Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User Manual
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Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000 User Manual

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TwisTorr 305-IC
Pump models: X3513-64000, X3513-64001, X3513-64002,
X3513-64003, X3513-64004, X3513-64005, X3513-64006,
X3513-64007, X3513-64016, X3513-64017, X3513-64018,
X3513-64019, X3513-64020, X3513-64021, X3513-64022,
X3513-64023, X3513-64024, X3513-64025, X3513-64026,
X3513-64027, X3513-64028, X3513-64029, X3513-64030,
X3513-64031
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
用户手册
ユーザーマニュアル
User Manual
87-901-058-01
12/2019

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Summary of Contents for Agilent Technologies TwisTorr 305-IC X3513-64000

  • Page 1: Twistorr 305-Ic Manuale Di Istruzioni

    TwisTorr 305-IC Pump models: X3513-64000, X3513-64001, X3513-64002, X3513-64003, X3513-64004, X3513-64005, X3513-64006, X3513-64007, X3513-64016, X3513-64017, X3513-64018, X3513-64019, X3513-64020, X3513-64021, X3513-64022, X3513-64023, X3513-64024, X3513-64025, X3513-64026, X3513-64027, X3513-64028, X3513-64029, X3513-64030, X3513-64031 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones 用户手册 ユーザーマニュアル...
  • Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2019 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
  • Page 3 TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 3/302...
  • Page 4 TwisTorr 305-IC Page intentionally left blank 4/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 5: Table Of Contents

    Contents Contents Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Simboli di Avvertenza Sicurezza Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Transporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione...
  • Page 6 Contents Soft Start Pulizia Smaltimento Servizio Post Vendita Gebrauchsanleitung Über dieses Handbuch Gültigkeit Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches...
  • Page 7 Contents Sanftanlauf Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Symboles d’avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipement de protection Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Transport et entreposage Description du produit Installation Préparation pour l’installation Configuration Montage du TwisTorr 305-IC...
  • Page 8 Contents Nettoyage Mise au rebut Service Instrucciones de Uso Acerca del manual Validez Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Símbolos de advertencia Seguridad Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Transporte y almacenamiento Descripción del producto Instalación Preparación para instalación...
  • Page 9 Contents Limpieza Eliminación Servicio 使用说明 关于这本手册 有效性 定义和术语 警告、警告和注释的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TwisTor 305-IC 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止 维护 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 9/302...
  • Page 10 Contents 转子寿命 慢启动 清洗 处置方式 服务 使用方法 このマニュアルについて 有効性 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 移送＆保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305-IC 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 TwisTorr 305-IC を停止する 10/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 11 Contents 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 ソフトスタート クリーニング 廃棄 サービス Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Warning Symbols Safety Proper Use Improper Use Protective equipment Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Transport & Storage Product description Installation Preparation for Installation...
  • Page 12 Contents Stopping the TwisTorr 305-IC Emergency stop Maintenance Rotor life Soft Start Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Technical Specification TwisTorr 305-IC Outline Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Vent Accessories...
  • Page 13 Contents How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller How to Connect the Controller Outputs RS485/RS232 communication description Windows Protocol Window Description NFC Function Screenshot APP Connection through USB plug Error messages Warning messages Accessories and Spare Parts TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 13/302...
  • Page 14 Contents Page intentionally left blank 14/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    TwisTorr 305-IC Manuale di istruzioni Istruzioni per l’uso Informazioni su questo Validità Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Simboli di Avvertenza Sicurezza Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Transporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione...
  • Page 16 TwisTorr 305-IC Manuale di istruzioni 16/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 17: Informazioni Su Questo Manuale

    Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305-IC, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Page 18: Definizioni E Terminologia

    Istruzioni per l’uso Definizioni e terminologia Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori contrastanti. AVVERTENZA!! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

  • Page 19: Simboli Di Avvertenza

    Istruzioni per l’uso Simboli di Avvertenza Simboli di Avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi TwisTorr 305-IC. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso sono i seguenti: Dichiarazione Europea di...
  • Page 20 Istruzioni per l’uso Simboli di Avvertenza Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale etichetta di avvertenza.

  • Page 21: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Page 22: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio di TwisTorr 305-IC. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ▪...

  • Page 23: Attrezzatura Di Protezione

    Istruzioni per l’uso Attrezzatura di protezione Attrezzatura di protezione L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
  • Page 24 Istruzioni per l’uso Attrezzatura di protezione Rischio di lesioni a causa di spigoli vivi ATTENZIONE! I rischi del rotore e dello statore delle turbopompe hanno bordi molto affilati. ➔ Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere per l’arresto completo della pompa.

  • Page 25: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Istruzioni per l’uso Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Le pompe turbomolecolari descritte nel seguente manuale contengono una grande quantità di energia cinetica dovuta all’elevata velocità di rotazione in combinazione con la massa specifica dei loro rotori. In caso di malfunzionamento di una parte meccanica della pompa, l’energia di rotazione può...

  • Page 26: Transporto & Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Transporto & Immagazzinamento Transporto & Immagazzinamento Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa: durante la spedizione, lo spostamento e lo stoccaggio delle pompe, non ▪...

  • Page 27: Descrizione Del Prodotto

    Istruzioni per l’uso Descrizione del prodotto Descrizione del prodotto Questa attrezzaura è destinata all’uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. TwisTorr 305-IC è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.

  • Page 28: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Preparazione per l’installazione TwisTorr 305-IC viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul 305-IC che potrebbero essere causati dalla sua caduta.
  • Page 29 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Imballo del TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 29/302...

  • Page 30: Apertura

    Istruzioni per l’uso Apertura Apertura Il 305-IC è un dispositivo elettronico sensibile alle scariche elettrostatiche e, per ATTENZIONE! questo motivo, viene fornito in una custodia protettiva con tappi sulla connessione USB oltre che sulla connessione DB15. Rimuovere questi cappucci protettivi solo quando si collega la pompa al controller. Non rimuovere l’adesivo e il cappuccio protettivo fino a quando non si è...
  • Page 31 Istruzioni per l’uso Apertura Installare questo dispositivo solo in ambienti chiusi e non utilizzare la pompa in un ambiente esposto ad agenti atmosferici (pioggia, ghiaccio, neve), polvere, gas aggressivi o in ambienti esplosivi o ad alto rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario rispettare le seguenti condizioni ambientali per evitare la condensa: pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica ▪...

  • Page 32: Riparazione Di Twistorr 305-Ic

    Istruzioni per l’uso Riparazione di TwisTorr 305-IC Riparazione di TwisTorr 305-IC AVVERTENZA! La mancata osservanza di queste istruzioni di installazione potrebbe comportare il distacco della pompa dal sistema in caso di guasto del rotore, con conseguenti danni materiali o lesioni gravi o mortali. TwisTorr 305-IC può...

  • Page 33: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    Istruzioni per l’uso Collegamento della flangia per alto vuoto Collegamento della flangia per alto vuoto Se il rotore si arresta improvvisamente, la coppia risultante deve essere assorbita dall’hardware che fissa la flangia dell’alto vuoto. I bulloni o l’hardware devono soddisfare le specifiche seguenti. AVVERTENZA! È...

  • Page 34: Installazione Della Flangia Iso-K

    Istruzioni per l’uso Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ISO-K Per i collegamenti della flangia ISO-K, fissare le due flange con i morsetti modello IC63250DCMZ o equivalenti, come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100...

  • Page 35: Installazione Della Flangia Conflat

    Istruzioni per l’uso Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Per i collegamenti delle flange ConFlat, fissare le due flange con le viti come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 4 Utilizzare il numero richiesto di viti: 16 per CFF 6”...

  • Page 36: Collegamento Della Pompa Del Vuoto Anteriore

    Istruzioni per l’uso Collegamento della pompa del vuoto anteriore Collegamento della pompa del vuoto anteriore La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita su TwisTorr 305-IC. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.

  • Page 37: Avvio E Funzionamento Di Twistorr 305-Ic

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Per accendere TwisTorr 305-IC tramite I controller di bordo, fornire alla pompa la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START” e “INTERLOCK”. Una volta riconosciuti questi segnali, il controller avvia la pompa. (1) Per trovare la posizione dei pin di ingresso della tensione di alimentazione NOTE (su IN/OUT e connettore di alimentazione), nonché...
  • Page 38 Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC AVVERTENZA! Lo stato della pompa verrà visualizzato dai 3 LED sul controller. SIMBOLO STATO LED TON/TOFF SIGNFICATO Verde Spento 305-IC OFF, stato: STOP/WAITING On, lampeggiante INTERLOCK/FAIL On, lampeggiante 305-IC ON, velocità target non ancora raggiunta, invers stato: STARTING (RAMP)/AUTO TUNING 305-IC ON, velocità...
  • Page 39 Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC (1) Nel caso in cui venga rilevato un malfunzionamento (LED rosso, ON luce NOTA fissa), la pompa non può girare dopo aver ricevuto il comando di avvio. L'utente può risolvere il motivo del malfunzionamento controllando i messaggi di errore tramite comunicazione seriale e facendo riferimento anche all'elenco delle azioni suggerite.

  • Page 40: Arresto Di Twistorr 305-Ic

    Istruzioni per l’uso Arresto di TwisTorr 305-IC Arresto di TwisTorr 305-IC Per arrestare 305-IC, non in emergenza, è necessario: a) se 305-IC è configurato in REMOTE MODE, e INTERLOCK è impostato su CONTINUOUS MODE, premere quindi i segnali “START” o “INTERLOCK”; b) se 305-IC è...

  • Page 41: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La manutenzione non è necessaria a meno che il LED giallo non sia acceso. Per verificare l'errore è possibile leggere il codice tramite connessione seriale. Se una pompa rimane ferma per un periodo di tempo prolungato, si consiglia di verificare visivamente la connessione DB15 per assicurarsi che sia priva di ossidazione.

  • Page 42: Soft Start

    Istruzioni per l’uso Soft Start Soft Start Per garantire una corretta lubrificazione dei cuscinetti, la pompa ha AVVERTENZA! un'impostazione predefinita chiamata soft start. Se la pompa è rimasta ferma per un periodo prolungato o all'avvio iniziale, il controller si avvierà automaticamente all'avvio graduale.

  • Page 43: Smaltimento

    Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo “WEEE” presente nelle etichette Il seguente simbolo viene applicato in conformità con la Direttiva CE WEEE (Rifiuti di apparecchiature elettriche ed elettroniche). Questo simbolo (valido solo nei paesi della Comunità europea) indica che il prodotto a cui si applica NON deve essere smaltito insieme ai normali rifiuti domestici o industriali ma deve essere inviato a un sistema di raccolta differenziata.

  • Page 44: Servizio Post Vendita

    Istruzioni per l’uso Servizio Post Vendita Servizio Post Vendita Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com È necessario completare il modulo di richiesta di restituzione per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale).

  • Page 45: Gebrauchsanleitung

    TwisTorr 305-IC Bedienungshandbuch Gebrauchsanleitung Über dieses Handbuch Gültigkeit Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe...

  • Page 46: Twistorr 305-Ic Bedienungshandbuch

    TwisTorr 305-IC Bedienungshandbuch 46/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 47: Über Dieses Handbuch

    Gebrauchsanleitung Über dieses Handbuch Über dieses Handbuch Gültigkeit In diesem Handbuch werden die Anweisungen für die Benutzer des TwisTorr 305-IC aufgeführt, insbesondere in Bezug auf die Begriffe zu Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, der auf die vom Benutzer zu verantwortenden Wartungsarbeiten beschränkt sind.

  • Page 48: Begriffsbestimmungen Und Terminologie

    Gebrauchsanleitung Begriffsbestimmungen und Terminologie Begriffsbestimmungen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis In dieser Gebrauchsanleitung werden wichtige Sicherheitshinweise folgendermaßen farblich hervorgehoben. WARNUNG!! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf VORSICHT!

  • Page 49: Warnsymbole

    Gebrauchsanleitung Warnsymbole Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305-IC angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt: Europäische...
  • Page 50 Gebrauchsanleitung Warnsymbole Das folgende Symbol kann auf am Gerät angebrachten Warnschildern verwendet werden. Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Netz einschalten Wenn rot, bedeutet dies eine Fehlfunktion Wenn gelb, bedeutet dies eine Warnung...

  • Page 51: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Page 52: Unsachgemäße Verwendung

    Gebrauchsanleitung Unsachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305-IC ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ▪...

  • Page 53: Schutzausrüstung

    Gebrauchsanleitung Schutzausrüstung Schutzausrüstung Die Schutzausrüstung der Bediener, die das Pumpensystem bedienen oder warten, muss immer für die Art des auszuführenden Vorgangs geeignet sein. Darüber hinaus muss es den Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem 305-IC und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen.
  • Page 54 Gebrauchsanleitung Schutzausrüstung Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten VORSICHT! Rotor- und Statorscheiben von Turbopumpen haben sehr scharfe Kanten. ➔ Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. ➔...

  • Page 55: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Gebrauchsanleitung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Turbomolekularpumpen, wie sie in der folgenden Betriebsanleitung beschrieben sind, enthalten aufgrund der hohen Drehzahl in Kombination mit der spezifischen Masse ihrer Rotoren eine große Menge kinetischer Energie. Bei einer Funktionsstörung eines mechanischen Teils der Pumpe kann die Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist.

  • Page 56: Transport Und Lagerung

    Gebrauchsanleitung Transport und Lagerung Transport und Lagerung Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Beim Versand, Transport und der Lagerung von Pumpen sollten die ▪ folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Temperaturbereich: Von -40 °C bis 70 °C ▪...

  • Page 57: Produktbeschreibung

    Gebrauchsanleitung Produktbeschreibung Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305-IC ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max.

  • Page 58: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Installation Vorbereitung zum Einbau TwisTorr 305-IC wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den 305-IC, die durch Herunterfallen verursacht werden können.
  • Page 59 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 1 TwisTorr 305-IC-Verpackung TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 59/302...

  • Page 60: Einrichten

    Gebrauchsanleitung Einrichten Einrichten 305-IC ist ein gegen elektrostatische Entladungen empfindliches elektronisches VORSICHT! Gerät und wird bis zu diesem Zeitpunkt in einer Schutzhülle mit Kappen am USB- Anschluss sowie am DB15-Anschluss geliefert. Entfernen Sie diese Schutzkappen nur, wenn Sie die Pumpe an den Controller anschließen. Entfernen Sie den Klebstoff und die Schutzkappe erst, wenn Sie bereit sind, die VORSICHT! Turbopumpe am System zu installieren.
  • Page 61 Gebrauchsanleitung Einrichten Stellen Sie das Gerät nur in Innenräumen auf und verwenden Sie die Pumpe nicht in Umgebungen, die Witterungseinflüssen (Regen, Eis, Schnee), Staub, aggressiven Gasen oder explosionsgefährdeten Umgebungen ausgesetzt sind. Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ▪...

  • Page 62: Montage Von Twistorr 305-Ic

    Gebrauchsanleitung Montage von TwisTorr 305-IC Montage von TwisTorr 305-IC WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Installationsanweisungen kann dazu führen, dass sich die Pumpe bei einem Rotorausfall vom System löst, was zu Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305-IC kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305-IC in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.

  • Page 63: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    Gebrauchsanleitung Anschluss des Hochvakuumflansches Anschluss des Hochvakuumflansches Wenn der Rotor plötzlich stoppt, muss das resultierende Drehmoment von der Befestigung des Hochvakuumflansches aufgenommen werden. Schrauben oder Kleinteile müssen den unten angegebenen Spezifikationen entsprechen. WARNUNG! Die Pumpe muss so angeschlossen werden, dass sie dem im Abschnitt „GEBRAUCHSANLEITUNG“...

  • Page 64: Installation Des Iso-K-Flansches

    Gebrauchsanleitung Installation des ISO-K-Flansches Installation des ISO-K-Flansches Befestigen Sie bei ISO-K-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Klemmen Modell IC63250DCMZ oder einem gleichwertigen Element, wie in der folgenden Abbildung dargestellt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden). Abbildung 3 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch ▪...

  • Page 65: Installation Des Conflat-Flansches

    Gebrauchsanleitung Installation des ConFlat-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Befestigen Sie bei ConFlat-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Schrauben wie in der folgenden Abbildung gezeigt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden). Abbildung 4 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Schrauben: 16 für CFF 6” ▪...

  • Page 66: Anschluss Der Vorvakuumpumpe

    Gebrauchsanleitung Anschluss der Vorvakuumpumpe Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305-IC bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.

  • Page 67: Inbetriebnahme Und Betrieb Vom Twistorr 305-Ic

    Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC Um den TwisTorr 305-IC über die integrierten Controller einzuschalten, versorgen Sie die Pumpe mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale „START“ und „INTERLOCK“ ein. Sobald diese Signale erkannt werden, startet die Steuerung die Pumpe.
  • Page 68 Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC WARNUNG! Der Status der Pumpe wird durch die 3 LEDs am Controller angezeigt. SYMBOL LED-STATUS TON/TOFF BEDEUTUNG Grün Ausschalten 305-IC OFF, Status: STOPP/WARTEN Ein, blinkend VERRIEGELUNG/FEHLER 305-IC ON, Zielgeschwindigkeit noch nicht Ein, invers blinkt erreicht, Status: STARTEN (RAMP)/AUTO TUNING Ein, Dauerhaftes...
  • Page 69 Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC (1) Wird eine Störung festgestellt (rote LED, leuchtet durchgehend), kann die HINWEIS Pumpe nach Erhalt des Startbefehls nicht anlaufen. Der Benutzer kann den Grund für die Störung feststellen, indem er die Fehlermeldungen über die serielle Kommunikation und die Liste der vorgeschlagenen Maßnahmen überprüft.

  • Page 70: Twistorr 305-Ic Stoppen

    Gebrauchsanleitung TwisTorr 305-IC stoppen TwisTorr 305-IC stoppen Um den 305-IC nicht im Notfall anzuhalten, müssen Sie: a) Wenn der 305-IC im FERNBETRIEBSART konfiguriert ist und die VERRIEGELUNG auf DAUERBETRIEB eingestellt ist, öffnen Sie die Signale „START“ oder „VERRIEGELUNG“. b) Wenn der 305-IC im FERNBETRIEBSART konfiguriert ist und die VERRIEGELUNG auf IMPULSBETRIEB eingestellt ist, öffnen Sie das START-Signal.

  • Page 71: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Eine Wartung ist nur erforderlich, wenn die gelbe LED leuchtet. Um den Fehler zu überprüfen, können Sie den Code über eine serielle Verbindung lesen. Wenn eine Pumpe längere Zeit stillsteht, wird empfohlen, die DB15-Verbindung einer Sichtprüfung zu unterziehen, um sicherzustellen, dass sie frei von Oxidation ist. Alle anderen Wartungsarbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden.

  • Page 72: Sanftanlauf

    Gebrauchsanleitung Sanftanlauf Sanftanlauf WARNUNG! Um eine ordnungsgemäße Schmierung der Lager zu gewährleisten, hat die Pumpe eine Standardeinstellung, die als Sanftanlauf bezeichnet wird. Wenn die Pumpe längere Zeit gestanden hat oder beim ersten Start, startet die Steuerung automatisch im Sanftanlauf. Diese Betriebsart bringt das Produkt über einen längeren Zeitraum auf den neuesten Stand.

  • Page 73: Entsorgung

    Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" -Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol wird in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie über Elektro- und Elektronik-Altgeräte (WEEE) verwendet. Dieses Symbol (gültig nur in Ländern der Europäischen Gemeinschaft) weist darauf hin, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit normalem Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf, sondern einem getrennten Abfallsammelsystem zugeführt werden muss.

  • Page 74: Service

    Gebrauchsanleitung Service Service Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des Rücksendeformulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). 74/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 75: Mode D'emploi

    TwisTorr 305-IC Notice de mode d’emploi Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Symboles d’avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipement de protection Directive de sécurité...
  • Page 76 TwisTorr 305-IC Notice de mode d’emploi 76/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 77: À Propos De Ce Manuel

    Mode d’emploi À propos de ce manuel À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions pour les utilisateurs du TwisTorr 305-IC, en particulier les notions de sécurité, d’exploitation et d’entretien de premier niveau, limitées aux opérations de maintenance dont l’utilisateur est responsable.

  • Page 78: Définitions Et Terminologie

    Mode d’emploi À propos de ce manuel Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Certaines références importantes du présent manuel sont mises en évidence et encadrées en couleurs contrastées. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l’attention de l’opérateur sur une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n’est pas exécutée correctement, pourrait entraîner des blessures graves.

  • Page 79: Symboles D'avertissement

    Mode d’emploi Symboles d’avertissement Symboles d’avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305-IC. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes : Déclaration européenne Courant continu...
  • Page 80 Mode d’emploi Symboles d’avertissement Le symbole suivant peut être utilisé sur les étiquettes d’avertissement apposées sur l’appareil. Lorsque vous voyez ce symbole, reportez-vous au manuel d’utilisation ou d’entretien correspondant pour connaître la procédure correcte visée par cette étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Alimentation secteur activée Si rouge, cela signifie un dysfonctionnement Si jaune, cela signifie une alerte...

  • Page 81: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non-respect des règles de sécurité...

  • Page 82: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TwisTorr 305-IC. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Page 83: Équipement De Protection

    Mode d’emploi Utilisation appropriée Équipement de protection L’équipement de protection des exploitants qui opèrent ou effectuent l’entretien du système de pompage doit toujours être adéquat pour le type d’utilisation en cours. En outre, il doit être conforme aux exigences de sécurité de la législation en vigueur dans le pays où...
  • Page 84 Mode d’emploi Utilisation appropriée Risque de blessure par objets tranchants ATTENTION ! Les disques de rotor et de stator des turbopompes ont des bords très tranchants. ➔ Avant de procéder à l’entretien de la pompe ou avant tout montage/démontage de la pompe du système, attendre l’arrêt complet de la pompe.

  • Page 85: Directive De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires

    Mode d’emploi Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires Les pompes turbomoléculaires décrites dans le manuel d’utilisation suivant contiennent une grande quantité d’énergie cinétique en raison de la vitesse de rotation élevée en combinaison avec la masse spécifique de leurs rotors. En cas de dysfonctionnement d’une partie mécanique de la pompe, l’énergie de rotation peut être libérée sur la pompe à...

  • Page 86: Transport Et Entreposage

    Mode d’emploi Transport et entreposage Transport et entreposage Afin de garantir le niveau maximal de performance et de fiabilité des pompes turbomoléculaires Agilent, les directives suivantes doivent être respectées pour éviter la condensation : lors de la livraison, du déplacement et de l’entreposage des pompes, les ▪...

  • Page 87: Description Du Produit

    Mode d’emploi Description du produit Description du produit Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. Le TwisTorr 305-IC est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.

  • Page 88: Installation

    Mode d’emploi Installation Installation Préparation pour l’installation Le TwisTorr 305-IC est fourni dans un emballage de protection spécial. Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur le 305-IC qui seraient causés par la chute. Veiller à...
  • Page 89 Mode d’emploi Installation Emballage du TwisTorr 305-IC Figure 1 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 89/302...

  • Page 90: Configuration

    Mode d’emploi Configuration Configuration Le 305-IC est un appareil électronique sensible aux décharges électrostatiques, ATTENTION ! et, à ce point, il est livré dans un sac de protection avec des capuchons sur le raccord USB ainsi que sur le raccord DB15. Retirer ces capuchons de protection uniquement lors du raccordement de la pompe au contrôleur.
  • Page 91 Mode d’emploi Configuration Installer ce dispositif à l’intérieur seulement, et ne pas utiliser la pompe dans un environnement exposé à des agents atmosphériques (pluie, glace, neige), de la poussière, des gaz agressifs, ou dans des environnements explosifs ou présentant un risque élevé d’incendie. Pendant l’exploitation, les conditions environnementales suivantes doivent être respectées afin d’éviter la condensation : pression ambiante maximale : 2 bars au-dessus de la pression...

  • Page 92: Montage Du Twistorr 305-Ic

    Mode d’emploi Montage du TwisTorr 305-IC Montage du TwisTorr 305-IC AVERTISSEMENT ! Le non-respect de ces instructions d’installation peut entraîner le détachement de la pompe du système en cas de défaillance du rotor, ce qui peut causer des dommages matériels, corporels ou la mort. Le TwisTorr 305-IC peut être installé...

  • Page 93: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Raccordement de la bride à vide élevé Si le rotor s’arrête soudainement, le couple résultant doit être absorbé par le matériel de fixation de la bride à vide élevé. Les boulons ou le matériel doivent être conformes aux spécifications ci- dessous.

  • Page 94: Installation De La Bride Iso-K

    Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Pour les raccords à brides ISO-K, fixer les deux brides avec les attaches modèle IC63250DCMZ ou équivalent, comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option). Figure 3 Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100...

  • Page 95: Installation De La Bride Conflat

    Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ConFlat Pour les raccords à bride ConFlat, fixer les deux brides avec les vis comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option).

  • Page 96: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire

    Mode d’emploi Raccordement de la bride à vide préliminaire Raccordement de la bride à vide préliminaire Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur le TwisTorr 305-IC. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide.

  • Page 97: Démarrage Et Utilisation Du Twistorr 305-Ic

    Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC Pour allumer le TwisTorr 305-IC via les cartes électroniques embarquées, alimenter la pompe avec la tension d’alimentation appropriée et activer les signaux « START » et « INTERLOCK ». Une fois ces signaux reconnus, le contrôleur démarre la pompe.
  • Page 98 Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC AVERTISSEMENT ! L’état de la pompe sera affiché par les 3 LED du contrôleur. SYMBOLE STATUT LED TMARCHE/TARRÊT SIGNIFICATION Vert Éteint Hors tension 305-IC ÉTEINT, statut : ARRÊT/EN ATTENTE Allumé, clignotant D’ENCLENCHEMENT/ÉCHEC 305-IC ALLUMÉ, vitesse cible pas encore Allumé, invers atteinte, statut : DÉMARRAGE...
  • Page 99 Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC (1) Si un dysfonctionnement (LED rouge, voyant allumé en continu) est détecté, NOTE la pompe ne peut pas tourner à la réception de la commande de démarrage. L’utilisateur peut corriger la cause du dysfonctionnement en vérifiant les messages d’erreur via une communication en série et en se référant également à...

  • Page 100: Arrêt Du Twistorr 305-Ic

    Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC Arrêt du TwisTorr 305-IC Pour arrêter le 305-IC, non en cas d’urgence, il est nécessaire de faire ceux-ci : a) si le 305-IC est configuré en REMOTE MODE et que INTERLOCK est réglé en CONTINUOUS MODE, ouvrir les signaux «...

  • Page 101: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien L’entretien n’est pas requis sauf si la LED jaune est allumée. Pour vérifier l’erreur, vous pouvez lire le code via la connexion en série. Si une pompe reste inutilisée pendant une période prolongée, une vérification visuelle de la connexion DB15 est recommandée pour s’assurer qu’elle est exempte d’oxydation.

  • Page 102: Démarrage Progressif

    Mode d’emploi Démarrage progressif Démarrage progressif AVERTISSEMENT ! Pour assurer une lubrification adéquate des roulements, la pompe dispose d’un réglage par défaut appelé démarrage progressif. Si la pompe est restée en place pendant une période prolongée ou lors de son démarrage initial, le contrôleur démarre automatiquement en mode démarrage.

  • Page 103: Mise Au Rebut

    Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo « WEEE » figurant sur les étiquettes Le symbole suivant est appliqué conformément à la directive CE WEEE (Déchets d’équipements électriques et électroniques). Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...

  • Page 104: Service

    Mode d’emploi Service Service Si, vous, le client avez besoin d’un service d’échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de demande de retour pour retourner votre pompe à...

  • Page 105: Instrucciones De Uso

    TwisTorr 305-IC Manual de istrucciones Instrucciones de Uso Acerca del manual Validez Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Símbolos de advertencia Seguridad Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Transporte y almacenamiento Descripción del producto Instalación Preparación para instalación...

  • Page 106: Twistorr 305-Ic Manual De Istrucciones

    TwisTorr 305-IC Manual de istrucciones 106/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 107: Acerca Del Manual

    Instrucciones de Uso Acerca del manual Acerca del manual Validez El presente manual contiene las instrucciones para los usuarios de la TwisTorr 305-IC con particular referencia a las nociones relativas a la seguridad, funcionamiento y mantenimiento de primer nivel, limitadas a las operaciones de mantenimiento de las que es responsable el usuario.

  • Page 108: Definiciones Y Terminología

    Instrucciones de Uso Definiciones y terminología Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Algunasreferencias importantes del presente manual están subrayadas y encuadradas en un color de contraste. ADVERTENCIA!! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operario a un ¡¡...

  • Page 109: Símbolos De Advertencia

    Instrucciones de Uso Símbolos de advertencia Símbolos de advertencia La siguiente lista contiene símbolos que aparecen en conjunción con las advertencias de la TwisTorr 305-IC. El peligro que describen también se muestra. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación o el instrumento mismo son los siguientes: Declaración Europea...
  • Page 110 Instrucciones de Uso Símbolos de advertencia El siguiente símbolo podría utilizarle en las etiquetas de advertencia fijadas al instrumento. Cuando vea este símbolo, consulte la operación relevante o el manual de servicio para el procedimiento referido por dicha etiqueta de advertencia.

  • Page 111: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Page 112: Uso Incorrecto

    Instrucciones de Uso Uso correcto Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305-IC. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ▪...

  • Page 113: Equipo De Protección

    Instrucciones de Uso Equipo de protección Equipo de protección El equipo de protección de los operarios que están operando o ejecutando el mantenimiento del sistema de bombeado debe ser siempre adecuado para el tipo de operación que se está ejecutando. Asimismo, debe cumplir los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país donde se utilice la máquina.
  • Page 114 Instrucciones de Uso Equipo de protección Riesgo de lesión por bordes afilados ¡PRECAUCIÓN! Los discos del rotor y estátor de las turbobombas tienen bordes muy afiladas. ➔ Antes de realizar mantenimiento en la bomba o antes de cualquier acción de montaje/desmontaje de la bomba del sistema, espere a que la bomba se detenga completamente.

  • Page 115: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Instrucciones de Uso Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares Las bombas turbomoleculares, como se describen en el siguiente manual de funcionamiento, contienen una gran cantidad de energía kinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación con la masa específica de sus rotores.

  • Page 116: Transporte Y Almacenamiento

    Instrucciones de Uso Transporte y almacenamiento Transporte y almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación: cuando se envíen, mueve o almacenen las bombas, no deberán excederse ▪...

  • Page 117: Descripción Del Producto

    Instrucciones de Uso Descripción del producto Descripción del producto Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305-IC es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.

  • Page 118: Instalación

    Instrucciones de Uso Instalación Instalación Preparación para instalación La TwisTorr 305-IC se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos a la 305-IC que podrían ser causados al dejarla caer. Tenga cuidado de guardar la caja de embalaje para reutilizarla en caso de almacenamiento durante largos períodos de tiempo o en caso de envío.
  • Page 119 Instrucciones de Uso Instalación Figura 1 Embalaje de la TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 119/302...

  • Page 120: Puesta En Marcha

    Instrucciones de Uso Puesta en marcha Puesta en marcha La 305-IC es un dispositivo electrónico sensible a las descargas electrostáticas ¡PRECAUCIÓN! y, por este motivo, está equipada con bolsas protectoras con tapas en la conexión USB y en la conexión DB15. Extraiga estas tapas protectoras solo cuando conecte la bomba al controlador.
  • Page 121 Instrucciones de Uso Puesta en marcha Instale este dispositivo solo en interiores y no utilice la bomba en un ambiente expuesto a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvo, gases agresivos o en ambientes explosivos o con un alto riego de incendio. Durante el funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación: presión ambiente máxima: 2 bar por encima de presión atmosférica...

  • Page 122: Montaje De La Twistorr 305-Ic

    Instrucciones de Uso Montaje de la TwisTorr 305-IC Montaje de la TwisTorr 305-IC ¡ADVERTENCIA! El incumplimiento de las presentes instrucciones podría causar que la bomba se despegue del sistema en el caso de un fallo del rotor, lo que podría causar daños a la propiedad o lesiones graves o la muerte.

  • Page 123: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Instrucciones de Uso Conexión de la brida de alto vaciado Conexión de la brida de alto vaciado Si el rotor se detiene de repente, la torsión resultante debe ser absorbida por las herramientas que fijan la brida de vacío alto. Los tornillos y herramientas deben cumplir la siguiente especificación.

  • Page 124: Instalación De La Brida Iso-K

    Instrucciones de Uso Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ISO-K Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con el modelo de pinzas IC63250DCMZ o equivalente, como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente). Figura 3 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100...

  • Page 125: Instalación De La Brida Conflat

    Instrucciones de Uso Instalación de la brida ConFlat Instalación de la brida ConFlat Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con los tornillos como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente).

  • Page 126: Conexión De La Bomba Pre-Vaciado

    Instrucciones de Uso Conexión de la bomba pre-vaciado Conexión de la bomba pre-vaciado La conexión de prevacío debe hacerse utilizando la brida KF 16 NW proporcionada en la TwisTorr 305-IC. La conexión a la bomba prevacío puede hacerse mediante una manguera o tubo apropiada para vacío. Si se utiliza un tubo rígido, cualquier vibración generada por la bomba mecánica debe ser amortiguada a través del uso de fuelles.

  • Page 127: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Twistorr 305-Ic

    Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC Para encender la TwisTorr 305-IC a través de los controladores abordo, proporcione la bomba con la tensión de alimentación y la acción en las señales "START"...
  • Page 128 Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC ¡ADVERTENCIA! El estado de la bomba será mostrado por las 3 LEDs en el controlador. SÍMBOLO ESTADO LED TON/TOFF SIGNIFICADO Verde Apagado Apagado Encendido, 305-IC OFF, estado: STOP/WAITING parpadeando INTERLOCK/FAIL Encendido, inverso 305-IC ON, velocidad meta no alcanzada, estado:...
  • Page 129 Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC (1) En caso de detectarse avería (LED roja, azul continuo ON), la bomba no puede NOTA girar cuando recibe el comando de inicio. El usuario puede resolver problemas por motivo de la avería al comprobar los mensajes de error mediante la comunicación de serie y consultando la lista de acciones sugeridas.

  • Page 130: Parada De La Twistorr 305-Ic

    Instrucciones de Uso Parada de la TwisTorr 305-IC Parada de la TwisTorr 305-IC Para detener la 305-IC cuando no hay una emergencia, es necesario: a) si la 305-IC está configurada en REMOTE MODE, y el INTERLOCK está en CONTINUOUS MODE, abra las señales "START" o "INTERLOCK"; b) si la 305-IC está...

  • Page 131: Mantenimiento

    Instrucciones de Uso Mantenimiento Mantenimiento El mantenimiento no es necesario si la LED amarilla no está encendido. Para comprobar el error puede leer el código mediante la conexión de serie. Si la bomba está parada durante una cantidad de tiempo prolongada, se recomienda una inspección visual de la conexión DB15 para asegurarse de que está...

  • Page 132: Arranque Suave

    Instrucciones de Uso Arranque suave Arranque suave ¡ADVERTENCIA! Para asegurar la lubricación adecuada de los cojinetes la bomba tiene una configuración por defecto llamada arranque suave. Si la bomba ha estado parada durante un período de tiempo largo o en su arranque inicial el controlador iniciará...

  • Page 133: Eliminación

    Instrucciones de Uso Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" encontrado en las etiquetas El siguiente símbolo se aplica de acuerdo con la Directiva CE WEE (Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico). Este símbolo (válido solo en países de la Comunidad Europea) indica que el producto al que se aplica NO debe eliminar junto con desechos domésticos o industriales normales, sino que debe ser enviado a un sistema de recolección de desechos diferenciada.

  • Page 134: Servicio

    Instrucciones de Uso Servicio Servicio Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la Solicitud de Devolución para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual).

  • Page 135: 使用说明

    TwisTorr 305-IC 用户手册 使用说明 关于这本手册 有效性 定义和术语 警告、警告和注释的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TwisTor 305-IC 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止 维护 转子寿命 慢启动 清洗 处置方式 服务 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 135/302...

  • Page 136: Twistorr 305-Ic 用户手册

    TwisTorr 305-IC 用户手册 136/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 137: 关于这本手册

    使用说明 关于这本手册 关于这本手册 有效性 本手册列出了TwisTorr 305-IC的用户使用说明，尤其是有关安全、操作 和一级维护的概念，仅限于用户负责的维护操作。 一些特定章节包含与更高级别的维护（经过专门培训的维护操作人员才 能操作）有关的特定规定，用户不得执行此类维护操作。 有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。 有关更详细的技术使用，请参阅"操作"章节。 本手册包含实用的信息，以确保所有使用 TwisTorr 305-IC 的人员都 注意 能安全地操作它，并确保其使用寿命达到最高效率。 2. 将本手册以及所有相关出版物保存在所有操作员/维修人员都知道的 无障碍位置。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 137/302...

  • Page 138: 定义和术语

    使用说明 定义和术语 定义和术语 警告、警告和注释的定义 本手册的一些重要参考资料会以对比色突出显示和框出。 警告消息让操作员特别注意特定的程序或操作，如果执行不当，可能导 警告！! 致严重的人身伤害。 小心消息会在操作过程之前显示，如果未注意到，可能会损坏设备。 小心！ 注意旨在提醒人们注意重要信息，并提供有关具体步骤的更多详细信 注意 息。 138/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 139: 警告符号

    使用说明 警告符号 警告符号 以下是在TwisTorr 305-IC上与警告一起显示的符号列表。 还显示了这些符 号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如 下： 欧洲符合性声明 请勿触摸 直流 电源关闭 一般危险 生产现场 电源开启 保护接地端子 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 139/302...
  • Page 140 使用说明 警告符号 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关 操作或维修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。 电源开启 如果为红色，则表示故障 如果为黄色，则表示警告 USB 端口 保护接地端子 请勿触摸 主连接器 近场通信（智能手机天线） CE 认证 CSA 认证 有害物质认证限制 RoHS 中国认证 废弃电气和电子设备 140/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 141: 正确使用

    使用说明 安全 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 所规定的信息，这些信息对于遵守和遵守 安全法规以及机器的具体使用至关重要。 如不遵守本手册中包含的这些说明和其他说明，可能会导致设计阶段设 想的安全条件效率低下，并导致操作机器的人员发生事故。 对由于未遵守技术文档中指示的安全规则而造成的机器损坏或操作人员 或第三方的人身安全意外，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担 全部责任。 正确使用 本手册包含重要的警告和安全说明，以确保设备安全工作。 本手册中描述的产品仅针对说明中指定的应用领域。本手册还提供了有 关产品应用和操作基本要求的指示，以及为保证正常运行可采取的安全 措施。对本手册中未描述的应用或未遵守基本要求和安全措施的应用， 安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不提供任何保证或承担任何责任。 本产品只能由能够在不造成损坏或伤害的条件下采取必要安全措施的合 格人员使用。与产品一起使用的任何附件和设备必须由安捷伦科技公司 (Agilent Technologies) 提供或批准。 任何调整或维护操作必须由了解风险的专业技术人员执行。 产品的维修只能由安捷伦授权的人员执行。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 141/302...

  • Page 142: 使用不当

    使用说明 使用不当 使用不当 对于因不正确使用TwisTorr 305-IC而造成的任何后果，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装泵 ▪ 在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体（参见"泵与腐蚀性和氧 ▪ 化性气体一起使用"的章节） 泵送爆炸气体 ▪ 泵送冷凝蒸汽 ▪ 泵送液体 ▪ 泵送粉尘 ▪ 气体产量过高的情况下作业 ▪ 前真空压力过高的情况下作业 ▪ 使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作 ▪ 绝缘热输入水平过高的情况下作业 ▪ 磁场过高的情况下作业 ▪ 使用过高的通风速率进行通风 ▪ 使用真空泵来产生压力 ▪ 在电离辐射区域运行设备 ▪ 在潜在爆炸区作业 ▪...

  • Page 143: 防护设备

    使用说明 防护设备 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设 备。此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作 305-IC 时和安装过程中必须穿防事故鞋。 警告！ 在维护或安装过程中有害物质对健康的危害 根据工艺特点，真空泵、部件或工作流体可能被有毒、反 应性或放射性物质污染。 ➔ 在维护和修理期间或重新安装时，请佩戴合适的防护 设备。 警告！ 掉落物体造成人身伤害的风险 手动运输真空泵时，存在负载滑倒和坠落的危险。 ➔ 双手携带中小型真空泵。 ➔ 任何重量超过 20 公斤的设备都应使用合适的起重装置 进行搬运。 ➔ 根据指令 EN 347，请穿带钢脚趾盖的安全鞋。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 143/302...
  • Page 144 使用说明 防护设备 锋利边缘有划伤的风险 小心！ 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘。 ➔ 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操 作之前，等待泵完全停止。 ➔ 请勿直接在高真空法兰内操作。 ➔ 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 144/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 145: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 涡轮分子泵安全指南 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加 上转子拥有特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的 任何位置。 警告！ 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装 说明！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 145/302...

  • Page 146: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以 避免出现冷凝的情况： 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件： ▪ 温度范围： -40 °C 至 70 °C ▪ 相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。 ▪ 涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月。 ▪ 涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动。 ▪ 涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动。 ▪ 如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷 小心！ 伦真空销售和服务代表以了解相关信息。 146/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 147: 产品描述

    使用说明 产品描述 产品描述 本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305-IC 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够 泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。 它不含污染剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 详细信息可参考"技术信息"章节。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 147/302...

  • Page 148: 安装准备

    使用说明 安装 安装 安装准备 TwisTorr 305-IC 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发 生损坏的迹象，请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 305-IC 而对 305-IC 造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以 便在存放时间过长或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合 EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。 为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使 小心！ 用手套或其他合适的防护装置。 正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305-IC。不过，还是建议将其密封在 注意 塑料袋中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的 污染。 148/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 149 使用说明 安装 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 149/302...
  • Page 150 使用说明 设置 设置 305-IC 是一种对静电放电敏感的电子设备，因此，它被装在一个保护袋 小心！ 中，该保护袋的 USB 连接和 DB15 连接均带有保护盖。 仅在将泵连接到 控制器时才卸下这些保护盖。 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心！ 150/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 151 使用说明 设置 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰 尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大环境压力： 比大气压力高 2 bar ▪ 温度：从 +5 °C 到 +35 °C ▪ 相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。 ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 151/302...

  • Page 152: Twistor 305-Ic 的安装

    使用说明 TwisTor 305-IC 的安装 TwisTor 305-IC 的安装 警告！ 如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离， 从而导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305-IC 可安装在任何位置。将TwisTorr 305-IC 固定在稳定位置， 将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周围 1000 Nm 的扭矩。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定 在真空室上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 TwisTorr 305-IC 不能通过其底座进行固定 小心！ 152/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 153: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。 警告！ 必须以承受“使用说明”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要注意 夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 警告！ 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然 停止时， 305-IC 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组 合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 153/302...

  • Page 154: Iso-K 法兰的安装

    使用说明 ISO-K 法兰的安装 ISO-K 法兰的安装 对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具 固定两个法兰（可选使用保护屏）。 使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰 ▪ 4 表示 ISO 160 法兰 ▪ 以 22 Nm 的扭矩拧紧夹钳。 154/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 155: Conflat 法兰的安装

    使用说明 ConFlat 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使 用保护屏）。 使用所需数量的螺钉： 16 表示 CFF 6" ▪ 20 表示 CFF 8" ▪ 连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉。 对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。 为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出 的螺母上以及螺母与法兰之间的螺纹上。 在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。 拧紧螺母和螺栓时应小心谨慎，避免在部件中造成凹痕。 小心！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 155/302...

  • Page 156: 前真空泵的连接

    使用说明 前真空泵的连接 前真空泵的连接 应使用 TwisTorr 305-IC 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵 的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须 使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。 TwisTorr 305-IC 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，建 注意 议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗 粒回流。 156/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 157: Twistorr 305-Ic 的启动和运行

    使用说明 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 如要通过板载控制器启动TwisTorr 305-IC，请向泵提供适当的电源电压， 并按照"启动(START)"和"互锁(INTERLOCK)"信号进行操作。识别这些信号 后，控制器将启动泵。 (1) 为了查找电源电压输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接器上）， 注意 以及输入电压允许值，请参阅本说明手册中的"技术规格"章节和" 输 入/输出和电源"章节。 (2) 为了查找启动/停止和互锁输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接 器上），以及相关的电气额定值，请参阅本说明手册的"输入/出站和 电源"部分。 (3) 要查找有关如何连接启动/停止和互锁信号的详细信息，请参阅本说明 手册中的"如何连接控制器的集电极开路输入"章节。 (4) TwisTorr 305-IC 配有 DB15 配对连接器，而不是预接线。该 DB15 配对 连接器适合承受控制器供电所需的电流水平，并且与安装在控制单元 上的 DB15 连接器完全兼容。在正确布线后，它既可用于将 TwisTorr 305-IC 连接到电源，也可以连接到附件部件（冷却风扇、排气阀）以 及串行通信。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 157/302...
  • Page 158 使用说明 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 泵的状态将由控制器上的 3 个 LED 灯显示。 警告！ LED 灯 TON/TOFF LED 状态 含义 象征 电源关闭 绿色 关 305-IC 关闭，状态：停止/等待互锁/故障 开，闪烁 305-IC 打开，目标速度尚未达到，状态：正在启动 开，反向闪烁 （RAMP）/自动调谐 305-IC 打开，达到目标速度，状态：正常 操作。 开，实心光 305-IC 打开，减速，状态：制动 开，闪烁 关 无警告 黄色 警告 开，实心光 红色 关...
  • Page 159 使用说明 TwisTorr 305-IC 的启动和运行 (1) 如果检测到故障（红色 LED 灯，实心光），泵在收到起动命令时将无法 注意 旋转。用户可以通过串行通信检查错误消息 并参考建议的操作列表 来 排除故障原因。检测到故障时，电子装置进入失效（FAIL）状态; 排除 故障原因后，设备需要接收新的启动命令以重置失效（FAIL）状态。因 此，如果故障原因已解决，在收到新的启动命令后，红色指示灯状态 将不均匀关闭，305 IC 将正常运行，以适合当前工作状态（RAMP， NORMAL 等）的状态显示（在串行通讯上，并通过绿色的 LED 灯指 示）。 (2) 如果检测到警告（黄色 LED 灯，实心光），泵可以在收到启动命令时 正确旋转。用户可以通过串行通信检查错误消息 并参考建议的操作列 表 来排除警告原因。检测到警告条件后，设备继续工作，没有中断， 以适合当前工作状态（RAMP，NORMAL 等）的状态显示（在串行通讯 上，并通过绿色的 LED 灯指示）。 这是因为警告与泵功能的任何停用条件均无关。 解决警告的原因后， 黄色 LED 指示灯将立即关闭，在大多数情况下，用户不需要在 305 IC 上 进行任何进一步的操作，仅在极少数情况下，...

  • Page 160: 停止 Twistorr 305-Ic

    使用说明 停止 TwisTorr 305-IC 停止 TwisTorr 305-IC 如在非紧急的情况下停止 305-IC，必须： a）如果 305-IC 配置了远程模式，并且"互锁（INTERLOCK）"设置为连续 模式，则打开"启动（START）"或"互锁（INTERLOCK）"信号; b）如果 305-IC配置了远程模式，并且"互锁（INTERLOCK）"设置为"脉冲 模式"，则打开"启动（START）"信号; c）如果 305-IC 配置了串行模式，则向 305-IC 发送"停止（STOP）"命 令。 紧急停止 通过卸下电源可以实现紧急停止。 警告！ 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/ 或损坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 160/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 161: 转子寿命

    使用说明 维护 维护 除非黄色 LED 指示灯打开，否则无需进行维护。如要检查错误，您可以 通过串行连接读取代码。如果泵放置时间较长，建议对 DB15 连接进行 目视检查，以确保其没有被氧化。 任何其他维护必须由授权人员进行。 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气， 警告！ 在转子完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的 系统。发送订单后，用于替换的305-IC将被寄出。 然后，您可以将出现 故障的305-IC放入箱子以退回。 在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送 注意 本说明手册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入 相同的副本。 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置。 转子寿命 在理论的基础上估计，305-IC涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从停止到全速 再回到停止的405000次循环。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在 使用 17 年后退回泵以进行维护。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 161/302...

  • Page 162: 慢启动

    使用说明 慢启动 慢启动 警告！ 为确保轴承的正确润滑，泵具有被称为“慢启动”的默认设置。如果泵 已长时间未被使用或在其初始启动状态，控制器将自动以慢启动模式 启动。这种操作模式使产品需要较长时间内来达到速度。 用户无法停用此自动操作模式。用户可以决定始终以"慢启动模式"来 启动产品，按照下面指定的相应串行命令来进行操作。 在长时间不活动之后，“软启动”模式可以正确分配轴承中存在的润滑 脂。 在以下情况下，将自动激活"慢启动"模式： 初次启动; 在达到“全速”状态的最后一刻起的60天后。 此模式可以使用串行命令 WIN100 进行手动激活。 警告！ WIN 100 对于初次启动和在达到“全速”状态的最后一刻起的 60 天后 的自动慢启动没有影响。 请参阅"Windows 协议"章节。 清洗 305-IC 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 162/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 163: 处置方式

    使用说明 处置方式 处置方式 标签中的"WEEE"徽标的含义 以下符号根据 EC WEEE（废弃电气和电子设备）指令进行应用。该符号 （仅在欧洲共同体国家有效）表示其适用的产品不得与普通家庭或工业 废物一起处理，而必须送往差别化废物收集系统。因此，请最终用户在 检查合同销售条款和条件后，联系设备的供应商（无论是母公司还是零 售商）启动收集和处置流程。 有关详细信息，请参阅： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 163/302...
  • Page 164 使用说明 服务 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件 至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写退货申请表才能将泵退回到安捷伦维修部门（在本手册末尾会 提供）。 164/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 165: 使用方法

    TwisTorr 305-IC ユーザーマニュアル 使用方法 このマニュアルについて 有効性 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 移送＆保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305-IC 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlatフランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-ICの起動開始と操作 TwisTorr 305-ICを停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 ソフトスタート クリーニング 廃棄 サービス TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 165/302...

  • Page 166: Twistorr 305-Ic ユーザーマニュアル

    TwisTorr 305-IC ユーザーマニュアル 166/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 167: このマニュアルについて

    使用方法 このマニュアルについて このマニュアルについて 有効性 このマニュアルは、特に安全、操作、またユーザーが負うべきメンテ ナンスの操作に限定される第一レベルのメンテナンスについての理解 に関係するTwisTorr 305-IC の使用者への説明を記載しています。 指定のセクションに説明されていますが、高いレベルのメンテナンス （メンテナンス操作に特定の訓練を受けた者）に関係する特定の規定 のメンテナンス操作は、使用者が実行してはいけません。 正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認く ださい。 更に詳細な技術的な使用には、「操作」の章をご確認ください。 1. このマニュアルは、有益な情報を含んでいるため、全ての TwisTorr 注 305-IC の使用者は、製品寿命にわたり安全に操作することができ、 また完全な能率性を保証します。 2. 全ての操作者/メンテナンス担当者が承知している入手しやすい場 所に、全ての関係する書類と共にこのマニュアルを保管してくだ さい。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 167/302...

  • Page 168: 定義と用語

    使用方法 定義と用語 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 「警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人 警告!! 身障害につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の 必要性を示しています。 「注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が 注意! 生じる可能性を示しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細 注 な情報を提供しています。 168/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 169: 警告の記号

    使用方法 警告の記号 警告の記号 下記は、TwisTorr 305-IC上の警告と併せて表示される記号のリストで す。危険性の説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号 と供に示されうる記号の意味は下記の通りです： CE 適合宣言書 直流 触らないでください 電源オフ 包括的な危険 製造所 電源オン 保護接地端子 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 169/302...
  • Page 170 使用方法 警告の記号 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることが あります。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正し い工程のために、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してく ださい。 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。 主要電源オン もし赤い場合、機能不良を意味します もし黄色い場合、警告を意味します USB ポート 保護接地端子 触らないでください 主要コネクター 近距離無線通信(スマートフォンのアンテナ) CE 認証 CSA 認証 EU RoHS 指令認証 中国 RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関する EU WEEE 指令 170/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 171: 安全性

    使用方法 安全性 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定 の遵守と監督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC） の情報を含みます。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場 合、設計時に予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作す る者へ事故が生じる可能性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安 全規定の不順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の 身体的安全への損害・損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき 重要な警告と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分 野への活用に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活 用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適 用される安全対策を提供します。アジレント・テクノロジー株式会社 は、このマニュアル内説明されているもの以外の適用、または必須の 要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せ ず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を 講じることができる有資格者のみ使用することができます。製品と供 に使用されたいかなる付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株 式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知して いる専門家の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われ なければなりません。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 171/302...

  • Page 172: 不適切な使用

    使用方法 不適切な使用 不適切な使用 アジレント・テクノロジー株式会社は、TwisTorr 305-IC の不適切な使用により派生 した全ての責任を拒否します。 不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切な使用は下 記の通り定義されます： 不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け ▪ 適切な浄化の流れなしに腐食性ガスや酸化ポンプすること（「腐食性ガスや ▪ 酸化ガスとともに使用されるポンプ」を参照ください） 爆発性のガスをポンプすること ▪ 凝縮した蒸気をポンプすること ▪ 液体をポンプすること ▪ 粉末をポンプすること ▪ 不適切な高ガス量での操作 ▪ 不適切な高圧補助真空での操作 ▪ 実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操 ▪ 作 不適切な高レベルの断熱材料での操作 ▪ 不適切な高い磁界での操作 ▪ 不敵な高い通気率での通気 ▪ 圧力を生じさせるための真空ポンプの使用 ▪ 電離放射線の範囲内での機器の操作 ▪ 潜在的に爆発性がある範囲での操作 ▪...

  • Page 173: 保護用装備

    使用方法 保護用装備 保護用装備 ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保 護装置は、実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりま せん。 更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要 条件に従うものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は 305-ICを操作している時や取り付けの時に事故防止 の靴を着用しなくてはなりません。 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康 警告! への危険 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または 操作液は、有害物質、反応性物質、もしくは放射性物質 に汚染される場合があります。 ➔ メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には 適切で十分な保護装備を着用してください。 装置の落下による損傷のリスク 警告! 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険 があります。 ➔ 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 ➔ 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を 使用して運搬されなければなりません。 ➔ 指令 EN 347 に従ったつま先キャップがスチール製の 安全靴を着用してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 173/302...
  • Page 174 使用方法 保護用装備 鋭い縁による損傷のリスク 注意! ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常 に鋭くなっています。 ➔ ポンプを修理する前、またはシステムからポンプの いかなる取り付け/取り外しをする前に、ポンプの完全な 静止をお待ちください。 ➔ 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 ➔ 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用 してください。 174/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 175: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    使用方法 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらロー ターのt特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネ ルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが 固定されているどの部分へも放出されています。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載さ 警告! れた取り付けの指示に厳密に従ってください！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 175/302...

  • Page 176: 移送＆保管

    使用方法 移送＆保管 移送＆保管 アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証する ため、凝縮を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりま せん： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過して ▪ はいけません： 温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで ▪ 相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし） ▪ ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です。 ▪ お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ ▪ 分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりません。 ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは ▪ 常にゆっくりと開始されなければなりません。 もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場 注意! へ返送されなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービ ス担当者へ情報をお問い合わせください。 176/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 177: 製品説明

    使用方法 製品説明 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象と しています。 TwisTorr 305-IC は、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガス 混合物のどんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空装 置です。 ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大 60600 rpm）により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適で す。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されていま す。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 177/302...

  • Page 178: 取り付け

    使用方法 取り付け 取り付け 取り付けの準備 TwisTorr 305-ICは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこ れに輸送中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売 営業所へお問い合わせください。 落下等による305-IC への突然の衝撃は避けてください。長期間の保存 または輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意く ださい。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は 100% リサイクルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守し ています。 ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取 注意! り扱わないでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用く ださい。 通常環境への露出は、TwisTorr 305-IC を損傷しません。しかしながら、 注 ちり・ホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り 付けられるまでビニールの袋に密閉して保管することが推奨されま す。 178/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 179 使用方法 取り付け 図１ TwisTorr 305-IC の梱包 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 179/302...

  • Page 180: セットアップ

    使用方法 セットアップ セットアップ 305-IC は、静電放電に敏感な電子機器であり、この点において USB 接続 注意! と、また DB15 接続上でキャップ付きの保護バッグに入って提供されて います。ポンプをコントローラーに接続する時にのみ、これらの保護 キャップを取り外します。 システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保 注意! 護キャップを取り外さないでください。 図２ 180/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 181 使用方法 セットアップ この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質 （雨、氷、雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、ま たは爆発の可能性がある環境、または燃えやすい環境下では使用しな いでください。 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけ ません： 最大環境気圧：大気圧上 2 バール ▪ 温度：+5 °C から +35 °C まで ▪ 相対湿度： 0 – 90 % （結露なし） ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 181/302...

  • Page 182: Twistorr 305-Ic 実装

    使用方法 TwisTorr 305-IC 実装 TwisTorr 305-IC 実装 これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際 警告! にシステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が 損害を受けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性がありま す。 TwisTorr 305-IC はどんな位置でも取り付けることができます。TwisTorr 305-IC を暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接 続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめま す。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントの ハードウェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりませ ん。 更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧くださ い。 TwisTorr 305-IC はその土台では固定できません。 注意! 182/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 183: 高真空フランジの接続

    使用方法 高真空フランジの接続 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空 フランジを留めているハードウェアにより吸収されなければいけませ ん。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけま せん。 必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法 警告! でポンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、 材料、ボルト、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空 警告! チェンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に 305-IC がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフ ランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切 な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いませ ん。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 183/302...

  • Page 184: Iso-K フランジの取り付け

    使用方法 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデ ルIC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプ ションとして保護スクリーンを使用できます）。 図３ 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個 ▪ ISO 160 フランジ – 4個 ▪ クロウクランプは、22 Nm のトルクできつく締めてください。 184/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 185: Conflat フランジの取り付け

    使用方法 ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの接続には、 下記の図に示される通り、2つのフラン ジをネジで固定します（オプションとして保護スクリーンを使用でき ます）。 図４ 必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個 ▪ CFF 8” – 20個 ▪ • ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合う まで引き続き締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締め ます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用する ことを推奨します。 組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温 潤滑剤をフランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間 へ注入できます。 場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。 ナットとボルトを締めるときは、エンベロープにへこみができないよ 注意! うに注意してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 185/302...

  • Page 186: フォア真空ポンプの接続

    使用方法 フォア真空ポンプの接続 フォア真空ポンプの接続 フォアラインの接続は、TwisTorr 305-IC 上に提供されるKF 16 NW フラ ンジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空 定格ホースまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使 用された場合、機械ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使 用により減衰されなければなりません。 TwisTorr 305-IC は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油 注 密封式ポンプを使用する時、オイルまたは微粒子が乾燥したポンプよ り逆流するのを避けるために、ターボポンプと補助真空ポンプの間に 適切なトラップを取り付けることを推奨します。 186/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 187: Twistorr 305-Ic の起動開始と操作

    使用方法 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 搭載コントローラーを通してTwisTorr 305-IC を起動するには、適切な供 給ボルテージでポンプを供給し、「開始」と「連動」信号で作動しま す。これらの信号が認識された後、コントローラーはポンプを開始し ます。 (1) 供給ボルテージの出力ピン（イン/アウトと電源供給コネクター上） 注 の場所、また出力ボルテージの許容値を見つけるには、「技術仕 様」とこの説明マニュアルの「イン/アウトとパワー供給」のセクシ ョンを参照してください。 (2) 「開始/停止」と「連動」出力ピン（イン/アウトと電源供給コネク ター上）の場所、また関連する電気定格を見つけるには、この説明 マニュアルの「イン/アウトとパワー供給」のセクションを参照して ください。 (3) 「開始/停止」と「連動」信号の接続の仕方の詳細を見つけるには、 この説明マニュアルの「コントローラーのオープンコレクタ出力を 接続する方法」のセクションを参照してください。 (4) TwisTorr 305-IC は 、組み合わせコネクタの DB15 が付属しており、プ レ配線はされていません。この DB15 組み合わせコネクタは、コン トローラーに供給するのに必要な電流レベルに耐えるのに最適で、 またコントロールユニットに備え付けられた DB15 コネクタに完全 に互換性があります。TwisTorr 305-IC と供給ソースへの接続や付属部...
  • Page 188 使用方法 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 ポンプの状態は、コントローラー上に 3 つの LED により表示されま 警告! す。 LED の状態 TON/TOFF 記号 意味 オフ 電源オフ 緑 305-IC オフ、状態： 停止/連動待機/故障 オン、点滅 305-IC オン、目的速度にまだ到達していません、 オン、逆点滅 状態： 開始中（ランプ）/自動チューニング 305-IC オン、目的速度に到達しました、状態： オン、固定の点灯 正常 OP. 305-IC オン、速度減退、状態：制動 オン、一定点滅 黄色 オフ 警告なし 警告 オン、固定の点灯...
  • Page 189 使用方法 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 (3) 機能不良（赤い LED、固定の点灯）が検出された場合、ポンプは開始の NOTE コマンドを受けても回転できません。使用者は、シリアル通信 を経由 したエラーメッセージを確認し、また推奨されるアクションリストを 参照することにより 、機能不良の事由を解決することができます。機 能不良が検出された間、電子ユニットは「故障」状態になります；故 障の事由が解決された後は、ユニットは、「故障」状態をリセットす るために新しい開始コマンドを受ける必要があります。結果として、 もし機能不良の事由が解決した場合、新しい開始コマンドを受け、正 しく操作すると、電流作用状況に適切（ランプ、正常など）な状態 （シリアル通信上と緑 LED の表示）を表示します。 (4) 警告（黄色い LED、固定の点灯）が検出された場合、開始コマンドを 受けるとポンプは正しく回転します。使用者はシリアル通信 を経由 したエラーメッセージを確認し、また推奨されるアクションリストを 参照することにより 、警告の事由を解決することができます。警告の 状態が検出されると、ユニットは中断なしに動作を継続し、電流作用 状況に適切（ランプ、正常など）な状態（シリアル通信上と緑 LED の表示）を表示します。 これは、警告はポンプの機能にいかなるブロッキング状態にも関係 していないからです。警告の事由が解決された後は、黄色の LED ラ イトがすぐに消え、だいたいの場合には、使用者は 305 IC に何もそれ 以上のアクションを行う必要はありません。ごくまれな場合に、警...

  • Page 190: Twistorr 305-Ic を停止する

    使用方法 TwisTorr 305-IC を停止する TwisTorr 305-IC を停止する 緊急時ではない時に305-ICを停止するには、下記が必要です： a) もし305-ICが「リモートモード」に設定されている場合、また「連 動」が「継続モード」に設定されている場合には、「開始」また は「連動」信号を開いてください； b) もし305-ICが「リモートモード」に設定されている場合、また「連 動」が「インパルスモード」に設定されている場合には、「開 始」信号を開いてください； c) もし305-ICが「シリアルモード」に設定されている場合、305-ICへ 「停止」コマンドを送信してください。 緊急停止 電源供給を切ることにより緊急停止します。 これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使 警告! 用は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。こ の停止モードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 190/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 191: メンテナンス

    使用方法 メンテナンス メンテナンス メンテナンスは、黄色いLEDがオン出ない限り必要ではありません。 エラーを確認するために、シリアル接続を通したコードを読むことが できます。もしポンプが長い時間不稼働であった場合、酸化がないこ とを確認するため、DB15接続の目視確認が推奨されます。 システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気 警告! 弁でポンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面 温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障した システムを取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレ ント最新交換サービス」を利用することができます。交換の305-IC は、ご注文がなされた時に郵送されます。そして、交換の305-ICが届 いた箱に故障した305-ICを入れて返送してください。 製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、 注 この説明マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入 し、現地の販売事務所へ送信する必要があります。システムの梱包に、 郵送する前に同フォームのコピーを入れてください。 もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の 条例に従うようご確認ください。 ローターの寿命 理論的評価による305-IC ターボ分子ポンプローターの疲労抵抗は、停 止状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルで す。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れる と、アジレントは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品 することを推奨します。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 191/302...

  • Page 192: ソフトスタート

    使用方法 ソフトスタート ソフトスタート 軸受部の適切な注油を確保するため、ポンプは「ソフトスタート」 警告! と呼ばれるデフォルト設定になっています。もしポンプが長期間不 稼働だった場合、または 最初の起動開始の場合、コントローラーは 自動的にソフトスタートで開始します。この操作のモードにより、 製品は長時間に渡って速度を上げます。 この自動操作モードは、使用者により設定解除できません。使用者 は、下記に示される適切なシリアルコマンドで作動することで、常 に「ソフトスタートモード」で製品を開始する決定ができます。 「ソフトスタート」モードは、長期間の不稼働後に、軸受部内の油の 正確な再分配を可能にします。 「ソフトスタート」モードは、下記の場合に自動的にアクティベート されます： 最初の起動時； 「最大速度」状態になった最後の瞬間に達してから60 日後。 このモードは、シリアルコマンドの WIN100 を使用して手動でアクテ 警告! ィベートできます。 WIN 100 は、最初の起動開始時と「最大速度」の最後の瞬間から 60 日後の自動ソフトスタートには無効です。「ウィンドウズ プロト コル」のセクションをご覧ください。 クリーニング 305-ICの外側表面 は中性洗剤でのみ、お手入れをすることができま す。 192/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 193 使用方法 廃棄 廃棄 ラベル上に表示された「WEEE」ロゴの意味 下記の記号はEC WEEE指令（電気電子廃棄物 指令）に従い適用された ものです。この記号（欧州諸共同体でのみ有効）は、製品は通常の家 庭ゴミまたは産業廃棄物と一緒に廃棄されてはいけないこと、また分 化された廃棄物収集システムへ送られなければいけないことを示しま す。従って、エンドユーザーは、販売の契約条件を確認した後に、収 集と廃棄工程を始めるために、親会社かもしくは小売業者であろう と、機器の供給者へ問い合わせることが推奨されます。 さらなる情報は下記をご確認ください： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 193/302...

  • Page 194: サービス

    使用方法 サービス サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地 代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 返品フォームの申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポン プをアジレント・テクノロジー株式会社へ返送する必要があります。 （ このマニュアルの最後に提供されています）。 194/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 195: Instructions For Use

    TwisTorr 305-IC User Manual Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Warning Symbols Safety Proper Use Improper Use Protective equipment Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Transport & Storage Product description Installation Preparation for Installation Set-up TwisTorr 305-IC Mounting...
  • Page 196 TwisTorr 305-IC User Manual 196/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 197: About This Manual

    Instructions for Use About this manual About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305-IC, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Page 198: Definitions And Terminology

    Instructions for Use Definitions and terminology Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Some important references of this manual are highlighted and framed in contrasting colour. Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING!! practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury.

  • Page 199: Warning Symbols

    Instructions for Use Warning Symbols Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305-IC. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation or on the instrument itself are as follows: Direct...
  • Page 200 Instructions for Use Warning Symbols The following symbol may be used on warning labels attached to the instrument. When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information.

  • Page 201: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non- observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Page 202: Improper Use

    Instructions for Use Improper Use Improper Use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305-IC. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ▪...

  • Page 203: Protective Equipment

    Instructions for Use Improper Use Protective equipment The protective equipment of the operators who are operating or executing the maintenance of the pumping system must always be adequate for the type of operation being executed. Furthermore, it must comply with the safety requirements of the legislation in force in the country in which the machine is used.
  • Page 204 Instructions for Use Improper Use Risk of injury through sharp edges CAUTION! Rotor and stator disks of turbopumps have very sharp edges. ➔ Before servicing the pump or before any mounting/ dismounting action of the pump from the system, wait for the complete standstill of the pump.

  • Page 205: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high Rotation Speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of malfunctioning of a mechanical part of the pump the rotational energy may be released to whatever the pump is fixed to.

  • Page 206: Transport & Storage

    Instructions for Use Transport & Storage Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ▪...

  • Page 207: Product Description

    Instructions for Use Product description Product description This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305-IC is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.

  • Page 208: Installation

    Instructions for Use Installation Installation Preparation for Installation The TwisTorr 305-IC is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the 305-IC that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Page 209 Instructions for Use Installation Figure 1 TwisTorr 305-IC packaging TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 209/302...

  • Page 210: Set-Up

    Instructions for Use Set-up Set-up The 305-IC is an electronic device sensitive to electrostatic discharges, and, to CAUTION! this point, it is supplied in a protective bag with caps on the USB connection as well as on the DB15 connection. Remove these protective caps only when connecting the pump to the controller.
  • Page 211 Instructions for Use Set-up Install this device indoors only, and do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation: maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure ▪...

  • Page 212: Twistorr 305-Ic Mounting

    Instructions for Use TwisTorr 305-IC Mounting TwisTorr 305-IC Mounting WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 305-IC can be installed in any position.

  • Page 213: Connection Of The High Vacuum Flange

    Instructions for Use Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange If the rotor stops suddenly, the resulting torque must be absorbed by the hardware fastening the high vacuum flange. Bolts or hardware must meet the specification below. WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE"...

  • Page 214: Installation Of Iso-K Flange

    Instructions for Use Installation of ISO-K Flange Installation of ISO-K Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps model IC63250DCMZ or equivalent, as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 3 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange ▪...

  • Page 215: Installation Of Conflat Flange

    Instructions for Use Installation of ConFlat Flange Installation of ConFlat Flange For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 4 Use the required number of screws: 16 for CFF 6”...

  • Page 216: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    Instructions for Use Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305-IC. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe.

  • Page 217: Startup And Operation Of The Twistorr 305-Ic

    Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC To turn on the TwisTorr 305-IC via the on board controllers, supply the pump with the proper supply voltage and then act on the "START"and "INTERLOCK" signals.
  • Page 218 Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC WARNING! The status of the pump will be displayed by the 3 LEDs on the controller. SYMBOL LED STATUS TON/TOFF MEANING Green Power Off 305-IC OFF, status: STOP/WAITING On, flashing INTERLOCK/FAIL 305-IC ON, target speed not yet achieved, status: On, invers flashing...
  • Page 219 Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC (3) In case a Malfunction (Red LED, ON Solid light) is detected, the pump cannot spin NOTE upon receiving the start command. The user can troubleshoot the reason for the malfunction by checking the error messages via serial communication and also referring to the list of suggested actions.

  • Page 220: Stopping The Twistorr 305-Ic

    Instructions for Use Stopping the TwisTorr 305-IC Stopping the TwisTorr 305-IC To stop the 305-IC, not in emergency, it is necessary to: a) if the 305-IC is configured in REMOTE MODE, and the INTERLOCK is set to CONTINUOUS MODE, then open the "START" or the "INTERLOCK" signals; b) if the 305-IC is configured in REMOTE MODE, and the INTERLOCK is set to IMPULSE MODE, then open the START signal;...

  • Page 221: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance Maintenance is not required unless the yellow LED is on. To check the error you can read the code via serial connection. If a pump sits for a prolonged amount of time, a visual check of the DB15 connection is recommended to make sure it is free of oxidation.

  • Page 222: Soft Start

    Instructions for Use Soft Start Soft Start WARNING! To ensure proper lubrication of the bearings the pump has a default setting called soft start. If the pump has been sitting for an extended period or on its initial startup the controller will automatically start in soft start. This mode of operation brings the product up to speed over an extended amount of time.

  • Page 223: Disposal

    Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Page 224: Service

    Instructions for Use Service Service Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). 224/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 225: Technical Information

    TwisTorr 305-IC User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Technical Specification TwisTorr 305-IC Outline Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Vent Accessories Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases...
  • Page 226 TwisTorr 305-IC User Manual Connection through USB plug Error messages Warning messages Accessories and Spare Parts 226/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 227: Description Of The Twistorr 305-Ic

    Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Description of the TwisTorr 305-IC The TwisTorr 305-IC consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Page 228 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC The TwisTorr 305-IC is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 305-IC models are: X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING X3513-64002 TWISTORR 305-IC ISO160K 485AGI AIR COOLING X3513-64003...
  • Page 229 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC The following figures shows the 24 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. TwisTorr 305-IC Figure 5 TwisTorr 305-IC Figure 6 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 229/302...
  • Page 230 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 7 TwisTorr 305-IC Figure 8 230/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 231 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 9 TwisTorr 305-IC Figure 10 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 231/302...
  • Page 232 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 11 TwisTorr 305-IC Figure 12 232/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 233: Technical Specification

    Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 1 Pumping speed ISO 100/ CF 6" / ISO 160 / CF 8" 250 l/s 255 l/s 220 l/s 250 l/s Max gas flow rate (N2): 250 sccm Note: value refer to water-cooling pump version with: •...
  • Page 234 Technical Information Technical Specification Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Relative humidity of air From graph in Figure 13 (non condensing) Bakeout temperature ISO flange: 75°C at inlet flange max CFF flange: 100°C at inlet flange max Note: Measure a point close to the sealing element. Lubricant Permanent lubrication Air cooling requirements...
  • Page 235 Technical Information Technical Specification EN 61010-1 Compliance with: EN 61326-1 EN 1012-2 EN 12100 EN 50581 Machinery Directive 2006/42/EC Electromagnetic Compatibility Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU Power cable Admitted power supply is 24V +/- 10%; please dimension the power cables taking into account to always garantee the minimum voltage level.

  • Page 236: Twistorr 305-Ic Outline

    Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC Outline The following figures show the TwisTorr 305-IC (dimensions are in mm [inches]). TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 14 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 236/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 237 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 15 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 237/302...
  • Page 238 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 16 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 238/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 239 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 17 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 239/302...
  • Page 240 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 18 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 240/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 241 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 19 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 241/302...
  • Page 242 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 20 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling 242/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 243 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 21 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 243/302...
  • Page 244 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 22 244/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 245 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 23 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 245/302...
  • Page 246 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 24 246/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 247: Pump Operations

    Technical Information Pump Operations Pump Operations Inlet screen installation Figure 25 Figure 26 Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’) ▪...
  • Page 248 Technical Information Pump Operations Installing an inlet screen will reduce the pumping speed by the following amount: Reduction in pumping speed (%) X3500-68000 X3500-68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 27 The screen can be mounted on each pump.
  • Page 249 Technical Information Pump Operations Figure 28 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 249/302...

  • Page 250: Air Cooling Kit Installation (Only For Air Cooled Pumps)

    Technical Information Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) An air cooling kit (X3500-68010) is available to improve the TwisTorr 305-IC cooling during operational conditions. Fan specifications: air flow: 147 m ▪...

  • Page 251: Assembling Procedure Air Cooling Kit X3500-68010

    Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 To mount the air cooling Kit on the Twistorr 305-IC pump, proceed as follows: Fix the fan (1) to the bracket (2) using the furnished screws (3). Figure 30 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 251/302...
  • Page 252 Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Now fix the air cooling bracket/fan assembly to the pump body. Figure 31 On board CNTR Foreline flange KF16 VENT screw 252/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 253 Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 To power the air cooling kit, mount the adapter (4) on the connector DB15 (5) (see figure on the next page) of the pump and then connect the air cooling kit connector to the adapter connector (6), by the way of the extension cable which is provided to together with the adapter P/N X3514-68001.
  • Page 254 Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Figure 33 The picture shows the pump with the optional cooling fan. 254/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 255: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)

    Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
  • Page 256 Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 36 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm.
  • Page 257 Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using clamps to avoid the NOTE tubes from becoming loose or disconnected during operation.

  • Page 258: Vent Accessories

    Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305-IC compatible Vent Valve mod. 9699834 – 9699834M006 Figure 38 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
  • Page 259 Technical Information Vent Accessories To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 39 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 40 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 259/302...
  • Page 260 Technical Information Vent Accessories Connect the connector of the kit on the mating connector (1) on the 305-IC Fan/Vent Adapter kit P/N X3514-68001, when the assembly is completeted. Figure 41 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller.

  • Page 261: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases

    Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e.
  • Page 262 Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Figure 42 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump 10 Vent valve 262/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 263: Purge Valve Installation

    Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to switch off the pump and unscrew the purge port cover as shown in the following figure.

  • Page 264: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Function not applicable as there are electronic parts on the pump. Vibration Isolator Installation Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories.

  • Page 265: Controller Operations

    Technical Information Controller Operations Controller Operations Interconnections The following figure shows the TwisTorr 305-IC on board interconnections. Figure 45 In the picture it is shown the adapter P/N X3514-68001 connected to the pump. Vent valve connector. Cooling fan connector. Connector DB15 for power supply and serial communication and remote inputs and outputs control.

  • Page 266: Vent

    Technical Information Controller Operations 1 - Vent Figure 46 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 2 - External Fan Figure 47 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 3 - IN/OUT and Power Supply Figure 48 This connector carries all the input and output signals to remote control the...
  • Page 267 Technical Information Controller Operations Tab. 2 PIN N. SIGNAL NAME DESCRIPTION ELECTRIC RATING NOTE +24VDC IN Supply Voltage Input Nominal voltage: +24 VDC; Min voltage: +22.8 VDC; Max voltage: +25.2 VDC; Max absorption 7.5 A SOFT START Digital Input (DI) Soft Start Logic Input High Level: Refer to Fig.

  • Page 268: Signal Description

    Technical Information Signal Description Signal Description Start/Stop: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply ("Plug &...
  • Page 269 Technical Information Signal Description Figure 49 Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference size (Frequency or Power or Temperature) set by the user. The default factory setting is the rotational frequency (see the following example diagram). The user can set the reference size by acting via serial command.
  • Page 270 Technical Information Signal Description Figure 50 Fault: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. Programmable set point: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active"...
  • Page 271 Technical Information Signal Description For example: reference quantity: frequency ▪ threshold: 500 Hz ▪ hysteresis: 1% ▪ activation type: "high level" ▪ Figure 51 The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...

  • Page 272: How To Connect The Open Collector Inputs Of The Controller

    Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of the integrated controller to an external system. Figure 52 WARNING! If the power supply for the digital input is supplied by an external power...

  • Page 273: How To Connect The Controller Outputs

    Technical Information How to Connect the Controller Outputs How to Connect the Controller Outputs The following figure shows a typical logic output connection for pin 8, 9, 10 or 11. Figure 53 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 273/302...

  • Page 274: Rs485/Rs232 Communication Description

    Technical Information RS485/RS232 communication description RS485/RS232 communication description Depending on the model of the pump, either the RS485 or the RS232 interface is available. The list of part numbers with RS485 is the following: X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING X3513-64002...
  • Page 275 Technical Information RS485/RS232 communication description The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Communication Format 8 data bit ▪ no parity ▪ 1 stop bit ▪ baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable ▪...

  • Page 276: Windows Protocol

    Technical Information Windows Protocol Windows Protocol The Windows Protocol is a MASTER/SLAVE type where: Host = MASTER ▪ Controller = SLAVE ▪ The communication is performed in the following way: 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 2.
  • Page 277 Technical Information Windows Protocol DATA TYPE FIELD LENGTH VALID CHARACTERS ‘0’ = off Logic (L) ‘1’ = on ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right Numeric (N) justified with ‘0’ Alphanumeric (A) from blank to ‘_’ (ASCII) <ETX> (End of transmission) = 0x03 ▪...
  • Page 278 Technical Information Windows Protocol The controller can answer with the following response types: Tab. 4 TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION Logic 1 byte After a read instruction of a logic window After a read instruction of a Numeric 6 byte numeric window After a read instruction of Alphanumeric 10 byte...
  • Page 279 Technical Information Windows Protocol Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 279/302...
  • Page 280 Technical Information Windows Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 280/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...

  • Page 281: Window Description

    Technical Information Window Description Window Description WIN # READ WRITE TYPE NAME MEANING Always Serial Start/Stop Start/Stop command Always Serial Low Speed Low Speed command Always Always Serial/Remote Configures controller Always Stop & Serial Soft Start Enable/Disable Soft Start option It defines set point type: Always Always...
  • Page 282 Technical Information Window Description WIN # READ WRITE TYPE NAME MEANING external fan configuration: Always Always External Fan Config 0 = Always On 1 = Serial (generic output serially controlled) Always Always External Fan Setting External fan setting Always Always Vent valve opening time Vent valve opening time (expressed in 0.2sec;...
  • Page 283 Technical Information Window Description WIN # READ WRITE TYPE NAME MEANING This location has a bit 283ignificant: Always Warning code 13 = A1 THERMALFAIL 12 = A2 THERMALFAIL 11 = DO1 THERMALFAIL 10 = DO2 THERMALFAIL 9 = V24VDC WARNING UNDERVOLTAGE 8 = ANALOGOUT OUT TOLL 7 = A1 UNDERLOAD 6 = A2 UNDERLOAD...
  • Page 284 Technical Information Window Description WIN # READ WRITE TYPE NAME MEANING Always Worst temp cycle power Always Worst temp cycle frequency Always Worst power cycle number Always Worst power cycle time Always Worst power cycle temperature Always Worst power cycle current Always Worst power cycle power Always...
  • Page 285 Technical Information Window Description WIN # 0 VALUE 1 VALUE UNIT WIN # 0 VALUE 1 VALUE UNIT °C 65535 0,2s 1/10V °C °C °C °C °C °C 1/100V hours hours hours 11 chars 11 chars 4 chars 10 chars 10 chars 10 chars 10 chars...
  • Page 286 Technical Information Window Description 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n.

  • Page 287: Nfc Function

    Technical Information NFC Function NFC Function “Near Field Communication” (NFC), is a technology that provides short-range connectivity. Figure 55 In order to establish communication between the controller and external device (smartphone or tablet) the VacuumLink app must be installed first from Google Play or Apple Store.
  • Page 288 Technical Information NFC Function To use this function, after opening the VacuumLink App, make sure to align the NFC antenna of the smartphone with the NFC icon on the controller and take the smartphone at a distance less than 2 cm (1 in). Figure 56 This function can also be used when the pump is off.

  • Page 289: Screenshot App

    Technical Information Screenshot APP Screenshot APP TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 289/302...

  • Page 290: Connection Through Usb Plug

    Technical Information Connection through USB plug Connection through USB plug Figure 57 Connect the Micro USB "B" cable to the 305-IC. The USB port is recognized by PC as "Virtual COM". All windows and related features of the Windows protocol are available on the "Virtual COM"...

  • Page 291: Error Messages

    Technical Information Error messages Error messages In case a failure occurs, the controller will generate an error message. Please see the list below for guidance. LED STATUS (for ref) MESSAGE DESCRIPTION ACTION Yellow Green Run Up Time The pump has not been able to reach Check for the Run UP Time set- ON, Solid ON, Inv...
  • Page 292 Technical Information Error messages LED STATUS (for ref) MESSAGE DESCRIPTION ACTION Yellow Green VDC Over Voltage The supply input voltage value is too Check for the supply voltage ON, Solid ON, Inv high (>26.4V). value, it has to comply with the Flash specified range Check for the electrical...

  • Page 293: Warning Messages

    Technical Information Warning messages Warning messages LED STATUS (for ref) MESSAGE DESCRIPTION ACTION Yellow Green CK_RTC_RESET Real Time Clock malfunction Contact Agilent to get the appropriate OFF/ON Blinking/Flashing/ directions Solid Solid Inv.Flashing/Solid A1 Accessory Output shut down Power off the unit in order to allow it to OFF/ON Blinking/Flashing/ THERMALFAIL...
  • Page 294 Technical Information Warning messages LED STATUS (for ref) MESSAGE DESCRIPTION ACTION Yellow Green A1 OVERLOAD A1 Accessory Output is Remove all the loads which are OFF/ON ON, Solid Blinking/Flashing/ ACTIVE, too high load is applied to the output; the yellow led Solid Inv.Flashing/Solid connected to the output...

  • Page 295: Accessories And Spare Parts

    Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 5 Accessories and spare parts DESCRIPTION PART NUMBER Air cooling kit (Kit X3514-68001 is required) X3500-68010 Water Cooling Kit for Turbopump 9699337 Plastic Water Cooling Kit 9699347 Vent Valve N.O. 1, 2 mm (Kit X3514-68001 is required) 9699834 Vent Valve N.O.
  • Page 296 Technical Information Accessories and Spare Parts Page intentionally left blank 296/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
  • Page 297 Vacuum Products Division Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased. As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products.
  • Page 298 CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO – QUALITY ASSURANCE FAX N°: XXXX‐011‐9979350 ADDRESS: AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. – Vacuum Products Division – Via F.lli Varian, 54 – 10040 Leinì (TO) – Italy E‐MAIL: vpd‐qualityassurance_pdl‐ext@agilent.com NAME...
  • Page 299 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
  • Page 300 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product.
  • Page 301 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
  • Page 302 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

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Twistorr 305-ic x3513-64003Twistorr 305-ic seriesTwistorr 305-ic x3513-64004Twistorr 305-ic x3513-64001Twistorr 305-ic x3513-64005Twistorr 305-ic x3513-64002 ... Show all

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