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V a c u u m I n s t r u m e n t s VSM77D, VSM78D, VSM79D VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...
1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSM unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun- gen;...
2 Vakuum Transmitter VSM 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSM77D, VSM78D, VSM79D, VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh- ne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören:...
2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Transmitter VSM dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me- dien im Bereich 5,0x10 - 1000 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeige- gerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden. Das analoge Mess-Signal 1,82 V - 8,6 V ist dabei über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.
3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Starkes Magnetfeld! Das Gerät enthält starke Permanentmagnete. Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C ... +60 C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 C, max. 50% bei 40 C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-...
Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien führen! 3.3 Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Transmitter an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeigne- tes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Transmitters niemals mit Spannung führendem Ka- bel herstellen! Stecker am Transmitter einstecken und mit Schrauben sichern.
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Transmitter kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Span- nungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Sub-D, 15polig, männlich Pin1: Identifikation: 33 k Pin2: Signal Output 0-10 VDC Pin3: AGND Pin4:...
4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Transmitter VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisen- sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem Kaltkathoden-Ionisationssensor (invertiertes Magnetron). Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü- ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken- spannung ist ein Maß...
4.2 Bedienung des VSM Die Status-LED des VSM signalisiert folgende Betriebszustände: Die Schaltpunkt LEDs leuchten, sobald das zugehörige Relais angezogen ist. Die Modelle VSM77DL, VSM78DL und VSM79DL verfügen zudem über eine gelb hinterleuchtete LCD Anzeige. Diese zeigt den aktuell gemessenen Ist-Druck. Liegt ein Fehler im Betrieb des Transmitters vor, wird dies durch ein rot hinterleuch- tetes Display signalisiert.
Anzeigeeinheit und Display-Orientierung können per Softwarekommando geän- dert werden, siehe hierzu Abschnitt 5.5. 4.3 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjustie- ren des Pirani-Sensors erforderlich machen.
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Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster »Adj« entfernen (1), dann mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den Taster drücken (2), bis die Status-LED schnell orange zu blinken beginnt. Nach 3 s ohne weiteren Tastendruck signalisiert langsames Blinken, dass der Transmitter nun nachjustiert werden kann.
Nachjustieren per Software-Kommando Siehe Abschnitt 5.7. 4.4 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSM ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 160 C keinesfalls überschreiten. Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen! VSM-RS485-200116...
Wert zwischen 1 und 16 einzustellen (2). Danach den Gummistopfen wieder ein- setzen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi- on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
5.2 Parameterübersicht Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Display Unit Display Orientation Relay 1...
5.3 Geräte-Parameter und Information Type of Device (TD): Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSM207 Product Name (PN): Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer) Serial Number Device (SD): Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head (SH): Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device (VD): Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware (VF): Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts...
5.4 Messwertabfrage Measurement Range (MR): Abfragen des Messbereichs Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M4: Abfragen des aktuell vom Kaltkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei aus- geschalteter Kaltkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben. 5.5 Displayfunktionen Display Unit (DU): Abfragen und Einstellen der für das LCD Display des Transmitters verwendeten...
5.6 Schaltpunkte Das VSM besitzt 2 unabhängige, potentialfreie Relais-Schalter. Diese sind als Um- schalter gemäß der in 3.3.2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss-Stecker nach außen geführt. Relay R1, R2: Die Relais können unabhängig voneinander für verschiedene Schaltmodi konfigu- riert werden, der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser Schaltmodi. Einstellung T[p1] F[p2]: Hier werden zwei Druckwerte T[p1] (true) und F[p2] (false) übertragen.
Die Einstellung T[p1] = F[p2] ist nicht erlaubt! Ein zu kleiner Ab- stand der beiden Schaltdrücke kann zum Flackern und zur Beschä- digung des Relais führen! Einstellung E: Relais zieht an bei Gerätefehler. Einstellung !E: Relais fällt ab bei Gerätefehler. Einstellung U: Relais zieht an bei Messbereichsunterschreitung.
5.8 Sensor Parameter Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST) Im VSM erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Kaltkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt. Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas- sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon- figuriert werden: »0«: Keine Wertangleichung, d.h.
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Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1 / C4) Das Mess-Signal des VSM ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem entsprechende Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt werden.
5.9 VacuGraph Software Die Software VacuGraph wurde speziell für den Einsatz mit Thyracont Messgerä- ten entwickelt und läuft auf den Betriebssystemen Windows, Linux, MacOS und Android. Sie ermöglicht neben dem Plotten und Speichern von Messdaten auch das be- queme Konfigurieren aller Geräteparameter.
1,0 V / »UR« via RS485 unterschritten Messgrenze) Mess-Signal < 0,5 V / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder »ERROR1« via RS485 / defekt Sensor ersetzen Status LED dauer-rot Access Code »7« via Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte RS485 Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSM-RS485-200116...
1 Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards, which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM;...
2.1 For Orientation These operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSM77D, VSM78D, VSM79D, VSM77DL, VSM78DL, VSM79DL. The article number can be found on the product’s type label. Technical modificati- ons are reserved without prior notification.
The VSM vacuum transducer is measuring total gas pressure in the range of 5.0x10 - 1000 mbar. The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in complian- ce with pin assignment.
3 Installation 3.1 Notes for Installation Strong magnetic field! The gauge contains strong permanent magnets. Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed! Installation location: Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms: Temperature: +5 C ... +60 C Rel.
3.3 Electrical Connection 3.3.1 Operation with Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used (see accessories). Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit! Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw.
3.3.2 Operation with other Supply and Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or volta- ge supplies. The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket Sub-D, 15-pole, male Pin1:...
4 Operation 4.1 General Measurement Principle The VSM vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani / Cold Cathode. The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum. A sensor filament in a Wheatstone circuit is heated to a constant temperature, so the bridge voltage is a measure for total gas pressure.
4.2 Operation of the VSM The status LED of the VSM signalizes the following operational states: The switchpoint LEDs are on when the related relay is activated. In addition models VSM77DL, VSM78DL and VSM79DL have an LCD with yellow backlight that displays the measured actual pressure. In case of an operation error or malfunction the display is illuminated by a red back- ground color.
Display unit and orientation can be changed by software command, see section 5.5. 4.3 Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24 V voltage supply in upright position, flange to the bottom. Other orientation, operation under different climatic conditi- ons, extreme temperature changes, ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor.
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For adjustment first remove the rubber cap above the »Adj« button (1), then press the pushbutton several times by means of a screwdriver or other suitable tool (2) until the status LED starts quickly flashing orange. After further 3 s a slowly fla- shing status LED signalizes that the transducer now can be readjusted by pushing the button once again.
Readjustment via Software Command See section 5.7. 4.4 Bake-Out When a bake-out of the vacuum chamber is performed with the VSM being moun- ted to the chamber, the temperature at the sensor flange must not exceed 160 C. The transducer’s voltage supply must be switched-off while the chamber is heated.
(2). Afterwards insert the rubber cap again. Communication telegrams are transmitted as ASCII text according to the Thyra- cont protocol version V2. Detailed information is provided in the separate descrip- tion »Thyracont Communication Protocol«. Download link: www.thyracont-vacuum.com/en/support/downloadcenter/ Interface Parameter: 9.6 / 14.4 / 19.2 / 38.4 / 57.6 / 115.2 kBd, 8 databits, 1 stopbit, no parity...
5.2 Survey of Commands Command Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 4 (Cold Cathode) Display Unit Display Orientation Relay 1...
5.3 Device Parameters and Information Type of Device (TD): Query of device type, e.g. VSM207 Product Name (PN): Query of product name (article number) Serial Number Device (SD): Query of device serial number Serial Number Head (SH): Query of sensor head serial number Version Device (VD): Query of the device’s hardware version Version Firmware (VF):...
5.4 Measurement Query Measurement Range (MR): Query measurement range of the gauge Measurement Value MV: Query current pressure measurement Measurement Value M1: Query current pressure measurement of the Pirani sensor Measurement Value M4: Query current pressure measurement of the cold cathode sensor. If the cold ca- thode sensor is switched off, error code »_ SEDIS«...
5.6 Switchpoints The VSM provides 2 independent, potential-free relay switchpoints. These are available as change-over switches at the connector according to the pin assi- gnment described in section 3.3.2. Relay R1, R2: The relays can be configured independently for various switching modes. The pa- rameter is used to query and set these switching modes.
Setting T[p1] = F[p2] ist not allowed! A gap between the thresholds being too small may result in flickering of the relay and can even cause damage to the relay! Setting E: Relay closes in case of a device error. Setting !E: Relay opens in case of a device error.
5.8 Sensor Parameters Sensor Transition (ST) By default the VSM performs a continuous transition between Pirani and cold ca- thode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out. In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process the following options can be configured by means of parameter »Sensor Transition«...
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Gas Correction Factor (C1 / C4) The measurement signal of the VSM depends on type and composition of the gas being measured. The unit is adjusted for N and dry air. For other gases the pres- sure display can be corrected below 0.1 mbar by setting correction factors for both sensor types.
5.9 VacuGraph Software VacuGraph software has been especially developed for use with Thyracont gauges and is compatible with operating systems Windows, Linux, MacOS and Android. VacuGraph features plotting and saving of measurement data as well as comfor- table configuration of all device parameters.
< 0.5 V / defective electronics or send unit for repair or »ERROR1« via RS485 / sensor replace sensor status LED cont. red access code »7« via error message / warning see separate RS485 documentation Thyracont Communication Protocol VSM-RS485-200116...
7 Technical Data Measurement principle heat conduction Pirani / cold cathode (inverted magnetron), depending on gas type Measuring range 1000 - 5.0x10 mbar (750 - 5.0x10 Torr) Max. overload 10 bar abs. Accuracy 1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading 10 ...
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Bake-out temperature max. 160 C at the flange (voltage supply switched-off) Voltage supply 20 - 30 VDC Power consumption max. 3 W, 0.8 W for relays and LCD Output signal 0 - 10 VDC, min. 10 k , measuring range 1.82 - 8.6 VDC, logarithmic Serial interface RS485: 9.6 ...
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