the thin diaphragm of the piezo-resistive sensor is bent, on the back of which a resistor-bridge is applied. The bending forces the measuring bridge to come out of tune, which is a measure for the applied pressure. -
Page 37: Operation Of The Vsr/Vcr
4.2 Operation of the VSR/VCR The status LED of the VSR/VCR signalizes the following operational states: The switchpoint LEDs are on when the related relay is activated. In addition models VSR53DL, VCR53DL, VSR54DL and VCR54DL have an LCD with yellow backlight that displays the measured actual pressure. In case of an operation error or malfunction the display is illuminated by a red back- ground color. -
Page 38: Readjustment
Display unit and orientation can be changed by software command, see section 5.5. 4.3 Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24 V voltage supply in upright position, flange to the bottom. Other orientation, operation under different climatic conditi- ons, extreme temperature changes, ageing or contamination can result in the need for readjustment. - Page 39 To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm-up of at least 10 minutes at the appropriate cali- bration pressure before any adjustment. For adjustment first remove the rubber cap above the »Adj« button (1), then press the pushbutton several times by means of a screwdriver or other suitable tool (2) until the status LED starts quickly flashing orange.
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Page 40: Bake-Out
Readjustment via Software Command See section 5.7. 4.4 Bake-Out When a bake-out of the vacuum chamber is performed with the VSR/VCR being mounted to the chamber, the temperature at the sensor flange must not exceed 150 C. The transducer’s voltage supply must be switched-off while the chamber is heated. -
Page 41: Communication
(2). Afterwards insert the rubber cap again. Communication telegrams are transmitted as ASCII text according to the Thyra- cont protocol version V2. Detailed information is provided in the separate descrip- tion »Thyracont Communication Protocol«. Download link: www.thyracont-vacuum.com/en/support/downloadcenter/ Interface Parameter: 9.6 / 14.4 / 19.2 / 38.4 / 57.6 / 115.2 kBd, 8 databits, 1 stopbit, no parity... -
Page 42: Survey Of Commands
5.2 Survey of Commands Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 2 (Piezo) Display Unit Display Orientation Relay 1... -
Page 43: Device Parameters And Information
5.3 Device Parameters and Information Type of Device (TD): Query of device type, e.g. VSR205 Product Name (PN): Query of product name (article number) Serial Number Device (SD): Query of device serial number Serial Number Head (SH): Query of sensor head serial number Version Device (VD): Query of the device’s hardware version Version Firmware (VF):... -
Page 44: Measurement Query
5.4 Measurement Query Measurement Range (MR): Query measurement range of the gauge Measurement Value MV: Query current pressure measurement Measurement Value M1: Query current pressure measurement of the Pirani sensor Measurement Value M2: Query current pressure measurement of the piezo sensor 5.5 Display Functions Display Unit (DU): Query and set the pressure unit used for the LCD display of the transducer. - Page 45 gnment described in section 3.3.2. Relay R1, R2: The relays can be configured independently for various switching modes. The pa- rameter is used to query and set these switching modes. Setting T[p1] F[p2]: In this case 2 pressure thresholds T[p1] (true) and F[p2] (false) are transmitted. T[p1] <...
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Page 46: Readjustment
Setting T[p1] = F[p2] ist not allowed! A gap between the thresholds being too small may result in flickering of the relay and can even cause damage to the relay! Setting E: Relay closes in case of a device error. Setting !E: Relay opens in case of a device error. -
Page 47: Sensor Parameters
To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm-up of at least 10 minutes at the appropriate cali- bration pressure before any adjustment. 5.8 Sensor Parameters Sensor Transition (ST) By default the VSR/VCR performs a continuous transition between Pirani and pie- zo range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out. - Page 48 Gas Correction Factor (C1) The measurement signal of the VSR/VCR in the Pirani range depends on type and composition of the gas being measured. The unit is adjusted for N and dry air. For other gases the pressure display can be corrected below 0.1 mbar by setting a correction factor.
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Page 49: Vacugraph Software
5.9 VacuGraph Software VacuGraph software has been especially developed for use with Thyracont gauges and is compatible with operating systems Windows, Linux, MacOS and Android. VacuGraph features plotting and saving of measurement data as well as comfor- table configuration of all device parameters. -
Page 50: Maintenance And Service
< 0.5 V / defective electronics or send unit for repair or »ERROR1« via RS485 / sensor replace sensor status LED cont. red access code »7« via error message / warning see separate RS485 documentation Thyracont Communication Protocol VSR/VCR-RS485-200616... - Page 51 VSR/VCR-RS485-200616...
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Page 52: Technical Data
7 Technical Data Measurement principle piezo-resistive / heat conduction Pirani (Pirani depending on gas type) Measuring range VSR: 1200 - 1.0x10 mbar (900 - 1.0x10 Torr) VCR: 1200 - 5.0x10 mbar (900 - 5.0x10 Torr) Max. overload 4 bar abs. Accuracy VSR: 1200 ... - Page 53 Storage temperature -40 ... +65 C Bake-out temperature max. 150 C at the flange (voltage supply switched-off) Voltage supply 20 - 30 VDC Power consumption max. 2.5 W, 0.8 W for relays and LCD Output signal 0 - 10 VDC, min. 10 k , measuring range VSR: 1.5 - 8.58 VDC, logarithmic measuring range VCR: 2.2 - 8.58 VDC,...
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Page 54: Declaration Of Conformity
8 Declaration of Conformity VSR/VCR-RS485-200616... - Page 55 VSR/VCR-RS485-200616...
- Page 56 VSR/VCR-RS485-200616...
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