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スケールユニット / Scale Unit / Maßstabseinheit BS78 お買い上げいただき、ありがとうございます。 ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。 ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。 お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。 Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them. Keep the manual for future references. Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen.
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Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...
20 °Cと異なる温度環境でご使用になる場合 使用温度が20 °Cと異なる場合には,次のように補正値の修正を行なうことにより,温度補正を 行なうことができます。使用温度が23 °Cの場合の例を示します。 z x c v 例) 補正値ラベルに示された補正値が の場合 z x c v z x / b −6 0.1379 × {1 + (23−20) × (−0.7 × 10 )} = 0.1379 20 °Cとの温度差 スケールの温度膨張係数 (18ページ参照) z x / b 温度補正後の補正値は となります。この値をセットしてください。 2-3-2. 補正値のセット方法 デテクタ (BD60/95シリーズ) 取扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。 注意 デテクタ (BD60シリーズ) の補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態ではア ラームが出力されご使用になれません。必ずスケールの補正値を正しく設定してからご使用くだ さい。 また,補正のないデテクタの場合は,分解能の計算が必要ですので各デテクタの取扱説明書をご 覧ください。 BS78...
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Safety Precautions Magnescale Co., Ltd. products are designed in full consideration of safety. However, improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fire, electric shock or other accidents resulting in serious injury or death. In addition, these actions may also worsen machine performance.
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Failure to do so may result in fire or accidents. • When turning on the power supply or other sources of drive power to operate the machine, take care not to catch your fingers in peripheral machines and devices. BS78...
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RADIATION WHEN OPEN. AVOID CERTIFICATION DIRECT EXPOSURE TO BEAM. PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. Magnescale Co., Ltd. 45 Suzukawa, Isehara-shi, Kanagawa 259-1146, Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co., Ltd. ∗...
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• Do not pull at the cable forcibly or bend it excessively. (Bending radius (inside): 50 mm or more) • Use the BS78 approximately 10 minutes after power is supplied to the unit, when the temperature of the detector head reaches a stable state.
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Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...
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1. Overview ................1 Introduction ........................ 1 1-1. Features ......................1 1-2. Model Names ....................1 1-3. BS78 Configuration and Names of Parts ............2 2. Mounting Precautions ............3 2-1. When Mounting ....................3 2-2. Mounting Requirements .................. 3 2-3.
1. Overview Introduction The BS78 is a high-precision, high-resolution scale that has an optical head with a semiconductor laser for reading a high-resolution hologram scale. 1-1. Features • High-resolution scale with signal wavelength of 0.1379 µm that out-performs light wave interferometer systems.
1-3. BS78 Configuration and Names of Parts Connector plug Scale Reference plate Mounting screw Detector head Scale clamp Head cable Spacer Cable clamp Compensation value label Compensation value label Scale (measuring length: 10 mm) Scale (measuring length: 40 mm or more) Fig.
Be sure to set the detector to the correct compensation value of the scale before operation. In addition, the resolution must be calculated for detectors that do not perform compensation, so refer to the detector instruction manual. BS78...
1. Check the mounting surface range (the shaded sections in the figure) and accuracy. 2. Check the accuracy of the mounting screw coordinates. 3. The BS78-N/NS has been designed for mounting on either side. The dimensions shown in parentheses in the figure below illustrate the case when right-protruding cables are used. Contact Magnescale Co., Ltd.
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2-M3 depth: 6 (0.24") 47 (1.850") Detector head mounting surface Rmax = 12.5S (500 µinch) Unit: mm (inch) Note: “M” refers to the machine guide. Fig. 3-3 BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS L2 (±1) (±0.04") Model BS78-120N/NS/R/RS 148 (5.83") or more 50 (1.969") BS78-170N/NS/R/RS 198 (7.80") or more...
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BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS Model BS78-270N/NS/R/RS 298 (11.74") or more BS78-320N/NS/R/RS 348 (13.70") or more 40 ±0.2 (1.575" ±0.008") 100 ±1 (3.94" ±0.04") 100 ±1 (3.94" ±0.04") 10-M4 depth: 6 (0.24") 88 ±0.3 ±0.011") (3.465" 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 Scale mounting surface ±0.008")
Note: “M” refers to the machine guide. Fig. 3-7 3-2-2. BS78-40N/NS/R/RS to 420N/NS/R/RS Check that there is no dust or other foreign substances on the mounting surface, and mount the reference plate parallel to the machine guide as shown in the figure. (Fastening torque: 1.4 N · m) The reference hole is located on the left, as shown in the figure.
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Attach the scale clamps loosely (1 or 2 full turns looser than the semi-tightened position) by using the mounting screws, as shown in the figure. BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS × × Plain washer (nominal 4) Plain washer (nominal 4) Scale clamp...
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A and B of the scale clamp indicated in the figure. (Use only the left-side scale clamp for clamps with two screws, and use the center scale clamp for clamps with three screws.) (Final fastening torque: 1.4 N · m) BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Fig. 3-12 When pressing the scale against the reference surface, lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9.8 N or less as shown in Fig.
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Secure the remaining scale clamps by gradually and alternately tightening screws A and B. (Use only the right-side scale clamp for clamps with two screws, and use the right-side and the left-side scale clamps for clamps with three screws.) (Final fastening torque: 1.4 N · m) BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Fig.
Move the machine table and adjust the mounting position of the detector head to roughly the center of the scale. Use the supplied mounting screws to semi-tighten the detector head. Detector head mounting screw × 30 hex. socket-head cap screw) Scale Plain washer Scale clamp (nominal 3) Scale Reference plate Detector head Detector head Fig. 3-16 BS78...
3-4. Signal Adjustment 3-4-1. Signal Adjustment Preparations Check that the detector is turned off. Connect the detector (BD series) to the BS78 scale unit. Remove the protective cap from the connector plug of the scale unit, and connect the connector plug to the HEAD IN terminal of the detector.
If the output of 1.6 Vp-p cannot be obtained even through repeated adjustment, recheck the mounting surface accuracy of the scale and detector head (refer to pages 5 to 7), and check again that there is no dirt on the scale’s surface. Lissajous BS78 Fig. 3-20...
• Before using the scale to perform measurements, allow the scale to set for about three hours after mount- ing so that the secured parts can stabilize and the ambient temperature around the scale can stabilize. Scale × small screw Cable clamp Fig. 3-21 BS78...
3-6-3. Speed Variation During Reference Point Detection To attain the designated accuracy (±0.1 µm), speed should be kept constant during reference point detection. Any speed variation should be limited to less than 0.2 mm/s. The maximum detection speed is 100 mm/s. BS78...
446 (17.56") 23 (0.91") (1.97") (1.97") (1.97") (1.97") Error ±1 Unit: mm (inch) 246 (9.69") Fig. 3-24 Deletion of reference point quantity when the reference point is changed or when a vacuum is used is available as a special specification. BS78...
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Sicherheitsmaßnahmen Bei dem Entwurf von Magnescale Co., Ltd. Produkten wird größter Wert auf die Sicherheit gelegt. Unsachgemäße Handhabung während des Betriebs oder der Installation ist jedoch gefährlich und kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können. Darüber hinaus kann falsche Anwendung die Leistung der Maschine verschlechtern.
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• Schalten Sie vor Arbeiten an der Maschine unbedingt die Stromzufuhr und andere Antriebsstromquellen aus. Anderenfalls besteht Brand- oder Unfallgefahr. • Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw. zum Betrieb der Maschine darauf, daß Sie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen. BS78...
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RADIATION WHEN OPEN. AVOID CERTIFICATION DIRECT EXPOSURE TO BEAM. PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE. Magnescale Co., Ltd. 45 Suzukawa, Isehara-shi, Kanagawa 259-1146, Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co., Ltd. ∗...
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• Unterlassen Sie gewaltsames Ziehen oder übermäßiges Biegen des Kabels. (Biegeradius (innen): mindestens 50 mm) • Warten Sie vor Benutzung der Maßstabseinheit BS78 ungefähr 10 Minuten nach dem Einschalten der Stromzufuhr, bis sich die Temperatur des Detektorkopfes stabilisiert hat. • Die Maßstabseinheit BS78 ist ein Präzisions-Meßinstrument. Behandeln Sie sie mit äußerster Sorgfalt, damit sie keinen starken Erschütterungen ausgesetzt wird.
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Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...
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1. ÜBERBLICK ............... 1 Vorwort ........................1 1-1. Merkmale ......................1 1-2. Modellbezeichnungen ..................1 1-3. BS78-Konfiguration und Bezeichnung der Teile ..........2 2. VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE ....3 2-1. Während der Montage ..................3 2-2. Montageanforderungen ................... 3 2-3.
1. ÜBERBLICK Vorwort Beim Modell BS78 handelt es sich um einen hochpräzisen, hochauflösenden Maßstab, der einen optischen Kopf mit einem Halbleiterlaser zum Ablesen einer hochauflösenden Hologrammskala besitzt. 1-1. Merkmale • Hochauflösender Maßstab mit einer Signalwellenlänge von 0,1379 µm, der Lichtwellen-Interferometer- Systeme übertrifft.
1-3. BS78-Konfiguration und Bezeichnung der Teile Anschlußstecker Bezugsplatte Maßstab Befestigungsschraube Detektorkopf Maßstabsklammer Kopfkabel Abstandsstück Kabelklemme Kompensationswertaufkleber Kompensationswertaufkleber Maßstab (Meßlänge: 10 mm) Maßstab (Meßlänge: 40 mm oder mehr) Abb. 1-1 BS78...
Warnton, und die Einheit ist funktionsunfähig. Stellen Sie daher den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den korrekten Kompensationswert des Maßstabs ein. Außerdem muß für Detektoren, die keine Kompensation durchführen, die Auflösung berechnet werden. Schlagen Sie daher in der Gebrauchsanweisung nach. BS78...
1. Überprüfen Sie die Größe (schraffierte Teile in der Abbildung) und Genauigkeit der Montagefläche. 2. Überprüfen Sie die Genauigkeit der Befestigungsschrauben-Koordinaten. 3. Das Modell BS78-N/NS ist für beidseitige Montage ausgelegt. Die in der nachstehenden Abbildung in Klammern angegebenen Maße gelten für den Fall, daß nach rechts überstehende Kabel verwendet werden.
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Detektorkopf-Montagefläche 2-M3 Tiefe: 6 Detektorkopf-Montagefläche Rmax = 12,5S Einheit: mm Hinweis: M“ bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn. ” Abb. 3-3 BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS L2 (±1) Modell BS78-120N/NS/R/RS 148 oder mehr BS78-170N/NS/R/RS 198 oder mehr BS78-220N/NS/R/RS 248 oder mehr 8-M4 Tiefe: 6 Maßstab-Montagefläche...
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BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS Modell BS78-270N/NS/R/RS 298 oder mehr BS78-320N/NS/R/RS 348 oder mehr 10-M4 Tiefe: 6 100 ±1 40 ±0,2 100 ±1 88 ±0,3 Maßstab-Montagefläche 25 ±0,2 25 ±0,2 25 ±0,2 25 ±0,2 (15) Rmax = 6,3S 0,01 0,01 9,8 ±0,2 (20,7 ±0,2) Maßstab-Montagefläche...
M“ bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn. ” Abb. 3-7 3-2-2. BS78-40N/NS/R/RS bis 420N/NS/R/RS Vergewissern Sie sich, daß weder Staub noch andere Fremdkörper an der Montagefläche haften, und montieren Sie die Bezugsplatte parallel zur Maschinenführungsbahn, wie in der Abbildung gezeigt. (Anzugsmoment: 1,4 N · m) Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite, wie in der Abbildung gezeigt.
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Befestigen Sie die Maßstabsklammern provisorisch (1 oder 2 ganze Umdrehungen weniger als die halb angezogene Position) mit den Befestigungsschrauben, wie in der Abbildung gezeigt. BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS × × Unterlegscheibe Unterlegscheibe (Nennmaß 4) (Nennmaß 4) Maßstabsklammer Maßstabsklammer Bezugsplatte Bezugsplatte...
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Abbildung mit A und B gekennzeichneten Schrauben der Maßstabsklammer schrittweise und abwechselnd an. (Verwenden Sie nur die linke Maßstabsklammer für Klammern mit zwei Schrauben, und die mittlere Maßstabsklammer für Klammern mit drei Schrauben.) (Endanzugsmoment: 1,4 N · m) BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Abb. 3-12 Wenn Sie den Maßstab gegen die Bezugsfläche drücken, üben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen...
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Schrauben A und B. (Verwenden Sie nur die rechte Maßstabsklammer für Klammern mit zwei Schrauben, und die rechte und linke Maßstabsklammer für Klammern mit drei Schrauben.) (Endanzugsmoment: 1,4 N · m) BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Abb. 3-14 Ziehen Sie die Maßstabsklammern an beiden Enden des Maßstabs mit dem gleichen Anzugsmoment...
Verschieben Sie den Maschinentisch, und stellen Sie die Montageposition des Detektorkopfes ungefähr auf die Mitte des Maßstabs ein. Ziehen Sie den Detektorkopf mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben provisorisch an. Detektorkopf-Befestigungsschraube × (Inbusschraube M3 Maßstab Unterlegscheibe (Nennmaß 3) Maßstabsklammer Maßstab Bezugsplatte Detektorkopf Detektorkopf Abb. 3-16 BS78...
3-4-1. Vorbereitung zur Signaleinstellung Stellen Sie sicher, dass der Detektor ausgeschaltet ist. Schließen Sie den Detektor (BD-Serie) an die Maßstabseinheit BS78 an. Nehmen Sie die Schutzkappe vom Anschlußstecker der Maßstabseinheit ab, und schließen Sie den Anschlussstecker an den Eingang HEAD IN des Detektors an.
Falls trotz wiederholter Einstellung keine Ausgabe von 1,6 Vs-s erzielt werden kann, überprüfen Sie die Genauigkeit der Montagefläche von Maßstab und Detektorkopf (siehe die Seiten 5 bis 7), und vergewissern Sie sich erneut, daß kein Schmutz an der Oberfläche des Maßstabs haftet. Lissajous Abb. 3-20 BS78...
• Bevor Sie den Maßstab für Messungen benutzen, lassen Sie ihn nach der Montage etwa drei Stunden lang ruhen, damit sich die befestigten Teile stabilisieren können und die Umgebungstemperatur des Maßstabs sich normalisieren kann. Maßstab × Kleine Schraube (M4 Kabelklemme Abb. 3-21 BS78...
3-6-3. Geschwindigkeitsschwankungen während der Bezugspunkterfassung Um die vorgeschriebene Genauigkeit (±0,1 µm) zu erzielen, sollte die Geschwindigkeit während der Bezugspunkterfassung konstant gehalten werden. Geschwindigkeitsschwankungen sollten auf einen Wert von maximal 0,2 mm/s begrenzt werden. Die maximale Erkennungsgeschwindigkeit beträgt 100 mm/s. BS78...
3-6-4. Bezugspunktposition Die Bezugspunkte sind in 50-mm-Abständen angeordnet. Unten angegeben sind die Bezugspunkte für bestimmte Meßlängen. Fehler ±1 Einheit: mm Fig. 3-24 Die Löschung der Bezugspunktmenge im Falle einer Bezugspunktänderung oder bei Unterdruckanwendung ist als Sonderspezifikation erhältlich. BS78...
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Co., Ltd. et sont destinées exclusivement à l'usage des acquéreurs de l'équipement décrit dans ce manuel. Magnescale Co., Ltd. interdit formellement la copie de quelque partie que ce soit de ce manuel ou son emploi pour tout autre but que des opérations ou entretiens de l'équipement à...
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所 w 本書に基づく保証は、本商品の修理に限定するもの とし、それ以外についての保証はいたしかねます。 お買上げ日 年 月 日 保 期 x 保証期間内でも、次の場合は有償修理となります。 証 間 本 体 1 年 q 火災、地震、水害、落雷およびその他天災地変によ る故障。 型 BS78 w 使用上の誤りおよび不当な修理や改造による故障。 名 e 消耗品および付属品の交換。 r 本書の提示が無い場合。 t 本書にお買い上げ日、お客様名、販売店名等の記入 お買上げ店住所・店名 が無い場合。(ただし、納品書や工事完了報告書が ある場合には、その限りではありません。) c 離島、遠隔地への出張修理および持込修理品の出張修理 については、出張に要する実費を別途申し受けます。 v 本書は日本国内においてのみ有効です。 印 電話 - - b 本書の再発行はいたしませんので、紛失しないよう大切...