高真空フランジの接続 - Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User Manual

高真空フランジの接続
もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空
フランジを留めているハードウェアにより吸収されなければいけませ
ん。
ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけま
せん。
必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法
警告!
でポンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、
材料、ボルト、ボルトの固定トルクに注意してください。
高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください
≥ 8.8。
もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空
警告!
チェンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に
305-IC がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフ
ランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切
な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いませ
ん。
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
使用方法
高真空フランジの接続
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