前真空泵的连接 - Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User Manual

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使用说明
前真空泵的连接
前真空泵的连接
应使用 TwisTorr 305-IC 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵
的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须
使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。
TwisTorr 305-IC 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，建
注意
议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗
粒回流。
156/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01