Použití Vývěvy Twistorr 304 Fs - Agilent Technologies X3500-64000 User Manual

Použití vývěvy TwisTorr 304 FS
Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v
příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku
pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete
systém čerpadla zahřát.
Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na vstupní
přírubě překročit 120°C v případě příruby typu ConFlat a 80°C v
případě příruby ISO.
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.
NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
POZOR!
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání plynů s obsahem pevných částic
nebo agresivních znečišťujících látek jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním
otvorem (vestavěným, pro čištění/odvzdušnění), potřebným pro zajištění přítoku
inertního plynu (dusíku, hélia nebo argonu) za účelem ochrany ložisek vývěvy (viz
dodatek „Technical Information").
Vývěvu nikdy nepoužívejte za přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by
POZOR!
mohly poškodit její vnitřní materiály.
TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01
Návod k Použití
Použití vývěvy TwisTorr 304 FS
13
193/304