Agilent Technologies Turbo-V 3K-G Instruction Manual
  1. Manuals
  2. Brands
  3. Agilent Technologies Manuals
  4. Water Pump
  5. Turbo-V 3K-G
  6. Instruction manual

Agilent Technologies Turbo-V 3K-G Instruction Manual

Pumping system
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Download this manual
Turbo-V 3K-G
Pumping System
969-8888
969-8889
87-901-011-01
OCTOBER 2008
Models
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL

Advertisement

Table of Contents
loading

Related Manuals for Agilent Technologies Turbo-V 3K-G

Summary of Contents for Agilent Technologies Turbo-V 3K-G

  • Page 1 Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Turbo-V 3K-G NOTICE DE MODE D’EMPLOI Pumping System MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING...
  • Page 2 Turbo-V 3K-G...

  • Page 5: Table Of Contents

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................57 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................62 NÁVOD K POUŽITIU............................66 NAVODILA ZA UPORABO..........................71 INSTRUCTIONS FOR USE..........................75 TECHNICAL INFORMATION ...........................80 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 3K-G..................80 Pump Description ......................80 Controller Description ......................81 TECHNICAL SPECIFICATION ....................81 TURBO-V 3K-G OUTLINE......................84 INTERCONNECTIONS........................85 J1 – REMOTE I/O ......................85 CONTROLLED VENT PROCEDURE ................87...
  • Page 6 VENT VALVE INSTALLATION ....................105 PUMP PURGING AND VENTING .....................105 Purge and Vent Installation....................105 Reason to purge the Turbo-V 3K-G pump during operation ...........105 How to purge the Turbo-V 3K-G pump................105 How to vent the Turbo-V 3K-G pump ................105 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION.................106 FORE-VACUUM PUMP CONNECTION ...................106...

  • Page 7: Istruzioni Per L'uso

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa speci- fica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
  • Page 8 Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 3K-G e a non sotto- porla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbo- pompa è...
  • Page 9 PERICOLO! Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi La Turbo-V 3K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il che possano danneggiare i materiali interni alla pompa. sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F.
  • Page 10 Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a esempio la gestione del Purge e del Vent Controllato e la capa- 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 3K-G si avvia automa- cità di comunicare con il sistema in cui la pompa è stata inte- ticamente.
  • Page 11 ISTRUZIONI PER L'USO SMALTIMENTO Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Eu- ropea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

  • Page 12: Gebrauchsanleitung

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfü- gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Ge- wicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
  • Page 13 Ösenschrauben zu benutzen, die am Pumpenkorpus ange- nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian schraubt sind. keinerlei Haftung. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie Modell Turbo-V 3K-G ist ein integriertes System, das aus einer 85/399/EWG für Umweltschutz. Turbomolekularpumpe für Hoch- Höchstvakuum-...
  • Page 14  GEFAHR! ACHTUNG! Die Turbo-V 3K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt wer- Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämp- den. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO fen benutzen, weil sie das Material im Innern der Pumpe be- 250F verwendet werden.
  • Page 15 E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden). Gerät an das Netz anschließen. Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 3K-G gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. Das Signal START von der Fernsteuerung über den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 –...
  • Page 16 GEBRAUCHSANLEITUNG HINWEIS ENTSORGUNG Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um- Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) örtliche Verkaufsstelle zu senden.

  • Page 17: Mode D'emploi

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
  • Page 18 Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- INDICATIONS GENERALES ticulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 3K-G et à ne Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes- lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
  • Page 19 à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne- ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". ATTENTION! Le Turbo-V 3K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation Le Turbo-V 3K-G peut être installée dans n'importe quelle posi-...
  • Page 20 Le Turbo-V 3K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute risé par la société Varian Vacuum Technologies. intervention doit être effectuée par un personnel agréé. NOTE Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 3K-G  DANGER! le contrôleur lance automatiquement le système en exécutant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout ris-...
  • Page 21 MODE D’EMPLOI MISE AU REBUT Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc- tive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com- munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...

  • Page 22: Instrucciones De Uso

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
  • Page 23 Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no ¡ATENCIÓN! se caiga el Turbo-V 3K-G y de no someterlo a golpes o No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la vibraciones. bomba de turbina al sistema.
  • Page 24 Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores  corrosivos que puedan dañar los materiales del interior de la ¡PELIGRO! bomba. La Turbo-V 3K-G no puede ser fijada por medio de su base. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F  ¡PELIGRO! ...
  • Page 25 El sistema cuenta con un LED verde piloteado por una señal de cámara de vacío estado. dar la señal de START a la Turbo-V 3K-G mediante una El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TURBO-V de las siguientes formas:...
  • Page 26 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...

  • Page 27: Instruções Para O Uso

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Page 28 Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é específicas. completamente reciclável e em conformidade com a norma O Turbo-V 3K-G é um sistema integrado, constituído por uma CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
  • Page 29 Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam danificar os materiais no interior da  bomba. PERIGO! A Turbo-V 3K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O  sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange PERIGO! ISO 250F.
  • Page 30 A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do atingir 0,1 mbars Turbo-V 3K-G, indica, através da frequência de intermitência, fornecer à Turbo-V 3K-G o sinal de START num dos as condições operacionais do sistema: seguintes modos: acesa fixa: a bomba funciona normalmente;...
  • Page 31 INSTRUÇÕES PARA O USO ELIMINAÇÃO Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.

  • Page 32: Gebruiksaanwijzingen

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
  • Page 33 Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 3K-G niet kan gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Page 34 De Turbo-V 3K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. anders beschadigd raken. Bevestig de Turbo-V 3K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas koppel van 33000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
  • Page 35 0,1 mbar knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem geef aan de Turbo-V 3K-G het START signaal op een is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for van de volgende manieren: interlock”;...
  • Page 36 GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.

  • Page 37: Brugsanvisning

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Page 38 Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke skader, der kan være opstået under transporten. ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Sørg for, at Turbo-V 3K-G ikke tabes eller udsættes for stød disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt ved udpakningen.
  • Page 39 BRUGSANVISNING til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 3K-G, har en VIGTIGT! passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er som angivet i normen EN 61010-1. blevet sluttet til systemet.
  • Page 40 "Technical "RS232/485 Communication Description" i bilaget Information"). "Technical Information"). Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 3K-G i nødsituationer sker ved at koble  ADVARSEL! ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, Turbo-V 3K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og...

  • Page 41: Bruksanvisning

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
  • Page 42 Se till Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av att Turbo-V 3K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av uppackningen.
  • Page 43 Turbo-V 3K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast skadade. fläns som måste tåla ett vridmoment på 33000 Nm kring sin Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från...
  • Page 44 BRUKSANVISNING Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Användning av Turbo-V 3K-G Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 3K-G Hur du startar systemet anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: Kontrollera innan du startar systemet att I/O-kontakten har •...
  • Page 45 BRUKSANVISNING BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.

  • Page 46: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Page 47 Når Turbo-V 3K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 48 ADVARSEL! Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Turbo-V 3K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen, kun festes ved hjelp av sin egen ISO 250F flens.
  • Page 49 Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Gi et fjernstyrt stoppsignal med I/O kontakt (se avsnittet Gi et startsignal til Turbo-V 3K-G på en av følgende måter: "J1 - REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information") Kople til I/O kontakten som følger med...

  • Page 50: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 44/107 87-901-011-01...
  • Page 51 Lisäksi pumpussa on apuliittimet, jotka mahdollistavat sen kauko-ohjauksen isäntätietokoneella, joka on kytketty siihen HUOM sarjakaapelilla (RS232 tai RS485). Turbo-V 3K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään.
  • Page 52 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOMIO!  Turbo-V 3K-G kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten VAARA! mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan nosto- ja siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on vaatimukset.
  • Page 53 Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 3K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;...

  • Page 54: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Page 55 σπείρωμα που έχουν γίνει στο σώμα της αντλίας. epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 3K-G kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij. 49/107...
  • Page 56  KINDUNOS! Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn, Η Turbo-V 3K-G δεν μπορεί να στερεωθεί μέσω της βάσης της. Το eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. σύστημα μπορεί να στερεωθεί μόνο μέσω της φλάντζας του ISO Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
  • Page 57 Πρέπει να επισημανθεί ότι η λειτουργία αυτή, εκτός από το να αποσυνδέσει ηλεκτρικά την αντλία, Όταν τίθεται σε κίνηση η Turbo-V 3K-G για πρώτη φορά, ο controller αποσυνδέει επίσης και όλες τις άλλες λειτουργίες του εκκινεί αυτομάτως το σύστημα με μια ειδική διαδικασία που...
  • Page 58 ODHGIES CRHSHS Χώνευση Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE". Αυτό το σύμβολο (που ισχύει μόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρμοσμένο, ΔΕΝ...

  • Page 59: Használati Utasítás

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Page 60 ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A Turbo-V 3K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
  • Page 61 VIGYÁZAT!  VIGYÁZAT! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok A Turbo-V 3K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ISO 250F karimával rögzíthető. ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N...
  • Page 62 Varian vákuumtechnológiai elvégeznie. személyzet végezheti.  MEGJEGYZÉS VIGYÁZAT! Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 3K-G-t, a vezérlő egység A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a automatikusan elindítja a rendszert egy különleges eljárással, tápfeszültségről, szellőztesse szivattyút megfelelő amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása...

  • Page 63: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Page 64 Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 3K-G ani niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
  • Page 65 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz dodatek “Technical Information”. Turbo-V 3K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
  • Page 66 − zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie wartość 0,1 mbar normalnych obrotów; dostraczyć do Turbo-V 3K-G sygnał STARTU w jeden z − miga powoli (okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub następujących sposobów: hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for a.
  • Page 67 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW INFORMACJA Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy lub Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo advanced exchange service, należy obowiązkowo wypełnić i “WEEE”. przekazać miejscowego biura sprzedaży kartę Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia „Bezpieczeństwo i Zdrowie”...

  • Page 68: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
  • Page 69 VAROVÁNÍ normách. Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé Vývěva Turbo-V 3K-G je integrovaný systém s turbomolekulární ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
  • Page 70 Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který "Technical Information". je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí Vývěva Turbo-V 3K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem). (viz "Technical Information").
  • Page 71 "Technical Information"). Nouzové zastavení  VÝSTRAHA! Chcete-li vývěvu Turbo-V 3K-G v nouzové situaci okamžitě zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. Je však třeba mít na Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15- paměti, že tato operace nejen kompletně vypne napájení...

  • Page 72: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Page 73 VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Turbo-V 3K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian.
  • Page 74 Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte k vonkajším okruhom tak, aby nebola dostupná žiadna turbovývevu k systému. elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 3K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa UPOZORNENIE smernice EN 61010-1.
  • Page 75 Ako zariadenie zastaviť vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov: Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 3K-G jedným z odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia nasledovných spôsobov: poslaním vzdialeného signálu stop cez I/O konektor (pozri pripojením dodaného protikusu I/O konektora...
  • Page 76 NÁVOD K POUŽITIU LIKVIDÁCIA Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...

  • Page 77: Navodila Za Uporabo

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Page 78 Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 31800 rpm), ki jo reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399. vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 3K-G ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« POZOR vakuumiranje.
  • Page 79 Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. POZOR POZOR Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 3K-G v skupino za Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na turbo črpalko na sistem.
  • Page 80 0.1 mbar Zaustavitev v sili oddajte signal za začetek z enim od naslednjih načinov: Za zaustavitev naprave Turbo-V 3K-G v sili morate odstraniti a. Priključite priložen I/O priključek napetost. Treba je vsekakor upoštevati dejstvo, da ta operacija b.

  • Page 81: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
  • Page 82 PREPARATION FOR INSTALLATION CAUTION The Turbo-V 3K-G is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump transport, contact your local sales office.
  • Page 83 Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 3K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1. For installation of optional accessories, see "Technical Informa- tion".
  • Page 84 NOTE  When you run the Turbo-V 3K-G for the very first time, the con- WARNING! trol unit automatically starts the system with a special proce- Before carrying out any work on the system, disconnect it from...
  • Page 85 INSTRUCTIONS FOR USE DISPOSAL Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Com- munity) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Page 86: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBO-V 3K-G Pump Description The Turbo-V 3K-G pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated integrated controller fixed ing a turbine fitted with bladed stages. The turbine to it.

  • Page 87: Controller Description

    TECHNICAL INFORMATION Nitrogen Argon with Purge Open Fail "Pump Overtemp" Argon with Purge Closed T body [°C] (Win 216) The pump is balanced after assembly with a resid- based software is available as an option), or by the ual vibration amplitude less than 0.01 μm. remote I/O connector.
  • Page 88 390 W for Argon with purge off NOTE Protection fuse 2 x 12,5 A When the Turbo-V 3K-G has been stored at a tem- perature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned ambient temperatures before starting the pump.
  • Page 89 TECHNICAL INFORMATION 2500 2000 1500 1000 1,0E-08 1,0E-07 1,0E-06 1,0E-05 1,0E-04 1,0E-03 1,0E-02 1,0E-01 Inlet Pressure [mbar] Typical Pumping Speed curves 1,E+09 1,E+08 1,E+07 1,E+06 1,E+05 1,E+04 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01 Foreline Pressure [mbar] Nitrogen Helium Argon Compression Ratio Vs.

  • Page 90: Turbo-V 3K-G Outline

    TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 3K-G OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 3K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). 84/107 87-901-011-01...

  • Page 91: Interconnections

    530 Hz linearly (see the following diagram). This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the Turbo-V 3K-G. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.
  • Page 92 - hysteresis: not relevant - activation type: active close (NO) - delay time: 0 second PURGE/VENT VALVES: the Turbo-V 3K-G pump- ing system integrates the “purge” and “vent” valves. The two valves are Normally Closed so if a power fail occur, the valves will remain closed.

  • Page 93: Controlled Vent Procedure

    TECHNICAL INFORMATION 1 “OnCommand” 0=”Controlled Vent Procedure”(def) 1=Remote-I/O ( def ) Win.126 set the “Vent Valve Opening Delay”, from 0 to 65535, 1bit=0.2s, def=0.2s=1bit Pin-10 Low -> Purge Close Win.147 set the “Vent Valve Open Time”, from 0 to 0=Serial Pin-10 High ->...

  • Page 94: J2 - Serial

    Electrical connections examples: J2 - Serial • Start-Stop or Interlock This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 3K-G. PIN N. SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232) RX (RS232)

  • Page 95: Communication Protocol

    TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an Communication Protocol ANSWER whose structure depends from the The communication protocol is a MASTER/SLAVE MESSAGE type. type where: When the MESSAGE is a reading command, the • Host = MASTER SLAVE will respond transmitting a string with the •...
  • Page 96 TECHNICAL INFORMATION Examples: Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller Command: START Source: PC Destination: Controller STX ADDR WINDOW OFF ETX STX ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC Source: Controller Destination: PC STX ADDR ACK ETX STX ADDR ACK ETX Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3)

  • Page 97: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Write Type Values Analog out- 0 = frequency put type: 1 = power Start/Stop Start = 1 output volt- (in remote Stop = 0 (default = 0) age signal mode the proportional...

  • Page 98: Monitorr

    Error code Bit description: see the following MONITORR figure An integrated MoniTorr card is suitable for the Turbo-V 3K-G. This feature allows the pump’s vi- Controller °C temperature bration spectra acquisition and download. The n. 1 necessary hardware is totally integrated into the...

  • Page 99: Powering On The Monitorr

    Operation). The MoniTorr card is powered from In order to install and operate the MoniTorr card of the controller. the Turbo-V 3K-G it’s necessary to use the Monitor Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should install it on any windows based PC with at least Operation one RS232 port.

  • Page 100: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION 7. Install the MoniTorr File Download Program NOTE PC (FileDW\Setup.exe on CD rom); see In- The computer can be always connected to the stalling the File Download Software paragraph MoniTorr or only sometimes to download the vibra- 8. Connect the RS232 cable from PC to Protocol tion files.

  • Page 101: Installing The File Download Software

    TECHNICAL INFORMATION Installing the File Download Software The MoniTorr connectivity kit comes with the soft- ware needed to transfer via RS-485 all the data stored. To install the software simply insert the CD into the personal computer drive and run the Setup program.

  • Page 102: Operating Procedure

    TECHNICAL INFORMATION Operating Procedure Modifying the Parameters Proceed as follows to correctly use the controller: The operator can change the configuration of the Monitorr parameters. • Power on the system. The related LED on the To change the configurations select one of the front panel will come on.

  • Page 103: Profibus Option

    TECHNICAL INFORMATION Installation This option is factory installed. The profibus connector pin-out is reported in the following figure. Please in order to obtain best per- formance use profibus certified cables. CAUTION To maintain the IP-54 protection level, use the appropriate connector provided with the pump. *Only for information: all files are automatically stored in the directory C:\Varian\ PROFIBUS OPTION...

  • Page 104: Software Operation And State Machine

    TECHNICAL INFORMATION 1 pulse ProfiBus link established, controller link NOT established yet (Controller state machine not in Regular data exchange). This situation could be normal in the first 45 seconds after the interface power on (Controller address searching phase) or after the controller power-on.
  • Page 105 TECHNICAL INFORMATION between the ProfiBus network and the pump’s ters depends directly to the specific model of controller serial interface. As a consequence of Turbo Pump controller connected to the interface. this, the scale and the meaning of some parame- PROFIBUS MESSAGE MAPPING PARAMETER BUFFER (17 BYTES) OFFSET...
  • Page 106 TECHNICAL INFORMATION PARAMETER BUFFER (17 BYTES) (continued) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL Bit Field B0.. B1 - Reserved - B2.. B3 - Start/Stop/Interlock Mode Change the logic of Start/stop and Interlock inputs. Ask to Varian personnel for this option B4..
  • Page 107 TECHNICAL INFORMATION INPUT BUFFER (15 WORDS) OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL 0-10000 Current Motor current consumption 0-750 Power Motor power adsorption 0-750 Power Limit Applied Maximum allowable power 0-530 Driving Frequency Read the rotational speed of the pump 0-530 Target Frequency Read the target rotational speed...
  • Page 108 TECHNICAL INFORMATION OFFSET SIZE UNIT RANGE DESCRIPTION BYTE BYTE SERIAL B3 – Power Fail (internal circuitry failure) B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Tem- perature" are over the limit) B1 - Pump Over-temperature (“Pump Bearing Temperature” or “Pump Body Temperature” are over the limit) B0 –...

  • Page 109: Diagnostic Management

    TECHNICAL INFORMATION Diagnostic management Diagnostic buffer In addition to the ProfiBus six byte standard diag- MEANING nostic, the interface provides both user diagnostic and static diagnostics functions station non exist (set by master) station not ready (slave not ready for data exchange) The standard diagnostic management is fully com- cfg fault (configuration data doesn’t...

  • Page 110: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION CAUTION The inlet screen prevent the blades of the pump If the chamber of the system is "baked" at a high from being damaged by debris greater than 5.2 temperature, a shield should be installed to pre- mm diameter.

  • Page 111: Vent Valve Installation

    (if present). then connect the gas line. Turn off the Turbo pump by sending the Reason to purge the Turbo-V 3K-G pump dur- STOP signal to the controller. ing operation The Turbo-V 3K-G pump will automatically Keep the gas purge on at all times during pump start the “Controlled Venting Procedure”...

  • Page 112: High Vacuum Flange Connection

    HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION mechanical pump must be eliminated through the To connect the Turbo-V 3K-G pump to the ISO F use of bellows. inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring with outer ring as shown in the fig- ure.

  • Page 113: Orderable Parts

    DESCRIPTION PART NUMBER Turbo-V 3K-G ISO 250 F system with 969-8888 Monitorr with integrated purge/vent valves Turbo-V 3K-G T ISO 250 F with ProfiBus 969-8889 and MoniTorr with integrated purge/vent valves Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long...
  • Page 114 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
  • Page 115 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Page 116 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)

This manual is also suitable for:

969-8888969-8889

Table of Contents