ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン - Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User Manual

ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらロー
ターのt特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネ
ルギーを含有します。
ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが
固定されているどの部分へも放出されています。
装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載さ
警告!
れた取り付けの指示に厳密に従ってください！
TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
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使用方法
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