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Summary of Contents for LEYBOLD TURBOTRONIK NT 10
- Page 1 Applikations- LEYBOLD VAKUUM Vakuum-Lösungen Service Unterstützungen GA 05.212/7 TURBOTRONIK NT 10 NT 12 NT 13 Elektronische Frequenzwandler Electronic frequency converters Kat.-Nr. / Cat. No. 859 00 859 01 859 04 859 05 859 06 859 07 Gebrauchsanleitung Operating Instructions...
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Page 2: Table Of Contents
INHALTSVERZEICHNIS SICHERHEIT - WARNHINWEISE ........4 BESCHREIBUNG 1.1 Funktion und Aufbau ...............5 1.1.1 TURBOTRONIK NT 10 ............ 6 1.1.2 TURBOTRONIK NT 12 .............6 1.1.3 TURBOTRONIK NT 13 mit Druck Trigger ......6 1.2 Technische Daten ..............7 1.3 Lieferumfang ................7 1.4 Zubehör .................. - Page 3 Fig. 29 - 34 Anschlußbeispiele Fernbedienung ......28 Hinweis (5/3) = Verweis auf eine Abbildung. Die erste Ziffer gib die NR. der Abbildung an, die zweite Ziffer die Position in dieser Abbildung. – 3 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 4: Sicherheit - Warnhinweise
Gefährdung von Personen auszuschließen. Definition Achtung Achtung: Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverhalten, die ge- nau einzuhalten sind, um Beschädigungen oder Zerstörungen des Gerätes zu vermeiden. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren! – 4 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 5: Beschreibung
BESCHREIBUNG 1.1 Funktion und Aufbau Die elektronischen Frequenzwandler TURBOTRONIK NT 10, NT Bestimmung und 12 und NT 13 dienen zum Antrieb der TURBOVAC 50 und 50D. Funktion Sie unterscheiden sich: im Gehäuse, in den Anschlußsteckern, den Bedienmöglichkeiten, im Lieferumfang und in der Auslieferungskonfiguration. -
Page 6: Turbotronik Nt 13 Mit Druck Trigger
BESCHREIBUNG 1.1.1 TURBOTRONIK NT 10 Tischgerät oder zum Einbau in ein Rack 19", 3 HE Frontseite: Folien-Tastatur, 4 LEDs, Tasten „START“ und „STOP“ Gehäuse: Aluminium-Strangpreßprofil. Rückseite: 10-poliger Phönix-Stecker für Fern- Überwachung und -Steuerung, 5-poliger Stecker für TURBOVAC-Anschluß, Netz-Anschlußleitung mit Schutzkontaktstecker 3 m lang und ein Netzschalter Fig.1 TURBOTRONIK NT10... -
Page 7: Turbotronik Nt 10
1.3 Lieferumfang Die Verbindungsleitung zur TURBOVAC ist nicht im Lieferumfang enthalten! 1.3.1 TURBOTRONIK NT 10 TURBOTRONIK NT 10, Feinsicherungen, Gegenstecker für Phö- nix-Stecker (Steuerklemmleiste X10), aufsteckbarer Gerätefuß für den Tischbetrieb, vier Klebefüße, 4 Linsenkopfschrauben M 3x8, die Netzleitung ist angebaut. - Page 8 BESCHREIBUNG TURBOTRONIK NT10 TURBOTRONIK NT12 TURBOTRONIK NT13 Schalttafelausbruch für TURBOTRONIK NT10 und N13 Fig. 4 Maßzeichnungen der TURBOTRONIK NT10, NT12, NT13 – 8 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 9: Zubehör
BESCHREIBUNG 1.4 Zubehör Bestell-Informationen Kat.-Nr. TURBOTRONIK NT 10 Elektronische Frequenzwandler 200 V - 240 V ..............859 00 100 V - 120 V ..............859 01 TURBOTRONIK NT 12 200 V - 240 V ..............859 04 100 V - 120 V ..............859 05 TURBOTRONIK NT 13 200 V - 240 V .............. -
Page 10: Turbotronik Nt10 Anschluß Und Betrieb
Netz zu trennen. 2.1 Gerätekonfiguration 2.1.1 Netzspannungsbereich Die TURBOTRONIK NT 10 kann mit zwei Netzspannungen betrie- ben werden, zwischen 200-240 V oder zwischen 100-120 V. Sie ist werkseitig auf einen Netzspannungsbereich eingestellt, je nach Bestellnummer, siehe Kat.Nr. unter Abschnitt 1.4. -
Page 11: Turbotronik Einbauen
Die vier Klebefüße an der Unterseite des Geräte- fußes und im hinteren Bereich des Gerätes aufkleben. Rack-Einbau Die TURBOTRONIK NT 10 läßt sich in ein Rack einbauen. Hierbei auf ausreichende Belüftung achten. Die Umgebungstemperatur darf 40°C bei Betrieb nicht übersteigen. -
Page 12: Betriebsarten / Fernsteuerung
1 Netzleitung Fig.5 Rückseite der TURBOTRONIK NT10 2. 4 Betriebsarten / Fernsteuerung Im Auslierungszustand der TURBOTRONIK NT 10 sind 4 Be- triebsarten möglich durch Beschaltung der Eingänge 1, 2 und 3 des Steuersteckers X10 auf der Rückseite der TURBOTRONIK . -
Page 13: Fernbedienung Über Einen Externen Schalter
Abschnitt 2.4. Nur die LED „POWER“ leuchtet. Nach dem Beheben einer Störung ebenfalls die Taste „STOP“ drücken oder die TURBOVAC über eine Fernbedienung abschal- ten und dann erst wieder starten. – 13 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 14: Turbotronik Nt12 Anschluß Und Betrieb
1 Minute im Drehzahlbereich zwischen 45000 und 55000 min bleibt. Die Resonanzüberwachung ist im Auslieferungszustand ak- tiv und kann zum Betrieb der TURBOVAC 50 ausgeschaltet wer- den; siehe dazu Abschnitt 5.6. – 14 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 15: Turbotronik Einbauen
Pins 8-10 geschlossen: „NORMAL“. Pins 8-10 offen: „ACCEL“, Stillstand oder Störung. Beim Beim Auftreten eines Fehlers zieht Relais 2 an und die Pins 12 und 14 sind gebrückt (Arbeitskontakt). – 15 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 16: Betriebsarten / Fernbedienung
Wird „START“ (Pin 16) mindestens 3 Sekunden mit Pin 4 über ei- nen Schließer-Taster verbunden, startet die TURBOVAC. Wird die Verbindung der Eingänge „Stop“ (Pin 4 u. 6) mit einem Öffner ge- trennt, stoppt die TURBOVAC. – 16 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 17: Fernbedienung Über Einen Externen Schalter
Die TURBOVAC über die Fernbedienung abschalten; siehe Ab- TURBOVAC abschalten schnitt 3.4. Nur die LED „POWER“ leuchtet. Nach dem Beheben einer Störung ebenfalls die TURBOVAC über die Fernbedienung abschalten und dann erst wieder starten. – 17 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 18: Turbotronik Nt13 Anschluß Und Betrieb
Die Resonanzüberwachung ist im Auslieferungszustand aktiv und am Gerät oder in der zum kann zum Betrieb der TURBOVAC 50 ausgeschaltet werden, sie- Gerät gehörenden Gebrauchs- he dazu Abschnitt 5.6 anleitung zu notieren. – 18 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 19: Turbotronik Einbauen
Die Einstellung des Grenzwerts hängt stark vom Einsatzfall ab. Dazu erbitten wir bei Bedarf Ihre Anfrage. Die Relaiskontakte dürfen mit Netzspannung oder Funktionsklein- spannung belegt werden. Hierbei die entsprechenden Sicher- heitsbestimmungen beachten. – 19 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 20: Meßbuchsen Anschließen
Strom und Spannung sinken mit sinkendem Ansaugdruck Zeit ca. 90 s Fig. 8 Spannung an den Meßbuchsen auf der Frontplatte in Abhängigkeit von der Zeit beim Einschalten der TURBOTRONIK (qualitativ) – 20 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 21: Betriebsarten / Fernsteuerung
TURBOTRONIK den vorgegebenen Grenz- wert unterschreitet. TURBOVAC und TURBOTRONIK durch Ausschalten der Netz- TURBOVAC ausschalten spannung abschalten. Nach dem Beheben einer Störung ebenfalls TURBOVAC und TURBOTRONIK abschalten und dann erst wieder einschalten. – 21 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 22: Gerätekonfiguration Einstellen
Schraubendreher umgeschaltet wer- den; siehe dazu die Beschriftung auf dem Gehäuse. Eine Sicherung muß beim Umstellen des Netzspannung-Berei- ches nicht gewechselt werden. Netzspannungsbereich einstellen NT12 Netzspannungs- Wahlschalter Fig.10 Netzspannungs-Wahlschalter TURBOTRONIK NT12 – 22 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 23: Platinen Ausbauen
Die Platinen wieder zusammenklappen, verschrauben und ein- am Gerät oder in der zum bauen. Gerät gehörenden Ge- Die Meßbuchsen in der Frontplatte wieder polrichtig anschließen. brauchsanleitung zu notie- ren. Front- und Rückplatte wieder anbauen. – 23 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 24: Lage Der Steckkontakte Und Jumper
Druck Trigger Ein *) Sryhv†ÃF! Fail (Störung) Steuerung Vorvakuumpump *) I (Zwischenkreisstrom) < I (Stromgrenzwert) vorgegeben durch das Poten- tiometer des Druck Triggers. Aus = nicht aktiv; Ein = aktiv – 24 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 25: Konfiguration Relais K1 Einstellen
Fig. 17 Funktion „Steuerung Über das Relais wird gleichzeitig mit „START“ Vorvakuumpumpe“ der TURBOVAC die Vorvakuumpumpe einge- schaltet und mit „STOP“ ausgeschaltet (siehe auch Abschnitt 5.4, Relaiszustände). Fig. 18 – 25 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 26: Resonanzüberwachung Einstellen
NT 13 leiste X11 dienen bei der NT12 als Steuer- eingänge zum Ein- und Ausschalten der TURBOVAC. Die NT13 kann auf diese Konfiguration umgestellt werden. Auslieferungszustand NT 12 Fig. 24 – 26 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 27: Motorfrequenz Messen
Schaltungsbeispiel +5 V Motorfrequenz messen Messer- kontaktleiste 2,2 KΩ Tor (Q5) Frequenz (Q1). Torzeit Motorfrequenz 0 V *) *) Bezugspotential für +5 V und Signale Fig. 28 Motorfrequenz messen – 27 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 28: Anschlußbeispiele Für Fernbedienung
Funktion - Klemme STOP 1 X10, Pin 2 (NT 10) X11, Pin 4 (NT 12, NT 13) STOP 2 X10, Pin 3 (NT 10) X11, Pin 6 (NT 12, NT 13) – 28 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 29: Fehlersuche
• Netzschalter nicht eingeschaltet (nur NT 10). • Sicherung defekt. Verbindung zum Netz herstellen Netzschalter an der Rückseite TURBOTRONIK NT 10 einschal- Sicherung (siehe Fig. 11) prüfen und ggf. auswechseln. Öffnen der TURBOTRONIK unter Abschnitt 5.1 und 5.2. • Leck im Vakuumsystem, so daß die Nenndrehzahl nicht erreicht LED “ACCEL”... - Page 30 • Pumpe dreht falsch herum. aber es wird kein ausrei- chender Enddruck er- Leck suchen und beseitigen! reicht Die 3 Phasen des Motoranschlusses prüfen; bei Fehler 2 Pha- sen tauschen. – 30 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 31: Eg Herstellererklärung
(DIN VDE 0113 Teil 1) EN 61010-1 (DIN VDE 0411 Teil 1) Metzingen, den 02.01.1996 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann Geschäftsleitung Die Sicherheitshinweise der mitgelieferten Produktdokumentation sind zu beachten. – 31 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 32: Eg Konformitätserklärung
(DIN VDE 411 Teil 1) Ausgabe 1994-03 Anbringung der CE-Kennzeichnung: 1996 Metzingen, den 02.01.1996 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann Geschäftsleitung Die Sicherheitshinweise der mitgelieferten Produktdokumentation sind zu beachten. – 32 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 33: Werksbescheinigung
Angaben zur EMV-gerechten Installation für den bestimmungsmäßigen Betrieb und weitere zutreffende Hinweise in der mitgelieferten Produkt- dokumentation sowie die jeweils zutreffenden Anschlußbedingungen müssen beachtet werden. Metzingen, den 02.01.1996 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann Geschäftsleitung – 33 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... - Page 34 TABLE OF CONTENTS SAFETY-WARNING INFORMATION ........4 DESCRIPTION ............5 1.1 Function and design ...............5 1.1.1 TURBOTRONIK NT 10 ............ 6 1.1.2 TURBOTRONIK NT 12 ............ 6 1.1.3 TURBOTRONIK NT 13 with pressure trigger ....6 1.2 Technical data ................7 1.3 Scope of supply ..............
- Page 35 Fig. 29 - 34 Connecting examples for remote control ..... 28 Note (5/3) = refers to figure. The first digit refers to the number of the figure, the second digit to the position. – 3 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 36: Safety-Warning Information
Warning: Refers to working- and operating procedures which Definition of warning must be precisely maintained in order to prevent the equipment being damaged or destroyed. Keep the Instruction Manual in a safe place for future use! – 4 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 37: Description
The electronic TURBOTRONIK frequency converters can be connected to external open-loop control- and monitoring devices with electrical isolation. The cable connections between TURBOTRONIK - TURBOVAC can be a maximum of 100 m. – 5 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 38: Turbotronik Nt 10
DESCRIPTION 1.1.1 TURBOTRONIK NT 10 Desktop unit or for mounting in a rack 1/4 19”, 3 HE Front panel: Membrane keypad, 4 LEDs, “START” and “STOP” keys Housing: Extruded aluminum housing. Rear panel: 10-pin Phönix connector for remote monitoring and control, 5-pin connector to connect... -
Page 39: Technical Data
The connecting cable to the TURBOVAC is not included in the scope of supply! 1.3.1 TURBOTRONIK NT 10 TURBOTRONIK NT 10, miniature fuses, mating connector for the Phönix connector (control terminal strip X10), attachable feet for desktop operation, 4 adhesive feet, four M 3x8 screws, the power cable is permanently attached. - Page 40 DESCRIPTION TURBOTRONIK NT10 TURBOTRONIK NT12 TURBOTRONIK NT13 Panel cut-out for TURBOTRONIK NT10 and N13 Fig. 4 Dimension drawings of the TURBOTRONIK NT10, NT12, NT13 – 8 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 41: Accessories
DESCRIPTION 1.4 Accessories Ordering information Cat. No. TURBOTRONIK NT 10 Electronic frequency 200 V - 240 V ..............859 00 converter 100 V - 120 V ..............859 01 TURBOTRONIK NT 12 200 V - 240 V ..............859 04 100 V - 120 V .............. -
Page 42: Turbotronik Nt10 Connection And Operation
Section 5. 2.1.3 Resonance monitoring TURBOTRONIK NT 10 has a resonance monitoring function for the TURBOVAC 50D. The resonance monitoring function shuts down the drive and displays a fault if the pump remains in the speed range between 45,000 and 55,000 RPM for longer than approximately 1 minute. -
Page 43: Installing Turbotronik
TURBOTRONIK NT10 CONNECTION AND OPERATION 2.2 Installing TURBOTRONIK TURBOTRONIK NT 10 is supplied in a housing as desktop unit. Operating as desktop When required, feet can be attached to the lower side. The feet unit can be attached by inserting them into the lowest groove of the corner strip from the back and pushing them towards the front until they lock-in. -
Page 44: Operating Modes/Remote Control
Fig.5 Rear panel of the TURBOTRONIK NT10 2.4 Operating modes/remote control When TURBOTRONIK NT 10 is shipped, 4 operating modes are possible by appropriately connecting inputs 1, 2 and 3 of control connector X10 at the rear panel of the TURBOTRONIK. -
Page 45: Remote Control Via An External Switch
Section 2.4. Only the “POWER” LED is lit. After a fault has been removed, also depress the “STOP” button, or shutdown TURBOVAC via remote control and then restart it. – 13 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 46: Turbotronik Nt12 Connection And Operation
45,000 and 55,000 RPM for longer than approximately 1 minute. When shipped, the resonance monitoring function is active, and can be disabled when operating the TURBOVAC 50; also refer to Section 5.6. – 14 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 47: Installing Turbotronik
• Pins 8-10 closed: “NORMAL” • Pins 8-10 open: “ACCEL”, standstill or fault When a fault occurs, relay 2 pulls-in and pins 12 and 14 are jumpered (NO contact). – 15 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 48: Operating Modes/Remote Control
TURBOVAC starts if “START” (pin 16) is connected for at least 3 seconds with pin 4 via an NO pushbutton. TURBOVAC stops if the connection to the “STOP” inputs (pins 4 and 6) is interrupted using an NC contact. – 16 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 49: Remote Control Via An External Switch
Switch-off TURBOVAC via the remote control; refer to Section 3.4. Switching-off TURBOVAC Only the “POWER” LED is lit. After a fault has been removed, also shutdown the TURBOVAC via the remote control and then restart it. – 17 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 50: Turbotronik Nt13 Connection And Operation
When shipped, the resonance monitoring function is active, and can itself, or documented in the be disabled when operating the TURBOVAC 50; also refer to Section associated Instruction 5.6. Manual. – 18 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 51: Installing Turbotronik
The limit value setting is very dependent on the particular application. When required, please contact us. The supply voltage or functional extra low voltage can be connected to the relay contacts. Observe the appropriate safety regulations. – 19 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 52: Connecting The Test Sockets
Current and voltage decrease with decreasing inlet pressure time approx. 90 s Fig. 8 Voltage at the front panel test sockets as a function of time when TURBOTRONIK is switch-on (qualitative) – 20 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 53: Operating Modes/Remote Control
TURBOTRONIK falls below the specified limit value. Shutdown TURBOVAC and TURBOTRONIK by switching-off the Switching-off supply voltage. TURBOVAC After a fault has been removed, also shutdown TURBOVAC and TURBOTRONIK, and then switch-on again. – 21 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 54: Setting The Equipment Configuration
When changing-over the supply voltage range, the fuse does not have to be changed. Setting the supply voltage range for NT12 Supply voltage selector switch Fig.10 Supply voltage selector switch TURBOTRONIK NT12 – 22 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 55: Withdrawing The Pc Boards
Instruction Connect-up the test sockets again in the front panel ensuring Manual. that the polarity is correct. Re-install the front- and rear panels. – 23 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 56: Locations Of The Plug-In And Jumpers
Fail (fault) Control, pre-vacuum pump *) I (DC link current) < I (current limit) specified by the pressure trigger DC link limit potentiometer Off = not active; On = active – 24 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 57: Setting The Configuration Of Relay K1
TURBOVAC is function started with “START”, and is powered-down with “STOP” (also refer to Section 5.4, relay statuses). Fig. 18 – 25 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 58: Setting The Resonance Monitoring Funct
X11 are used for the NT12 as control inputs to power the TURBOVAC on and off. NT13 can also be changed-over to this particular configuration. Status when shipped NT 12 Fig. 24 – 26 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 59: Measuring The Motor Frequency
2,2 KΩ Gating signal (Q5) Frequency (Q1). Gating Motor frequency time 0 V *) *) Refernece potential for +5 V and signals Fig. 28 Measuring the motor frequency – 27 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 60: Connecting Examples For Remote Control
STOP 1 X10, Pin 2 (NT 10) X11, Pin 4 (NT 12, NT 13) STOP 2 X10, Pin 3 (NT 10) X11, Pin 6 (NT 12, NT 13) – 28 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 61: Troubleshooting
Establish the connection to the supply Switch-on the power switch at the rear panel of the TURBOTRONIK NT 10 Check the fuse (refer to Fig. 11) and if required, replace. Open- up the TURBOTRONIK as explained under Sections 5.1 and 5.2. - Page 62 Pump rotates in the incorrect direction LED is lit, but an Remove the leak! adequate final pressure Check the three motor connection phases; if applicable, is not achieved interchange 2 phases – 30 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97...
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Page 63: Ec Declaration Of Manufacture
EN 60204-1 (DIN VDE 0113 part 1) EN 61010-1 (DIN VDE 0411 part 1) 1996-01-02 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann President The savety notes given in the product documentation must be observed. – 31 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 64: Ec Declaration Of Conformity
EN 61010-1 (DIN VDE 411 part 1) Edition 1994-03 Display the CE-mark: 1997 1996-01-02 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann President The savety notes given in the product documentation must be observed. – 32 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... -
Page 65: Factory Certificate
1996-01-02 REFU elektronik GmbH ........... H. Baumann President – 33 – © LEYBOLD VAKUUM GMBH GA 05.212/7 - 04/97... - Page 66 LEYBOLD VAKUUM GMBH Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: (0221) 347-0 Telefax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...
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