Edwards AIM-S-NW25 Instruction Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Edwards Manuals
  4. Measuring Instruments
  5. AIM-S-NW25
  6. Instruction manual
Edwards AIM-S-NW25 Instruction Manual

Edwards AIM-S-NW25 Instruction Manual

Active inverted magnetron gauge
Hide thumbs Also See for AIM-S-NW25:
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d'emploi
Active Inverted Magnetron Gauge/Aktiv-Penning-Meßröhren/Jauge active Magnétron inverse
Description
Beschreibung
Description
AIM-S-NW25
AIM-SL-NW25
AIM-X-NW25
AIM-XL-NW25
Original Instructions
Item Number
Bestellnummer
Numéro de Référence
D14641000
D14644000
D14642000
D14645000
D14641885
Issue L/Ausgabe L/Version L

Advertisement

Table of Contents
loading
Need help?

Need help?

Do you have a question about the AIM-S-NW25 and is the answer not in the manual?

Questions and answers

Subscribe to Our Youtube Channel

Related Manuals for Edwards AIM-S-NW25

Summary of Contents for Edwards AIM-S-NW25

  • Page 1 D14641885 Issue L/Ausgabe L/Version L Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d’emploi Active Inverted Magnetron Gauge/Aktiv-Penning-Meßröhren/Jauge active Magnétron inverse Description Item Number Beschreibung Bestellnummer Description Numéro de Référence AIM-S-NW25 D14641000 AIM-SL-NW25 D14644000 AIM-X-NW25 D14642000 AIM-XL-NW25 D14645000 Original Instructions...
  • Page 2 This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche...

  • Page 3: Table Of Contents

    Mesures de pression ......19 Druckmessung ........19 Point de consigne ......21 Maintenance ......23 Sollwert ......... 21 Entretien ......23 Introduction ........23 © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page i Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 4 HS figurant à la fin de ce manuel. Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden. Page/Seite/Page ii © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 5 Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, R.-U. Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, UK. Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page iii Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 6 D14641885 Issue L/Ausgabe L/Edition L This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page iv © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 7: Section 1 Introduction

    Ce manuel présente les consignes de montage, maintenance instructions for the Edwards AIM Gauge und Wartungsanleitungen für die Edwards-Aktiv- d’exploitation et d’entretien de la jauge AIM Edwards (Active Inverted Magnetron Gauge). You must use the Penning-Meßröhren AIM. Verwenden Sie bitte die AIM (jauge active Magnétron inverse).

  • Page 8: Description

    EN61010, le symbole d'avertissement suivant figure également sur le produit : Ab August 2005 bietet Edwards seinen Edwards will offer European customers a europäischen Kunden einen A partir d'août 2005, Edwards proposera un recycling service. Wiederaufbereitungsservice an. service de recyclage à ses clients européens.
  • Page 9 Sollwertsignal handelt es sich um einen FET-Transistor- champ) activé lorsque la pression mesurée par la jauge that, if you use a Edwards AGC Controller or AGD Display, ausgang, der eingeschaltet wird, wenn der von der est inférieure à la pression pré-réglée. Vous pouvez the AIM Gauge set-point output signal is not used.
  • Page 10 3. Tube 4. Logement de l’aimant 5. Prise de raccordement du câble 6. Potentiomètre de point de consigne (sur l’extrémité de l’élément 1) 7. Prise de raccordement de la jauge AIM Page/Seite/Page 4 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 11: Gas Dependency

    Verfügung; bitte setzen Sie sich mit Ihrem Händler l’hélium et le gaz carbonique ; veuillez contacter votre oder Edwards direkt in Verbindung. fournisseur ou la société Edwards. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 5...
  • Page 12 D14641885 Issue L/Ausgabe L/Version L This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 6 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 13: Technical Data

    1 x 10 bis 1 x 10 mbar Pollution degree AIM-S/SL-NW25 1 x 10 à 1 x 10 mbar Verschmutzungsgrad AIM-X/XL-NW25 1 x 10 à 1 x 10 mbar Degré de pollution © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 7...
  • Page 14 Figure 2 – Dimensions (mm) Abbildung 2 – Abmaße (mm) Figure 2 – Dimensions (mm) 1. Clearance required for electrical cable 1. Freiraum für elektrisches Kabel 1. Espace requis pour le passage du câble électrique Page/Seite/Page 8 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 15: Electrical Data

    500 mV Niveau de déclenchement du point de consigne Bereich 1,8 bis 10,0 V Plage 1,8 à 10,0 V Minimale Lastimpedanz 200 k Charge minimum Hysterese 500 mV impédance 200 k © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 9...

  • Page 16: Error Monitoring

    Rostfreier Stahl (AISI 304 and 306).  Matériaux exposé au vide Soda lime glass.  Fluoroelastomer.  Acier inoxydable (AISI 304 and 306).  Kalknatronglas.  Fluoroélastomère.  Verre de chaux sodique.  Page/Seite/Page 10 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 17: Installation

    NW25 de la jauge AIM à une bride correspondante the body tube of the AIM Gauge (which will probably de votre système à vide. cause pressure measurement errors), we recommend © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 11...

  • Page 18: Electrical Connections

    EN61326 exige la présence d’un dispositif de with European Standards requires an in-line surge protection contre les surtensions (se reporter à la suppressor (please refer to Section 7.3) Section 7.3). Page/Seite/Page 12 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 19: Connect To Edwards Controllers Or Agd Display

    Controller oder ein AGD-Anzeigegerät ein Kabel mit Connectez la jauge AIM au contrôleur AGC ou à l’appareil Suitable cables are available from Edwards (refer to geeigneten Steckern verwenden. Geeignete Kabel liefert d’affichage à l’aide d’un câble terminé par les...
  • Page 20 3. Alimentation 4. Voltmètre 5. Relais CC (en option) 6. Diode de suppression de contre-FEM (enoption) 7. Contacteur d’activation de la jauge 8. Voltmètre (niveau de déclenchement du point de consigne) Page/Seite/Page 14 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.
  • Page 21 4.2). Si vous voulez mesurer le signal Sie den Widerstand zwischen Pin 4 und 5. d’identification de la jauge (pour identifier le type de jauge AIM), mesurez la résistance entre les broches 4 et 5. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 15...
  • Page 22 D14641885 Issue L/Ausgabe L/Version L This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 16 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 23: Operation

    Nicht in die Nähe von Herzschrittma- (Pacemakers), ordinateurs, cartes de chern, Computern, Kreditkarten und crédit et autres dispositifs sensibles aux anderen magnetisch empfindlichen interférences électromagnétiques. Geräten bringen. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 17...

  • Page 24: Enable And Disable The Aim Gauge

    7 à la broche 2 (ou à la masse). Pour désactiver (mettre hors circuit) cette jauge, supprimez le raccordement entre la broche 7 et la broche 2 (ou la masse). Page/Seite/Page 18 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 25: Pressure Measurement

    Pressure measurement Druckmessung Mesures de pression If you connected the AIM Gauge to a Edwards AGC Ist die AIM-Meßröhre an einen Edwards-AGC-Controller Si vous raccordez la jauge AIM à une électronique de controller or AGD display, the pressure measured by the oder ein AGD-Anzeigegerät angeschlossen, erscheint der...
  • Page 26 3.4 x 10 1.7 x 10 9.80 1.3 x 10 5.6 x 10 6.20 4.2 x 10 3.6 x 10 9.90 2.7 x 10 1.0 x 10 10.00 7.5 x 10 Page/Seite/Page 20 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 27: Set-Point

    Hinweis: Der Sollwert wird nicht verwendet, wenn die Remarque : Le point de consigne n’est pas utilisé Gauge to a Edwards AGC Controller or AGD AIM-Meßröhre an einen Edwards- AGC- lorsque vous branchez la jauge AIM à un Display. Controller oder -AGD-Anzeigegerät Contrôleur CAG ou à...
  • Page 28 Si c’est le wenn die Meßröhre abgeschaltet (d.h. cas, le signal de sortie du point de gesperrt) wird. consigne sera désactivé uniquement lorsque la jauge est mise sur arrêt (c’est- à-dire invalidée). Page/Seite/Page 22 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 29: Maintenance

    Consultez la Section Abschnitte enthalten eine ausführliche Beschreibung der suivante qui présente des détails sur les procédures Wartungs- verfahren, die nur nach Bedarf auszuführen d’entretien que vous devrez réaliser aux intervalles sind. prévus. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 23...

  • Page 30: Replace The Body Tube

    Vakuumflansch aus gesehen) drehen, um den l’ensemble depuis la bride de connexion au vide) Bajonettverschluß zu schließen (wie durch Pfeil C afin de bloquer le raccord à baïonnette (comme gezeigt). indiqué par la flèche C). Page/Seite/Page 24 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 31: Refit The Aim Gauge To The Vacuum System

    Meßröhrenkörper (5) einsetzen; auf korrekte Orientierung der Anodengruppe achten. 6. Mettez en place le joint torique (4) neuf et l’ensemble anode (3) neuf dans le tube (5). Assurez- © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 25...
  • Page 32 4. O-Ring 5. Meßröhrenkörper 6. Katodenplatte 7. Katodenrohr 8. Sprengring 1. Logement de l’aimant 2. Collier 3. Ensemble anode 4. Joint torique 5. Tube 6. Plaque cathodique 7. Tube cathodique 8. Circlip Page/Seite/Page 26 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 33: Replace The Electronics And Magnet Housing

    2 et 3 de l’alinéa 5.2.2. Remontez la jauge AIM sur le système à vide, comme indiqué à la Section 5.2.3. © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 27...

  • Page 34: Clean The Internal Components

    8. Die Komponenten wie in den Schritten 5 bis 8 des Abschnittes 5.3 beschrieben ins Magnetgehäuse 8. Remontez les composants dans le logement de einbauen. l’aimant, comme indiqué aux opérations 5 à 8 de la Section 5.3. Page/Seite/Page 28 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 35: Fault Finding

    électriques sont corrects (voir suitable for the AIM Gauge (refer to Section Meßröhre geeignet ist (siehe Abschnitt Section 3) et assurez-vous que votre tension d’alimentation convient bien à la jauge AIM (voir la Section © Edwards Limited 2020. All rights reserved. Page/Seite/Page 29...
  • Page 36 D14641885 Issue L/Ausgabe L/Version L This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 30 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

  • Page 37: Storage And Disposal

    Kabel wiederaufbereiten: Wenden Sie sich zur Beratung Vous pouvez également recycler le produit et/ou les advice (also see below). an Edwards oder an den Fachhändler (siehe auch unten). câbles. Consultez Edwards ou votre fournisseur (voir également ci-dessous). The Product and associated cables and ion gauges are Dieses Produkt und die zugehörigen Kabel sowie die...

  • Page 38: Return The Equipment Or Components For Service

    Components – Procedure HS1. Download the latest documents from www.edwardsvacuum.com/HSForms/, follow the procedure in HS1, fill in the electronic HS2 form, print it, sign it, and return the signed copy to us. Page/Seite/Page 32 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.
  • Page 39 Vertragshändler. Geben Sie bei der Commandez les pièces de rechange et les accessoires en Bestellung bitte für jedes bentigte Teil an: vous adressant à la société Edwards ou au distributeur Model and Item Number of your equipment  Edwards le plus proche. Lors de la passation de Modell- und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung...

  • Page 40: Spares And Accessories

    D14641885 Issue L/Ausgabe L/Version L This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 34 © Edwards Limited 2020. All rights reserved.

This manual is also suitable for:

Aim-sl-nw25Aim-x-nw25Aim-xl-nw25D14641000D14644000D14642000 ... Show all

Table of Contents