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Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
En este apartado se presentan los procedimientos operativos
principales. Antes de utilizar el sistema, realizar todas las conexiones
eléctricas y neumáticas.
Durante el calentamiento eventual de la cámara de vacío, la
temperatura en la brida de entrada no debe ser superior a 80 °C.
El operador debe asegurarse de programar la modalidad de
enfriamiento correcta (WIN 106): 1 para enfriamiento mediante agua
- 0 para enfriamiento por aire forzado (modalidad por default),
programando el mando serial WIN 106. Para mayor información,
consultar el anexo "Technical Information".
El operador debe asegurarse de programar la modalidad de
funcionamiento correcta de acuerdo con el gas que se desea bombear
bombear (WIN 157): 1 para N
(modalidad por default), programando el mando serial WIN 157. Para
mayor información, consultar el anexo "Technical Information".
¡ADVERTENCIA!
No poner en funcionamiento, por ningún motivo, la bomba, si la brida de
entrada no está conectada a la cámara de vacío o si no está cerrada con la
brida de cierre. No tocar la turbo-bomba y sus accesorios eventuales durante
las operaciones de calentamiento. La temperatura elevada puede provocar
daños a las personas.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
y gases más livianos - 0 para Argón
2
(A)
Manual de istrucciones
4
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