Download
Share
Print this page
Agilent Technologies X3502-64170 User Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Agilent Technologies Manuals
  4. Water Pump
  5. X3502-64170
  6. User manual

Agilent Technologies X3502-64170 User Manual

Hide thumbs

Advertisement

Quick Links

Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-053-01
07/2018
TwisTorr 74 FS
Pump models: X3502-64170, X3502-64171,
X3502-64172, X3502-64173
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Advertisement

loading

Related Manuals for Agilent Technologies X3502-64170

Summary of Contents for Agilent Technologies X3502-64170

  • Page 1 TwisTorr 74 FS Pump models: X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
  • Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2018 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
  • Page 3 TwisTorr 74 FS Pump TwisTorr 74 FS Pump TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 3/342...
  • Page 4 TwisTorr 74 FS Pump 4/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 5: Table Of Contents

    Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 20 Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa Uso della TwisTorr 74 FS 27 Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 37 Installation 39...
  • Page 6 Contents Entsorgung 47 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation 57 Fixation de la pompe 60 Utilisation de la TwisTorr 74 FS 61 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 65 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 67 Almacenamiento Preparación para la instalación 71...
  • Page 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 82 Informações gerais 83 Armazenagem 86 Preparação para a instalação 87 Instalação 89 Fixação da bomba Utilização do TwisTorr 74 FS 93 Manutenção Eliminação 96 Bedrijfshandleiding 97 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98 Algemene informatie Opslag Uitpakken 103...
  • Page 8 Contents Generel information 117 Opbevaring 120 Forberedelser før installation 121 Installation 123 Fastgøring af pumpen Anvendelse af TwisTorr 74 FS Vedligeholdelse 129 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 132 Allmän information 133 Förvaring Förberedelser för installation 137 Installation 139 Fastsättning av pumpen 142 Användning av TwisTorr 74 FS Underhåll Bortskaffning...
  • Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 155 Installasjon 157 Festing av pumpen 160 Bruk av TwisTorr 74 FS 161 Vedlikehold 163 Eliminering 164 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 170 Valmistelut asennusta varten171 Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 74 FS käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 181 Biztonsági útmutató...
  • Page 10 Contents A szivattyú rögzítése 192 A TwisTorr 74 FS használata 193 Karbantartás Megsemmisítés 196 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 198 Ogólne Informacje 199 Magazynowanie 202 Przygotowanie do instalacji 203 Instalacja Mocowanie pompy 209 Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS 210 Konserwacja Przetworstwo odpadow 213 13 Návod k Použití...
  • Page 11 Contents Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 231 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 74 FS 243 Údržba Likvidácia 246 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 248 Splošne informacije 249 Shranjevanje Priprava za montažo 253...
  • Page 12 Contents 16 Instructions for Use 263 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 264 General Information 265 Storage Preparation for installation 269 Installation 271 Pump Fixing 274 Use of TwisTorr 74 FS Maintenance Disposal 17 Technical Information 279 Description of the TwisTorr 74 FS281 Technical Specification 285 TwisTorr 74 FS Outline 288 Interconnections...
  • Page 13 Contents TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Connection of the High Vacuum Flange 324 Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases 332 Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 336 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 13/342...
  • Page 14 Contents 14/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    TwisTorr 74 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa 26 Uso della TwisTorr 74 FS Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/342...

  • Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.

  • Page 17: Informazioni Generali

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
  • Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.

  • Page 19: Simboli Di Sicurezza

    Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Simboli di Sicurezza SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e per proteggere l’apparato da eventuali danni. L’apparato è...

  • Page 20: Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –40 °C a 70 °C ...

  • Page 21: Preparazione Per L'installazione

    Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La pompa TwisTorr 74 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 74 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
  • Page 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 22/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 23: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Installazione AVVERTENZA! La pompa funziona ad alta velocità di rotazione. Si prega di installare la pompa prima di azionarla. Il funzionamento della pompa senza che sia collegata al sistema permette di toccare le parti in movimento che possono provocare gravi infortuni.
  • Page 24 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 2 Figura 3 24/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 25 Istruzioni per l’uso Installazione Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica;...

  • Page 26: Fissaggio Della Pompa

    Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. La TwisTorr 74 FS può...

  • Page 27: Uso Della Twistorr 74 Fs

    Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 74 FS Uso della TwisTorr 74 FS AVVERTENZA! Assicurare il corretto utilizzo dell'apparecchiatura. L'operatore di questo strumento è invitato ad utilizzare l'apparecchiatura nel modo specificato in questo manuale. Il mancato rispetto delle indicazioni riportate in questo manuale può compromettere la protezione fornita dall’apparecchiatura.
  • Page 28 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 74 FS Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della pompa quando è in funzione. ATTENZIONE! I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).

  • Page 29: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 74 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Page 30: Smaltimento

    Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

  • Page 31: Gebrauchsanleitung

    TwisTorr 74 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Sicherheits-Symbole 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisTorr 74 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/342...

  • Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Page 33: Allgemeine Informationen

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
  • Page 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

  • Page 35: Sicherheits-Symbole

    Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Sicherheits-Symbole SYMBOL BESCHREIBUNG DES SYMBOLS Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener im Handbuch nachschlagen soll, um sich selbst und das Gerät vor Schäden zu schützen. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll.

  • Page 36: Lagerung

    Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –40 °C bis 70 °C ...

  • Page 37: Vor Der Installation

    Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Pumpe TwisTorr 74 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die TwisTorr 74 FS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
  • Page 38 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 38/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 39: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Installation WARNUNG! Die Pumpe rotiert sehr schnell. Da die Pumpe ohne Controller nicht arbeiten kann, sollte sie vor der Einschaltung installiert werden. Wenn die Pumpe ohne Verbindung zum System läuft, können die beweglichen Teile berührt werden, was zu schweren Unfällen führen kann. WARNUNG! Das Versorgungskabel des Controllers dient auch dazu, Controller und Pumpe im Notfall von der Stromversorgung abzuschneiden.
  • Page 40 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 2 Abbildung 3 40/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 41 Gebrauchsanleitung Installation Der Apparat nur in geschlossenen Räumen installiert werden. Er darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen verwendet werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck: ...
  • Page 42 Gebrauchsanleitung Installation Das Modell Twis Torr 74 FS entspricht der Installationskategorie II gemäß der VORSICHT! Norm EN 61010-1. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".

  • Page 43: Befestigung Der Pumpe

    Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System lösen, was zu Sach- oder Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann.

  • Page 44: Verwendung Twistorr 74 Fs

    Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 74 FS Verwendung TwisTorr 74 FS WARNUNG! Vergewissern Sie sich, dass das Gerät korrekt betrieben wird. Dem Bediener wird geraten, das Gerät so zu verwenden, wie in diesem Handbuch beschrieben. Die Nichtbeachtung der Hinweise dieses Handbuchs kann die Sicherheit des Gerätes beeinträchtigen.
  • Page 45 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 74 FS Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie VORSICHT! Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.

  • Page 46: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 74 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.

  • Page 47: Entsorgung

    Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
  • Page 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 49: Mode D'emploi

    TwisTorr 74 FS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité 53 Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 74 FS 61 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 49/342...

  • Page 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.

  • Page 51: Indications Générales

    Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
  • Page 52 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.

  • Page 53: Symboles De Sécurité

    Mode d’emploi Indications générales Symboles de sécurité SYMBOLE DESCRIPTION Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se reporter au mode d’emploi pour sa propre sécurité et pour ne pas endommager l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité...

  • Page 54: Stockage

    Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –40 °C à...

  • Page 55: Préparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Préparation pour l’installation Préparation pour l’installation La pompe TwisTorr 74 FS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
  • Page 56 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Figure 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 56/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 57: Installation

    Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! La pompe fonctionne à une haute vitesse de rotation. L’utilisateur doit installer la pompe avant de l’utiliser. Le fonctionnement de la pompe sans que celle-ci soit raccordée au système comporte des risques de contact avec les parties mobiles qui peuvent causer de graves blessures.
  • Page 58 Mode d’emploi Installation Figure 2 Figure 3 58/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 59 Mode d’emploi Installation Installer cet appareil dans un endroit clos et ne jamais installer et/ou utiliser la pompe dans un endroit exposé aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, à des gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...

  • Page 60: Fixation De La Pompe

    Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas de panne du rotor, tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de décrochage de la pompe du système pouvant entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le TwisTorr 74 FS peut être installée dans n'importe quelle position.

  • Page 61: Utilisation De La Twistorr 74 Fs

    Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 74 FS Utilisation de la TwisTorr 74 FS AVERTISSEMENT! Garantissez une utilization correcte de l’appareil. L'utilisateur doit utiliser l’appareil de manière conforme aux indications du présent mode d’emploi. Tout manquement aux indications figurant dans ce mode d’emploi risque de compromettre la sécurité...
  • Page 62 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 74 FS N'utilisez jamais la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant ATTENTION! endommager le matériau interne de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.

  • Page 63: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien La TwisTorr 74 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Page 64: Mise Au Rebut

    Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...

  • Page 65: Manual De Istrucciones

    TwisTorr 74 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66 Información general Símbolos de Seguridad 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 71 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 74 FS Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 65/342...

  • Page 66: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.

  • Page 67: Información General

    Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
  • Page 68 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.

  • Page 69: Símbolos De Seguridad

    Manual de istrucciones Información general Símbolos de Seguridad SÍMBOLO DESCRIPCIÓN DE LOS SÍMBOLOS Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe remitirse al manual de instrucciones para protegerse de los riesgos de daño y para proteger al equipo de eventuales Daños. Cuando el equipo está...

  • Page 70: Almacenamiento

    Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –40 °C y 70 °C;...

  • Page 71: Preparación Para La Instalación

    Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación La TwisTorr 74 FS se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
  • Page 72 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 72/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 73: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! La bomba funciona a alta velocidad de rotación. Puesto que la bomba no puede funcionar sin controlador, se solicita instalar la bomba antes de accionarla. Puesto que la bomba no puede funcionar sin controlador, se solicita instalar la bomba antes de accionarla.
  • Page 74 Manual de istrucciones Instalación Figura 2 Figura 3 74/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 75 Manual de istrucciones Instalación Instalar esta bomba sólo en ambientes cerrados y, en ningún caso, utilizarla en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica: ...

  • Page 76: Fijación De La Bomba

    Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca una avería en el rotor, puede implicar la separación de la bomba del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. La TwisTorr 74 FS puede instalarse en cualquier posición.

  • Page 77: Uso De La Twistorr 74 Fs

    Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 74 FS Uso de la TwisTorr 74 FS ¡ADVERTENCIA! Asegurar el uso correcto del equipo. Se aconseja al operador de este instrumento que utilice el equipo de la forma especificada en este manual. El incumplimiento de las indicaciones citadas en este manual puede comprometer la protección suministrada por el equipo.
  • Page 78 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 74 FS Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba ¡ATENCIÓN! durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá...

  • Page 79: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 74 FS no requiere ningún mantenimiento.Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Page 80: Eliminación

    Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...

  • Page 81: Manual De Istruções

    TwisTorr 74 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 82 Informações gerais Símbolos de segurança 85 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 92 Utilização do TwisTorr 74 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 81/342...

  • Page 82: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.

  • Page 83: Informações Gerais

    Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
  • Page 84 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...

  • Page 85: Símbolos De Segurança

    Manual de Istruções Informações gerais Símbolos de segurança SÍMBOLO DESCRIÇÃO DOS SÍMBOLOS O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve consultar o manual de instruções a fim de se proteger contra os riscos de danos e para proteger o aparelho contra eventuais danos.

  • Page 86: Armazenagem

    Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de -40 °C a 70 °C ...

  • Page 87: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TwisTorr 74 FS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
  • Page 88 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 88/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 89: Instalação

    Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! A bomba funciona a uma alta velocidade de rotação. Como a bomba não pode funcionar sem o controlador, solicita-se a instalação da bomba antes de accioná-la. O funcionamento da bomba sem que esteja conectada ao sistema permite que se toquem as partes em movimento, que podem provocar graves acidentes.
  • Page 90 Manual de Istruções Instalação Figura 2 Figura 3 90/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 91 Manual de Istruções Instalação Instalar este aparelho somente em ambientes fechados, e nunca usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é...

  • Page 92: Fixação Da Bomba

    Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! A não observância destas instruções de instalação, no caso de haver uma avaria do rotor, pode provocar a desconexão da bomba do sistema, causando danos, ferimentos graves ou morte. O TwisTorr 74 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 74 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.

  • Page 93: Utilização Do Twistorr 74 Fs

    Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 74 FS Utilização do TwisTorr 74 FS ATENÇAO! Certifique-se da correcta utilização do aparelho. Recomenda-se que o operador deste instrumento utilize o aparelho do modo especificado neste manual. A não obediência às indicações mostradas neste manual pode comprometer a protecção fornecida pelo aparelho.
  • Page 94 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 74 FS Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando CUIDADO! está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).

  • Page 95: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 74 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Page 96: Eliminação

    Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.

  • Page 97: Bedrijfshandleiding

    TwisTorr 74 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen 101 Opslag 102 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 74 FS 110 Onderhoud Afvalverwerking 113 Vertaling van de originele instructies 97/342...

  • Page 98: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Page 99: Algemene Informatie

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
  • Page 100 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.

  • Page 101: Veiligheidssymbolen

    Bedrijfshandleiding Algemene informatie Veiligheidssymbolen SYMBOOL BESCHRIJVING VAN DE SYMBOLEN Het apparaat drag dit symbool alleen wanneer de bediener de handleiding moet raadplegen, teneinde zichzelf te behoeden voor letsels en het apparaat te beschermen tegen eventuele schade. Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat.

  • Page 102: Opslag

    Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -40 °C tot 70 °C ...

  • Page 103: Uitpakken

    Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TwisTorr 74 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 74 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Page 104 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 104/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 105: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp draait aan hoge snelheid. Omdat de pomp niet zonder controller kan functioneren, wordt gevraagd de pomp te installeren vooraleer in te schakelen. Het in werking stellen van de pomp zonder dat die aangesloten is op het systeem, maakt het mogelijk de bewegende onderdelen aan te raken die anders ernstige letsels zouden kunnen veroorzaken.
  • Page 106 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 2 Figuur 3 106/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 107 Bedrijfshandleiding Installatie Installeer dit apparaat alleen in afgesloten ruimten. In geen geval mag de pomp niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar.
  • Page 108 Bedrijfshandleiding Installatie TwisTorr 74 FS is conform de installatiecategorie II voorzien door de norm EN VOORZICHTIG! 61010-1. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. 108/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 109: Bevestiging Van De Pomp

    Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet, kan de pomp loskomen van het systeem en schade, ernstige letsels of de dood veroorzaken. De TwisTorr 74 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd.

  • Page 110: Gebruik Van De Twistorr 74 Fs

    Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 74 FS Gebruik van de TwisTorr 74 FS WAARSCHUWING! Waak over het correct gebruik van de apparatuur. De bediener van dit instrument gebruikt de apparatuur bij voorkeur zoals aangegeven in deze handleiding. Het niet naleven van de voorschriften in deze handleiding kan de bescherming die d apparatuur biedt in het gedrang brengen.
  • Page 111 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 74 FS Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp VOORZICHTIG! wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes.

  • Page 112: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 74 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Page 113: Afvalverwerking

    Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
  • Page 114 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 114/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 115: Istruktionsbog

    TwisTorr 74 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerheds Opbevaring 120 Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 126 Anvendelse af TwisTorr 74 FS Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 115/342...

  • Page 116: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Page 117: Generel Information

    Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
  • Page 118 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.

  • Page 119: Sikkerheds

    Istruktionsbog Generel information Sikkerhedssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AF SYMBOLERNE Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal konsultere brugsanvisningen for at beskytte sig mod risikoen for skader, og for at beskytte enheden fra mulige skader. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet.

  • Page 120: Opbevaring

    Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra -40 °C til +70 °C ...

  • Page 121: Forberedelser Før Installation

    Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TwisTorr 74 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TwisTorr 74 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
  • Page 122 Istruktionsbog Forberedelser før installation Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 122/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 123: Installation

    Istruktionsbog Installation Installation ADVARSEL! Pumpen kører med høj rotationshastighed. Da pumpen ikke kan fungere uden en styreenhed, skal du installere pumpen, inden du tager den i drift. Drift af pumpen, uden at den er forbundet til systemet, gør det muligt at røre de bevægelige dele, hvilket kan forårsage alvorlig personskade.
  • Page 124 Istruktionsbog Installation Figur 2 Figur 3 124/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 125 Istruktionsbog Installation Installér kun pumpen lukkede miljøer og anvend den ikke under nogen omstændigheder i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.

  • Page 126: Fastgøring Af Pumpen

    Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Fastgøring af pumpen ADVARSEL! Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan, i tilfælde af at rotoren går i stykker, medføre, at pumpen løsrives fra systemet og foråsager skader, alvorlige kvæstelser eller dødsfald. TwisTorr 74 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 74 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på...

  • Page 127: Anvendelse Af Twistorr 74 Fs

    Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 74 FS Anvendelse af TwisTorr 74 FS ADVARSEL! Sørg for korrekt brug af enheden. Brugeren af dette instrument tilrådes at bruge udstyret som angivet i denne vejledning. Manglende overholdelse af anvisningerne i denne manual, kan forringe den beskyttelse, udstyret giver.
  • Page 128 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 74 FS Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug FORSIGTIG! af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk).

  • Page 129: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 74 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Page 130: Bortskaffelse

    Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...

  • Page 131: Bruksanvisning

    TwisTorr 74 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 132 Allmän information Säkerhetssymboler 135 Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 74 FS 144 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 131/342...

  • Page 132: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Page 133: Allmän Information

    Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
  • Page 134 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.

  • Page 135: Säkerhetssymboler

    Bruksanvisning Allmän information Säkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVNING AV SYMBOLERNA Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören hänvisas till instruktionsboken för att skydda sig mot risk för kroppsskada och för att skydda apparaten mot eventuella skador. Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på...

  • Page 136: Förvaring

    Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -40 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). ...

  • Page 137: Förberedelser För Installation

    Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Pumpen TwisTorr 74 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 74 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
  • Page 138 Bruksanvisning Förberedelser för installation Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 138/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 139: Installation

    Bruksanvisning Installation Installation VARNING! Pumpen fungerar på hög rotationshastighet. Eftersom pumpen inte fungerar utan en styrenhet ska pumpen installeras innan den sätts igång. Om pumpen sätts i funktion utan att den ansluts till systemet kan leda till att rörliga delar vidrörs vilket kan orsaka allvarliga olyckor. VARNING! Styrenhetens elkabeln kopplar även ur elförsörjningen till styrenheten ooch pumpen vid nödläge.
  • Page 140 Bruksanvisning Installation Figur 2 Figur 3 140/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 141 Bruksanvisning Installation Installeraden här apparaten endast i stängda miljöer och använd den hur som helst inte i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck);...

  • Page 142: Fastsättning Av Pumpen

    Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Fastsättning av pumpen VARNING! Om de här installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss från systemet om det uppstår en skada på rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador, kroppsskador eller döden. TwisTorr 74 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 74 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett vridmoment på...
  • Page 143 Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Turbo-V 81-M TwisTorr 74 FS tillhör en andra installationsklass (eller OBSERVER! överspänning) som förutses av standarden SS EN 61010-1. Anslut därför anordningen till ett försörjningsnät som uppfyller kraven för den här klasssen. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 143/342...

  • Page 144: Användning Av Twistorr 74 Fs

    Bruksanvisning Användning av TwisTorr 74 FS Användning av TwisTorr 74 FS VARNING! Se till att apparaten används på rätt sätt. Det rekommenderas att operatören använder apparaten på det sätt som anges i handboken. Om anvisningarna i den här handboken inte iakttas kan det ställa apparatens skydd på...
  • Page 145 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 74 FS Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av OBSERVER! turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).

  • Page 146: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 74 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.

  • Page 147: Bortskaffning

    Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
  • Page 148 Bruksanvisning Bortskaffning 148/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 149: Instruksjon Manual

    TwisTorr 74 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 151 Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 74 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 149/342...

  • Page 150: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Page 151: Generell Informasjon

    Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
  • Page 152 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.

  • Page 153: Sikkerhetssymboler

    Instruksjon Manual Generell informasjon Sikkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AV SYMBOLENE Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må konsultere brukerhåndboken for å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift.

  • Page 154: Lagring

    Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -40 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering).

  • Page 155: Klargjøre Til Installasjon

    Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TwisTorr 74 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TwisTorr 74 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 156 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 156/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 157: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Installasjon ADVARSEL! Pumpen har høy rotasjonshastighet under drift. Ettersom pumpen ikke kan fungere uten kontroller, må du installere pumpen før den aktiveres. Drift av pumpen uten at den er koblet til systemet, gjør det mulig å berøre de bevegelige delene.
  • Page 158 Instruksjon Manual Installasjon Figur 2 Figur 3 158/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 159 Instruksjon Manual Installasjon Dette apparatet skal bare installeres i lukkede miljøer, og skal ikke installeres eller brukes systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk);...

  • Page 160: Festing Av Pumpen

    Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan føre til at pumpen løsner fra systemet hvis rotoren ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 74 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 74 FS i en stabil stilling ved å...

  • Page 161: Bruk Av Twistorr 74 Fs

    Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 74 FS Bruk av TwisTorr 74 FS ADVARSEL! Sørg for at apparatet brukes på riktig måte. Operatøren av dette instrumentet skal bruke apparatet slik det er spesifisert i denne håndboken. Manglende overholdelse av indikasjonene i denne håndboken kan føre til at beskyttelsen av apparatet ikke fungerer.
  • Page 162 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 74 FS Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i FORSIKTIG! funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).

  • Page 163: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 74 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 164: Eliminering

    Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...

  • Page 165: Ohjekäsikirja

    TwisTorr 74 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 176 TwisTorr 74 FS käyttö 177 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 165/342...

  • Page 166: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 166/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 167: Yleisiä Tietoja

    Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
  • Page 168 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 168/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 169 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Turvamerkit MERKKI MERKKIEN KUVAUS Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 169/342...

  • Page 170: Varastointi

    Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -40 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). ...

  • Page 171: Valmistelut Asennusta Varten171

    Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TwisTorr 74 FS pumppu toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 74 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
  • Page 172 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 172/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 173: Asennus

    Ohjekäsikirja Asennus Asennus VAROITUS! Pumppu toimii korkealla kiertonopeudella. Koska pumppu ei voi toimia ilman valvontayksikköä, asenna pumppu ennen sen käynnistämistä. Pumpun toiminta ilman sen kytkemistä järjestelmään tekee liikkuviin osiin koskemisen mahdolliseksi, jonka seurauksena voi syntyä vakavia onnettomuuksia. VAROITUS! Valvontayksikön virtajohtoa käytetään myös valvontayksikön ja pumpun sähkövirran kytkemiseksi irti hätätilan syntyessä.
  • Page 174 Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Kuva 3 174/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 175 Ohjekäsikirja Asennus Laite tulee asentaa vain suljettuihin tiloihin. Sitä ei saa missään tapauksessa käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen;...

  • Page 176: Pumpun Kiinnitys

    Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 74 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 74 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää...

  • Page 177: Twistorr 74 Fs Käyttö

    Ohjekäsikirja TwisTorr 74 FS käyttö TwisTorr 74 FS käyttö VAROITUS! Varmista laitteiston oikea käyttö. Tätä välinettä käyttävän käyttäjän on käytettävä laitteistoa tässä ohjekirjassa osoitetullatavalla. Tässä ohjekirjassa annettujen ohjeiden noudattamatta jättäminen voi vaarantaa laitteiston antaman suojan. Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta.
  • Page 178 Ohjekäsikirja TwisTorr 74 FS käyttö Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä HUOMIO! laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu hiukkasia tai saasteita sisältävien aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla (integroitu purge/vent), jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi, helium tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information”...

  • Page 179: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 74 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.

  • Page 180: Hävittäminen

    Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...

  • Page 181: Felhasználói Kézikönyv

    TwisTorr 74 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések 185 Tárolás 186 Előkészítés telepítésre 187 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 74 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 196 Az eredeti utasítás fordítása 181/342...

  • Page 182: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...

  • Page 183: Általános Informáicó

    Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
  • Page 184 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.

  • Page 185: Biztonsági Jelzések

    Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Biztonsági jelzések JELZÉS JELZÉSEK LEÍRÁSA A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a használati útmutatást kell figyelembe vennie, hogy a önmagát és a berendezést a kártól megóvja. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia.

  • Page 186: Tárolás

    Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -40 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) ...

  • Page 187: Előkészítés Telepítésre

    Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TwisTorr 74 FSt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. TwisTorr 74 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
  • Page 188 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 188/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 189: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés VESZÉLY! A szivattyú nagy forgási sebességgel működik. Mivel a szivattyú controller nélkül nem működhet, kérjük, hogy működtetés előtt installálja a szivattyút. A szivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatás nélkül való működése lehetővé teszi, hogy a mozgó részekhez hozzáférjenek és ez súlyos baleseteket okozhat.
  • Page 190 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ábra 2 Ábra 3 190/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 191 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ezt a berendezést csak zárt térbe telepítse, és semmiképpen se használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett; ...

  • Page 192: A Szivattyú Rögzítése

    Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ezeknek a telepítési utasításoknak figyelmen kívül hagyása, amennyiben a rotor meghibásodik, a szivattyúnak a rendszerről való leválását eredményezheti úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 74 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 74 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú...

  • Page 193: A Twistorr 74 Fs Használata

    Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 74 FS használata A TwisTorr 74 FS használata VESZÉLY! Győződjön meg a berendezés helyes használatáról. Az eszköz kezelője számára ajánlott, hogy a berendezést ebben a használati útmutatóban írtak szerint használja. Az útmutatóban szereplő utasítások be nem tartása a berendezés által nyújtott védelmet veszélyeztetheti.
  • Page 194 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 74 FS használata Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A FIGYELEM! csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A partikulátumot vagy agresszív szennyeződést tartalmazó...

  • Page 195: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 74 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 196: Megsemmisítés

    Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...

  • Page 197: Podrecznik Instrukcji

    TwisTorr 74 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 203 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS 210 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 197/342...

  • Page 198: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Page 199: Ogólne Informacje

    Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
  • Page 200 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...

  • Page 201: Symbole Związane Z Bezpieczeństwem

    Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem SYMBOL OPIS SYMBOLU Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi zajrzeć do instrukcji obsługi, aby zabezpieczyć się przed zagrożeniem obrażenia i zabezpieczyć urządzenie przed ewentualnymi uszkodzeniami. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować...

  • Page 202: Magazynowanie

    Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie  należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od -40 °C do 70 °C  względna wilgoć·od 0 do 90 % ( bez opar) ...

  • Page 203: Przygotowanie Do Instalacji

    Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Ponpa TwisTorr 74 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń, do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę, aby nie upuścić...
  • Page 204 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Postać 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 204/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 205: Instalacja

    Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja ZAGROZENIE! Pompa procuje z dużą prędkością obrotową. Ponieważ pompa nie może działać bez sterownika, przed jej uruchomieniem należy ją odpowiednio zainstalować. Działanie pompy niepodłączonej do systemu umożliwia dotknięcie części będących w ruchu, co może być przyczyną poważnych nieszczęśliwych wypadków.
  • Page 206 Podrecznik Instrukcji Instalacja Postać 2 Postać 3 206/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 207 Podrecznik Instrukcji Instalacja To urządznie należy instalować wyłącznie w pomieszczeniach zamkniętych i w żadnym przypadku nie wykorzystywać pompy w pomieszczeniach narażonych na oddziaływanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w pomieszczeniach z atmosferą wybuchową lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
  • Page 208 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pompa TwisTorr 74 FS odpowiada wymaganiom II kategorii instalacji UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też należy podłączyć urządzenie do linii zasilania, która spełnia te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”. 208/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 209: Mocowanie Pompy

    Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczących instalacji może, w przypadku powstania usterki wirnika, spowodować odłączenie się pompy od systemu, a w konsekwencji doprowadzić do uszkodzeń sprzętu, obrażeń cielesnych osób a nawet śmierci. Pompa TwisTorr 74 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.

  • Page 210: Użytkowanie Pompy Twistorr 74 Fs

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS ZAGROZENIE! Należy zapewnić poprawne użytkowanie urządzenia. Zaleca się, aby operator tego urządzenia pracował ze sprzętem w sposób określony w niniejszej instrukcji. Nieprzestrzeganie zaleceń podanych w niniejszej instrukcji może wpłynąć negatywnie na zabezpieczenie zapewniane przez urządzenie.
  • Page 211 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 74 FS Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej UWAGA! działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie atmosferyczne).

  • Page 212: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 74 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...

  • Page 213: Przetworstwo Odpadow

    Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdującego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE. Symbol ten (obowiązujący tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób, który nim został oznaczony NIE może być...
  • Page 214 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 214/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 215: 13 Návod K Použití

    TwisTorr 74 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 216 Všeobecné informace 217 Bezpečnostní symboly 219 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 215/342...

  • Page 216: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...

  • Page 217: Všeobecné Informace

    Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
  • Page 218 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.

  • Page 219: Bezpečnostní Symboly

    Návod k Použití Všeobecné informace Bezpečnostní symboly POPIS SYMBOLŮ SYMBOL Zařízení je označeno tímto symbolem, když musí obsluha vycházet z návodu, aby byla chráněna před riziky ublížení na zdraví a poškození zařízení. Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení...

  • Page 220: Uskladnění

    Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -40 °C až 70 °C ...

  • Page 221: Příprava K Instalaci

    Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TwisTorr 74 FS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 74 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
  • Page 222 Návod k Použití Příprava k instalaci Obrázek 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 222/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 223: Instalace

    Návod k Použití Instalace Instalace NEBEZPEČÍ! Vývěva se během své činnosti otáčí vysokou rychlostí. Vzhledem k tomu, že vývěva nemůže pracovat bez řídící jednotky, prosíme vás o provedení instalace vývěvy před jejím uvedením do chodu. Činnost vývěvy bez připojení k systému umožňuje dotknout se pohybujících se součástí, které mohou způsobit vážné...
  • Page 224 Návod k Použití Instalace Obrázek 2 Obrázek 3 224/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 225 Návod k Použití Instalace Toto zařízení instalujte výhradně do uzavřeného prostředí a nepoužívejte je v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální...

  • Page 226: Upevnění Vývěvy

    Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním nebo dokonce smrtí. Vývěvu TwisTorr 74 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 74 FS ve stabilní...

  • Page 227: Použití Vývěvy Twistorr 74 Fs

    Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Použití vývěvy TwisTorr 74 FS NEBEZPEČÍ! Ujistěte se o správném použití zařízení. Doporučujeme obsluze tohoto přístroje používat zařízení způsobem uvedeným v tomto návodu. Nedodržení pokynů uvedených v tomto návodu může ohrozit ochranu poskytovanou zařízením.
  • Page 228 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 74 FS Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly POZOR! by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).

  • Page 229: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 74 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Page 230: Likvidace

    Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...

  • Page 231: 14 Návod Na Obsluhu

    TwisTorr 74 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 232 Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly 235 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 74 FS 243 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 231/342...

  • Page 232: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...

  • Page 233: Všeobecné Informácie

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
  • Page 234 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...

  • Page 235: Bezpečnostné Symboly

    Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly SYMBOL POPIS SYMBOLOV Zariadenie je označené týmto symbolom, keď musí pracovník vychádzať z návodu, aby chránil sám seba, predchádzal rizikám úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať...

  • Page 236: Uchovávanie

    Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -40 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) ...

  • Page 237: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Výveva TwisTorr 74 FS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 74 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami.
  • Page 238 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Obrázok 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 238/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 239: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia NEBEZPEČÍ! Výveva sa počas svojej činnosti otáča vysokou rýchlosťou. Vzhľadom k tomu, že výveva nemôže pracovať bez riadiacej jednotky, prosíme vás o inštaláciu vývevy pred jej uvedením do chodu. Ak nie je výveva pripojená k systému, počas jej činnosti je možný...
  • Page 240 Návod na Obsluhu Inštalácia Obrázok 2 Obrázok 3 240/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 241 Návod na Obsluhu Inštalácia Toto zariadenie inštalujte výhradne do uzavretého prostredia a nepoužívajte ho v prostredí, ktoré je vystavené vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku;...

  • Page 242: Upevnenie Vývevy

    Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže, v prípade výskytu poruchy rotora, spôsobiť oddelenie vývevy od systému, s následným vážnym zranením alebo dokonca smrťou. Vývevu TwisTorr 74 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 74 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú...

  • Page 243: Použitie Vývevy Twistorr 74 Fs

    Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 74 FS Použitie vývevy TwisTorr 74 FS NEBEZPEČÍ! Dbajte na to, aby bolo zariadenie používane správnym spôsobom. Odporúčame obsluhujúcemu pracovníkovi tohto prístroja, aby ho používal spôsobom uvedeným v tomto návode. Nedodržanie pokynov uvedených v tomto návode môže ohroziť ochranné funkcie zariadenia.
  • Page 244 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 74 FS Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu POZOR! alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí...

  • Page 245: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 74 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Page 246: Likvidácia

    Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...

  • Page 247: Priročnik Za Navodila

    TwisTorr 74 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 247/342...

  • Page 248: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.

  • Page 249: Splošne Informacije

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
  • Page 250 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.

  • Page 251: Varnostni Znaki

    Priročnik za Navodila Splošne informacije Varnostni znaki ZNAK OPIS ZNAKOV Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec v uporabniškem priročniku poiskati navodila glede zaščite pred tveganji telesnih poškodb in poškodb naprave. Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati.

  • Page 252: Shranjevanje

    Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -40 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) ...

  • Page 253: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Črpalka TwisTorr 74 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 74 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem. Embalaže ne odlagajte v okolje.
  • Page 254 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 254/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 255: Montaža

    Priročnik za Navodila Montaža Montaža SVARILO! Črpalka deluje z visoko rotacijsko hitrostjo. Ker črpalka brez krmilnika ne more delovati, jo morate pred zagonom namestiti. V primeru delovanja črpalke brez vezave na sistem so gibljivi deli prosto dostopni, kar lahko povzročiti hude poškodbe. SVARILO! Električni napajalni kabel krmilnika služi tudi za izklop električnega napajanja krmilnika in črpalke v primeru sile.
  • Page 256 Priročnik za Navodila Montaža Slika 2 Slika 3 256/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 257 Priročnik za Navodila Montaža To napravo lahko namestite le v zaprte prostore, v nobenem primeru pa je ne uporabljajte v prostorih, ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikome (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere;...

  • Page 258: Pritrditev Črpalke

    Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke Pritrditev črpalke SVARILO! Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 74 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 74 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 250 Nm okoli svoje osi.

  • Page 259: Uporaba Črpalke Twistorr 74 Fs

    Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS SVARILO! Poskrbite za pravilno uporabo naprave. Upravljavcu tega orodja svetujemo, da napravo uporablja v skladu z navodili iz tega priročnika. V primeru neupoštevanja navodil iz tega priročnika je zaščita, ki jo naprava zagotavlja, lahko okrnjena.
  • Page 260 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 74 FS Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom POZOR! delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).

  • Page 261: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 74 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 262: Odlaganje Opadkov

    Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...

  • Page 263: Instructions For Use

    TwisTorr 74 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols 267 Storage Preparation for installation 269 Installation Pump Fixing Use of TwisTorr 74 FS 275 Maintenance Disposal Original instructions 263/342...

  • Page 264: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.

  • Page 265: General Information

    Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
  • Page 266 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The warning messages are for attracting the attention of the operator to a WARNING! particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.

  • Page 267: Safety Symbols

    Instructions for Use General Information Safety Symbols SYMBOL SYMBOL DESCRIPTION The apparatus is marked with this symbol when the user should refer to the instruction manual in order to protect risk of harm to the operator and to protect the apparatus against damage. The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus.

  • Page 268: Storage

    Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -40 °C to 70 °C ...

  • Page 269: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TwisTorr 74 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TwisTorr 74 FS pump.
  • Page 270 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 X3502-64170, X3502-64171, X3502-64172, X3502-64173 270/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 271: Installation

    Instructions for Use Installation Installation WARNING! The pump is running at high speed. Please install the pump first before running it. Operating the pump without connecting it to your system gives access to the rotating parts which may cause heavy injuries. WARNING! The power cord of the controller is defined as disconnecting device in order to remove the power from the pump and the contoller in case of an emergency.
  • Page 272 Instructions for Use Installation Figure 2 Figure 3 272/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 273 Instructions for Use Installation Install this device indoors only, and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure;...

  • Page 274: Pump Fixing

    Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 74 FS can be installed in any position.

  • Page 275: Use Of Twistorr 74 Fs

    Instructions for Use Use of TwisTorr 74 FS Use of TwisTorr 74 FS Ensure the proper usage of the equipment. WARNING! The operator of this instrument is advised to use the equipment in a manner as specified in this manual. If the guidance of this manual is not followed, the protection provided by the equipment may be impaired.
  • Page 276 Instructions for Use Use of TwisTorr 74 FS Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the CAUTION! internal materials of the pump. When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases.

  • Page 277: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 74 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped rotating and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.

  • Page 278: Disposal

    Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Page 279: Technical Information

    TwisTorr 74 FS User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Pump Description Technical Specification TwisTorr 74 FS Outline 288 Interconnections 305 Earth (Ground) Connection 305 Connection C – Electrical 306 Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation 312 Water Cooling Kit Connection Vent Accessories 317 Vibration Isolator Installation...
  • Page 280 Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting 334 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 280/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 281: Description Of The Twistorr 74 Fs281

    The TwisTorr 74 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 74 FS pump models are: Model X3502-64170 with ISO 63 high vacuum flange;  Model X3502-64171 with KF40 high vacuum flange;...
  • Page 282 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Figure 5 Model X3502-64171 Figure 6 Model X3502-64172 282/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 283 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS Figure 7 Model X3502-64173 Pump Description The TwisTorr 74 pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Page 284 Technical Information Description of the TwisTorr 74 FS The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks. On each disk there are parallel spiral pumping channels designed to pump in centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side. These are made of aluminium alloy.

  • Page 285: Technical Specification

    Technical Information Technical Specification Technical Specification Max gas throughput: water cooling (ambient temperature=35°C; water temperature= 25°C; backing • pump 5 m3/h) air cooling (ambient temperature=35°C; backing pump 5 m3/h) • Tab. 3 Technical Specification Pumping speed ISO 63 / CFF 4.5” CFF 2.75”...
  • Page 286 Technical Information Technical Specification Inlet flange CFF 4.5" O.D. ISO 63 CFF 2.75” O.D. KF 40 Foreline flange KF16 NW Rotational speed 70000 rpm (1167 Hz driving frequency) Start-up time < 2 minutes Recommended forepump mechanical: Agilent DS 40M mechanical: Agilent DS 102 dry pump: Agilent IDP-3 dry pump: Agilent IDP-7 Operating position...
  • Page 287 Technical Information Technical Specification Weight kg (lbs): Pump ISO 63 2.05 kg Pump CFF 4.5’’ 3.50 Kg Pump KF 40 2.37 kg Pump CFF 2.75’’ 3.34 kg TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 287/342...

  • Page 288: Twistorr 74 Fs Outline

    Technical Information TwisTorr 74 FS Outline TwisTorr 74 FS Outline The following figures show the TwisTorr 74 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 8 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) 288/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 289 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 9 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 289/342...
  • Page 290 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 10 TwisTorr 74 FS CFF 4.5’’ (X3502-64172) 290/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 291 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 11 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 291/342...
  • Page 292 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 12 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) with air cooling kit 292/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 293 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 13 TwisTorr 74 FS CFF 4 ½ (X3502-64172) with air cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 293/342...
  • Page 294 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 14 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) with air cooling kit 294/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 295 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 15 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171)with air cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 295/342...
  • Page 296 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 16 TwisTorr 74 FS ISO 63 (X3502-64170) with water cooling kit 296/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 297 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 17 TwisTorr 74 FS CFF 4 ½ (X3502-64172) with water cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 297/342...
  • Page 298 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 18 TwisTorr 74 FS CFF 2.75’’ (X3502-64173) with water cooling kit 298/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 299 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 19 TwisTorr 74 FS KF 40 (X3502-64171) with water cooling kit TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 299/342...
  • Page 300 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 20 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 74 FS pump Figure 21 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 74 FS pump 300/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 301 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 22 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Nitrogen TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 301/342...
  • Page 302 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 23 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Argon 302/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 303 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 24 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 74 FS pump: Helium TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 303/342...
  • Page 304 Technical Information TwisTorr 74 FS Outline Figure 25 Graph of Iso Flow TwisTorr 74 FS pump: Hydrogen 304/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 305: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 74 FS interconnections. Figure 26 Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump body to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump body) using a green/yellow wire of size AWG 16.
  • Page 306 Technical Information Interconnections Connection C – Electrical Figure 27 The turbopump is connected to the controller through a 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pins A and F reserved for Agilent. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start.

  • Page 307: Soft Start

    Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 74 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default. To enable the “Soft Start”...

  • Page 308: Inlet Screen Installation

    Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 28 Model X3502-68000 308/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...
  • Page 309 Technical Information Inlet screen installation Figure 29 Model X3502-68001 The inlet screen models are the following; • X3502-68001 (ISO 63) • X3502-68000 (CFF 4.5’’) • 9699309 (KF 40) • 9699328 (CFF 2.75’’) TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 309/342...
  • Page 310 Technical Information Inlet screen installation prevent the rotor blades from being damaged by debris. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed as per following table: Reduction in pumping speed (%) X3502-68000 X3502-68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
  • Page 311 Technical Information Inlet screen installation The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 31 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring.

  • Page 312: Air Cooling Kit Installation

    Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation An air cooling kit (9699290) is available to improve the TwisTorr 74 FS cooling during operational conditions. Fan specifications: air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM)  input voltage: 24 Vdc ...
  • Page 313 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TwisTorr 74 FS pump bottom, proceed as follows (see figure below): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...

  • Page 314: Water Cooling Kit Connection

    Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection A water cooling kit is available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The model part numbers are: X3502-68002 (Metal), ...
  • Page 315 Technical Information Water Cooling Kit Connection Figure 35 Model X3502-68002 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 36 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 315/342...
  • Page 316 Technical Information Water Cooling Kit Connection The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.

  • Page 317: Vent Accessories

    Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve (9699844) allows to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
  • Page 318 Technical Information Vent Accessories Figure 38 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 318/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 319: Vibration Isolator Installation

    Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: model 9699375 for ISO 63 flange;  model 9699376 for CFF 4.5” flange. ...

  • Page 320: Purge Valve Installation

    Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the M12 screw from the purge port as shown in the following figure;...

  • Page 321: Twistorr 74 Fs On Board Controller Installation

    Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation The on board controller can be mounted in two position: bottom mounting (as per the complete system);  side mounting.  To install the controller proceed as described in the following procedures.
  • Page 322 Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Figure 40 Mounting 1 Side Mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N X3500-68006) is available as an option. See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket;...
  • Page 323 Technical Information TwisTorr 74 FS On Board Controller Installation Tighten the screws properly; Turn the pump up again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump.

  • Page 324: Connection Of The High Vacuum Flange

    Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange In the case the rotor is suddenly blocked, the torque arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed. Only the components listed in the following can be used to fasten the pump to the high vacuum flange.
  • Page 325 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 42 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 63 flange  Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 325/342...
  • Page 326 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ConFlat Flange (CFF 2 ¾) For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used). Figure 43 Installation of ConFlat Flange (CFF 4 ½) For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally...
  • Page 327 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 44 Installation for CFF 4,5” Figure 45 Installation for CFF 4,5” Use the required number of screws: 6 for CFF 2.75”  8 for CFF 4.5”  TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 327/342...
  • Page 328 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Attach the units and tighten each screw in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm. For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware.
  • Page 329 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange • Both flanges have through holes and nuts are tightened by the envelope flange. The nut can not rotate freely and it is mandatory to use a key to hold it while tightening the fixing screws. Figure 47 II Installation for CFF 4,5”...
  • Page 330 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange The screws must be inserted from the top flange while nuts must be fixed below CAUTION! the flange. 330/342 TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01...

  • Page 331: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 74 FS pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.

  • Page 332: Pump Used With Corrosive Gases

    Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
  • Page 333 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 49 Purge layout TwisTorr 74 FS User Manual / 87-901-053-01 333/342...

  • Page 334: Venting Procedure (Without Contaminants And/Or Corrosive Gases) - Manual Venting

    Technical Information Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the TwisTorr 74 FS pump. Close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber (if present).

  • Page 335: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.

  • Page 336: Accessories And Spare Parts

    Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 4 Accessories and spare parts Description Part Numbers Mains cable NEMA plug, 3 m long 9699958 Mains cable European plug, 3 m long 9699957 Serial cable and A-plus software 9699883 Inlet screen ISO63 X3502-68001...
  • Page 342 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

This manual is also suitable for:

Twistorr 74 fsX3502-64171X3502-64172X3502-64173