Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series User Manual

page of 228

/ 228
Contents
Table of Contents
Bookmarks

Available languages

Quick Links

Download this manual

Manuale di istruzioni

Bedienungshandbuch

Notice de mode d'emploi

Manual de istrucciones

Manual de istruções

Bedrijfshandleiding

Istrukstionsbog

Bruksanvisning

87-900-983-01 (E)

04/2011

Turbo-V 81-M

Models: 969-8901, 969-8902, 969-8903,

969-8904

Instruksjon manual

Ohjekäsikirja

Felhasználói kézikönyv

Podrecznik instrukcji

Návod k použití

Návod na obsluhu

Priročnik za navodila

User Manual

Table of Contents

Chapters

Summary of Contents for Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series

Page 1 Turbo-V 81-M Models: 969-8901, 969-8902, 969-8903, 969-8904 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-900-983-01 (E) 04/2011...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 3/228...
Page 4 Turbo-V 81-M 4/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 5: Table Of Contents
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione 19 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung 29 Vor der Installation 30 ...
Page 6 Contents Mode d’emploi 37 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38 Indications générales 39 Stockage 41 Preparation pour l’installation 42 Installation 43 Utilisation 46 Entretien 47 Mise au rebut 48 Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 ...
Page 7 Contents Preparação para a instalação 66 Instalação 67 Utilização 70 Manutenção 71 Eliminação 72 Bedrijfshandleiding 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 77 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86 ...
Page 8 Contents Bortskaffelse 95 Bruksanvisning 97 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information 99 Förvaring 100 Förberedelser för installation 101 Installation 102 Användning 104 Underhåll 105 Bortskaffning 106 Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108 Generell informasjon 109 Lagring 110 Klargjøre til installasjon 111 ...
Page 9 Contents Varastointi 120 Valmistelut asennusta varten121 Asennus 122 Käyttö 124 Huolto 125 Hävittäminen 126 11 Felhasználói Kézikönyv 127 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 128 Általános informáicó 129 Tárolás 130 Előkészítés telepítésre 131 Telepítés 132 Használat 135 Karbantartás 136 Megsemmisítés 137 12 Podrecznik Instrukcji 139 ...
Page 10 Contents Konserwacja 149 Przetworstwo odpadow 150 13 Návod k Použití 151 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152 Všeobecné informace 153 Uskladnění 154 Příprava k instalaci 155 Instalace 156 Použití 158 Údržba 159 Likvidace 160 14 Návod na Obsluhu 161 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162 ...
Page 11 Contents Splošne informacije 175 Shranjevanje 176 Priprava za montažo 177 Montaža 178 Uporaba 180 Vzdrževanje 181 Odlaganje opadkov 181 16 Instructions for Use 183 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 184 General Information 185 Storage 186 Preparation for installation 187 Installation 188 190 ...
Page 12 Contents Air cooling kit installation 207 Water Cooling Kit Installation 209 Vent Accessories 212 Vibration Isolator Installation 213 Typical Layout Diagram 214 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 219 Accessories and Spare Parts 220 Vent valve model Selection table 221 12/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 81-M User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/228...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C umidità...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 19: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Page 20 Istruzioni per l’uso Installazione Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-M devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controller Agilent e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo schema in "Technical Information"). I controller disponibili sono i seguenti: Rack controller 81-AG base: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990...
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione La Turbo-V 81-M non può essere fissata tramite la sua base. NOTA La Turbo-V 81-M appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
Page 22: Uso
Istruzioni per l’uso Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il sistema. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Page 23: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Le pompe della serie Turbo-V 81-M non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 24: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 25: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 81-M User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/228...
Page 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 27: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 28 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 29: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu...
Page 30: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Turbo-V 81-M wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 31: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Abbildung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Page 32 Gebrauchsanleitung Installation Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V 81-M dürfen nur mit einem der entsprechenden Controller Agilent verwendet werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in der „Technical Information“). Die verfügbaren Controller sind folgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538...
Page 33 Gebrauchsanleitung Installation Modell Turbo-V 81-M kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der Turbo-V 81-M gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
Page 34: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Page 35: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-M erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 36: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 37: Mode D'emploi
Turbo-V 81-M User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 37/228...
Page 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 39: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 40 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Page 41: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Page 42: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le Turbo-V 81-M est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 43: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à...
Page 44 Mode d’emploi Installation Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-M doivent être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus Agilent et doivent être reliées à une pompe primaire (voir le schéma sur "Technical Information"). Les contrôleurs disponibles sont les suivants: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990...
Page 45 Mode d’emploi Installation Le Turbo-V 81-M ne peut être fixé par sa base. NOTE Le Turbo-V 81-M appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à...
Page 46: Utilisation
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire attentivement ce manuel avant l’emploi. Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le système. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à...
Page 47: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 48: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 49 Turbo-V 81-M User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 49/228...
Page 50: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 51: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 52 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 53: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Page 54: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones.
Page 55: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. Figura 2 No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Page 56 Manual de istrucciones Instalación Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-M deben usarse exclusivamente con uno de los controladores Agilent y deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). Los controladores disponibles son los siguientes: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538...
Page 57 Manual de istrucciones Instalación El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.
Page 58: Uso
Manual de istrucciones En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba. Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el sistema. Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura en la brida de entrada no debe superar los 120 °C con acoplamiento ConFlat y los 80 °C con acoplamiento ISO.
Page 59: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 60: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 61: Manual De Istruções
Turbo-V 81-M User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/228...
Page 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Page 63: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 64 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Page 65: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C humidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante) ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o...
Page 66: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 81-M é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e para não submetêla a choques ou vibrações.
Page 67: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Page 68 Manual de Istruções Instalação As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 81-M devem ser utilizadas somente com um dos adequados controller Agilent e devem ser ligadas numa bomba primária (ver o esquema em "Technical Information"). Os controller disponíveis são os seguintes: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990...
Page 69 Manual de Istruções Instalação O Turbo-V 81-M não pode ser fixado através da sua base. NOTA O Turbo-V 81-M pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.
Page 70: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler com muita atenção este manual antes do uso. Para alcançar melhores pressões limite é possível aquecer o sistema. Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura na flange de ingresso não deve ser superior a 120 °C com flange ConFlat e a 80 °C com flange ISO.
Page 71: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção As bombas da série Turbo-V 81-M não necessitam de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 72: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 73: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 81-M User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/228...
Page 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 75: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 76 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 77: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend) de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-...
Page 78: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 81-M wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 79: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig...
Page 80 Bedrijfshandleiding Installatie De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-M moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden (zie schema in "Technical Information"). De beschikbare controllers zijn de volgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990...
Page 81 Bedrijfshandleiding Installatie De Turbo-V 81-M kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De Turbo-V 81-M behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information”...
Page 82: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen. Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden.
Page 83: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 84: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 85: Istruktionsbog
Turbo-V 81-M User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/228...
Page 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 87: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 88 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 89: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Page 90: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation Turbo-V 81-M leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 81-M ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 91: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Page 92 Istruktionsbog Installation De controller, som står til rådighed, er følgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-M kan installeres i en hvilken som helst position.
Page 93: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne manual før den anvendes. For at opnå bedre begrænsnings-tryk er det muligt at opvarme systemet. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må temperaturen på...
Page 94: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumperne i serien Turbo-V 81-M kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 95: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 96 Istruktionsbog Bortskaffelse 96/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 97: Bruksanvisning
Turbo-V 81-M User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/228...
Page 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 99: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 100: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången.
Page 101: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Turbo-V 81-M levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 81-M inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Page 102: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på...
Page 103 Bruksanvisning Installation Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på...
Page 104: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning. Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning. För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej temperaturen på...
Page 105: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Page 106: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 107: Instruksjon Manual
Turbo-V 81-M User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 107/228...
Page 108: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 109: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 110: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må...
Page 111: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 81-M leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 81-M pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 112: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må...
Page 113 Instruksjon Manual Installasjon Følgende styreenheter kan brukes: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-M kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 81-M i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på...
Page 114: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme opp pumpen. Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C for en ConFlat flens og 80 °C for en ISO flens.
Page 115: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 81-M pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 116: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 117: Ohjekäsikirja
Turbo-V 81-M User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 117/228...
Page 118: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 118/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 119: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 120: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää...
Page 121: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 81-M toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 81- Min putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Page 122: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Page 123 Ohjekäsikirja Asennus Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-M voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 81-M vakaaseen asentoon liittämällä...
Page 124: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti ennen käytön aloittamista. Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän. Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä imulaipan lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat laipoituksella ja 80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Page 125: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Sarjan Turbo-V 81-M pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 126: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 127: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 81-M User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 131 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 137 Az eredeti utasítás fordítása 127/228...
Page 128: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Page 129: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem megfelelő...
Page 130: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó...
Page 131: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A Turbo-V 81-Mt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Page 132: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. Ábra 2 Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő...
Page 133 Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 81-M széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a “Technical Information” (Technical Information) részben megadott rajzot). Az alkalmazható vezérlő egységek a következők: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990...
Page 134 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 81-M nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 81-M a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”.
Page 135: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet! A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C ConFlat típusú...
Page 136: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 81-M típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 137: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 138 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 138/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 139: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 144 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 139/228...
Page 140: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 141: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 142: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 143 Podrecznik Instrukcji Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 143/228...
Page 144: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 81-M jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Page 145: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Posta 2 Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Page 146 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i muszą być one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w "Technical Information "). Kontrolery będące w dyspozycji są następujące: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538...
Page 147 Podrecznik Instrukcji Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.
Page 148: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać wspomniane instrukcje. By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane zostało ewentualne nagrzanie systemu. Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej, temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać...
Page 149: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 150: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Page 151: 13 Návod K Použití
Turbo-V 81-M User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152 Všeobecné informace 153 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 151/228...
Page 152: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 153: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 154: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -20 °C až 70 °C Rozpětí...
Page 155: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Vývěva Turbo-V 81-M se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 156: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující...
Page 157 Návod k Použití Jsou k dispozici následující controllery: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Vývěvu Turbo-V 81-M lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu Turbo- V 81-M upevněte v nějaké...
Page 158: Použití
Návod k Použití Použití Použití Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla zahřát. Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na vstupní přírubě...
Page 159: Údržba
Návod k Použití Údržba Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 160: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 161: 14 Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 161/228...
Page 162: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Page 163: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 164: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...
Page 165 Návod na Obsluhu Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 165/228...
Page 166: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 167: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
Page 168 Návod na Obsluhu Inštalácia Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538...
Page 169: Použitie
Návod na Obsluhu Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 170: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla, sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto príručku pozorne preštudujte. Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém vyhriať. Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej prírube prekročiť...
Page 171: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Zar Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 172: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 173: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 81-M User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 173/228...
Page 174: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 175: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 176: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko.
Page 177: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Turbo-V 81-M je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 178: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Page 179 Priročnik za Navodila Primerni krmilniki so sledeči: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-M lahko montirate v številne pozicije. Turbo-V 81-M namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 250 Nm okoli svoje osi.
Page 180: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred uporabo. Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem. Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO.
Page 181: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Črpalke iz serije Turbo-V 81-M ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 182 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 182/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 183: Instructions For Use
Turbo-V 81-M User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 187 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 183/228...
Page 184: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 185: General Information
Instructions for Use General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 186: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 95 % (non condensing) the turbomolecular pumps must be always soft-started when...
Page 187: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation The Turbo-V 81-M is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 188: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Page 189 Instructions for Use The available controllers are the following: Rack controller 81-AG: 969-8988 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 The Turbo-V 81-M can be installed in any position. Fix the Turbo-V 81-M in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 250 Nm around its axis.
Page 190: Use
Instructions for Use All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual. Read carefully this manual before use the pump. To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C for a ConFlat flange and 80 °C for a ISO flange.
Page 191: Maintenance
Instructions for Use Maintenance The Turbo-V 81-M series pumps does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 192: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 193: Technical Information
Turbo-V 81-M User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Pump Description Technical Specification Turbo-V 81-M Outline Inlet Screen Installation Heater Band Installation Air cooling kit installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation Typical Layout Diagram With Navigator Controller With Standard Rack Controller Connection A - High Vacuum Flange 216...
Page 194: Description Of The Turbo-V 81-M
Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Description of the Turbo-V 81-M The Turbo-V 81-M pump is available in four versions. The difference among the four versions lies purely in the high vacuum connection. The four versions are: Model 969-8901 with ISO 63 high vacuum flange; Model 969-8902 with KF 40 NW high vacuum flange;...
Page 195 Technical Information Figure 4 Model 969-8902 Figure 5 Model 969-8903 Figure 6 Model 969-8904 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 195/228...
Page 196 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Proceeding from the high vacuum to the forevacuum region, the turbine stages sequence is: 1st stage with a blade angle of 40°, 2nd stage with a blade angle of 30°, 3rd stage with a blade angle of 24°, 4th and 5th stages with a blade angle of 18°, 6th stage with a blade angle of 14°;...
Page 197 Technical Information PUMP FOREPUMP CONNECTOR CONTROLLER CONNECTOR Figure 7 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 197/228...
Page 198: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed With ISO 63 or CFF With KF 40 NW or CFF 4.5” 2.75” : 77 l/s : 50 l/s He: 65 l/s He: 56 l/s : 50 l/s : 46 l/s Compression ratio : 3 x 10...
Page 199 Technical Information Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Storage temperature -20 °C to +70 °C Input 60 Vac, three phase, 1350 Hz (max) 50 W max Lubricant...
Page 200: Turbo-V 81-M Outline
Technical Information Turbo-V 81-M Outline Turbo-V 81-M Outline The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 Turbo-V 81-M outline 200/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 201 Technical Information Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m mechanical pump Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 201/228...
Page 202: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 11 Figure 12 The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
Page 203 Technical Information Figure 13 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 14 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 203/228...
Page 204 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). Figure 15 204/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 205: Heater Band Installation
Technical Information Heater Band Installation Figure 16 The heater band model 969-9801 and 969-9802 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80 °C.
Page 206 Technical Information Heater Band Installation Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure NOTE less than 10-4 mbar and with water cooling.
Page 207: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air cooling kit installation An air cooling kit (mod. 969-9290) is available for cooling the pump during heavy operational conditions and whenever the natural air convection is not sufficient. Figure 18 Fan specifications: air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM) input voltage: 24 Vdc dimensions: 60 x 60 x 25 mm power: 2.60 W...
Page 208 Technical Information Air cooling kit installation Figure 19 Figure 20 Figure 21 208/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 209: Water Cooling Kit Installation
Technical Information Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9823 (metallic model), and 969-9824 (plastic model).
Page 210 Technical Information Water Cooling Kit Installation The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The water kit is assembled as shown in the figure. Figure 24 210/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 211 Technical Information Connect the plate to the pump bottom with four screws M3x20. Figure 25 Assemble the metal or the plastic kit as shown. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.
Page 212: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. There are several vent valves available and each vent valve has to be driven by its own control unit.
Page 213: Vibration Isolator Installation
Technical Information Figure 27 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suita-ble connector on the controller. Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories.
Page 214: Typical Layout Diagram
Technical Information Typical Layout Diagram Typical Layout Diagram With Navigator Controller Figure 28 Turbo-V Navigator controller Vent valve Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional)
Page 215: With Standard Rack Controller
Technical Information With Standard Rack Controller Figure 29 Turbo-V standard rack controller Vent valve Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional)
Page 216: Connection A - High Vacuum Flange
Technical Information Typical Layout Diagram Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 30 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Page 217: Connection Configurations
Technical Information To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock.
Page 218: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Technical Information Typical Layout Diagram Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 219: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consump-tion by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool.
Page 220: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 3 Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen, DN 40 969-9309 Inlet screen, DN 63 969-9300 Heater band 220 V 969-9801 Heater band 120 V 969-9802 Metallic water cooling kit 969-9823 Plastic water cooling kit 969-9824...
Page 221: Vent Valve Model Selection Table
Technical Information Vent valve model Selection table Tab. 4 Vent valve model selection table CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo-V 81-AG Navigator Controller N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Turbo-V 81-AG Rack Controller N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Controller TV70 Navigator (P/N 969-8970, 969-8971) 969-9834 Turbo-V 70 Rack controller (P/N 969-9405, 969-9505)
Page 222 Technical Information Vent valve model Selection table 222/228 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)
Page 228 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

This manual is also suitable for:

Turbo-v 81-m 969-8903 Turbo-v 81-m 969-8901 Turbo-v 81-m 969-8902 Turbo-v 81-m 969-8904

Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series User Manual

Available languages

Quick Links

Chapters

Related Manuals for Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series

Summary of Contents for Agilent Technologies Turbo-V 81-M Series