1. Manuals
  2. Brands
  3. Agilent Technologies Manuals
  4. Industrial Equipment
  5. TV 551/701 SEM
  6. User manual

Agilent Technologies TV 551/701 SEM User Manual

Navigator
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Download this manual
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-958-01 (I)
12/2017
TV 551/701 SEM
Navigator
Pump models
9698935, 9698936, 9698937, 9698938
Controller models
9698976, 9698977
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Advertisement

Table of Contents
loading

Related Manuals for Agilent Technologies TV 551/701 SEM

Summary of Contents for Agilent Technologies TV 551/701 SEM

  • Page 1 TV 551/701 SEM Navigator Pump models 9698935, 9698936, 9698937, 9698938 Controller models 9698976, 9698977 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
  • Page 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 3 TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 3/330...
  • Page 4 TV 551/701 SEM Navigator 4/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 5: Table Of Contents

    Installazione Fissaggio della pompa Uso 24 Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 37 Gebrauch Wartung TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 5/330...
  • Page 6 Manual de istrucciones 61 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 63 Almacenamiento Preparación para la instalación 66 Instalación 67 Fijación de la bomba 69 Uso 71 Mantenimiento 74 Eliminación 75 6/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 7 Manutenção Eliminação 92 Bedrijfshandleiding 93 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie Opslag Uitpakken 98 Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Onderhoud 106 Afvalverwerking 107 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 7/330...
  • Page 8 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 126 Allmänt Förvaring Förberedelser för installationen 130 Installation 131 Fastsättning av pump Användning 134 Underhåll Bortskaffande Instruksjon Manual 139 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 141 Lagring 8/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 9 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 157 Valmistelut asennusta varten158 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 169 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 170 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 9/330...
  • Page 10 Mocowanie pompy 193 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 199 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 202 Všeobecné informace Uskladnění 205 Příprava k instalaci 206 Instalace Montáž vývěvy 208 Použití 10/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 11 Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 232 Splošne informacije 233 Shranjevanje Priprava za montažo 236 Montaža Pritrjevanje črpalke 239 Uporaba Vzdrževanje 244 Odlaganje opadkov 245 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 11/330...
  • Page 12 Technical Specification 269 TV 551/701 SEM Navigator Outline 272 Interconnections P3 – Vent P4 – External Fan J1 - In-Out 279 J2 – Serial 288 RS 232/RS 485 Communication Description 289 12/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 13 Purge Valve Installation 312 Serial Cable Installation 313 TV 551/701 SEM Controller Installation 314 Pump Used with Corrosive Gases 319 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 323 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 13/330...
  • Page 14 Contents 14/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Accensione ed Uso del TV 551/701 SEM Navigator 25 Arresto del TV 551/701 SEM Navigator Arresto di Emergenza 26 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...

  • Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 17: Informazioni Generali

    Il TV 551/701 SEM Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
  • Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni generali I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 19: Immagazzinamento

    10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 19/330...

  • Page 20: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 551/701 SEM Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

  • Page 21: Installazione

    In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 551/701 SEM Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information") TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 22: Fissaggio Della Pompa

    Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 551/701 SEM Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 551/701 SEM Navigator non può essere fissato tramite la sua base. NOTA 22/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 23 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Il TV 551/701 SEM Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione ATTENZIONE! (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV...

  • Page 24: Uso

    Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). 24/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 25: Accensione Ed Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TV 551/701 SEM Navigator Per accendere il TV 551/701 SEM Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.

  • Page 26: Arresto Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Istruzioni per l’uso Arresto del TV 551/701 SEM Navigator Per arrestare il TV 551/701 SEM Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).

  • Page 27: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 551/701 SEM Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Page 28: Smaltimento

    Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 28/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 29: Gebrauchsanleitung

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen 31 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 SEM Navigator Stoppen von Modell TV 551/701 SEM Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/330...

  • Page 30: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 31: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 551/701 SEM Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung...
  • Page 32 Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf VORSICHT! aufmerksam, dass bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 32/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 33: Lagerung

    Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 33/330...

  • Page 34: Vor Der Installation

    Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 551/701 SEM Navigator kann durch die Umgebung an sich keine HINWEIS Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.

  • Page 35: Installation

    Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck  Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang  "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 35/330...
  • Page 36 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 551/701 SEM Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). 36/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 37: Befestigung Der Pumpe

    Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 551/701 SEM Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 551/701 SEM Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt HINWEIS werden. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 38 (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 551/701 SEM Navigator hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...

  • Page 39: Gebrauch

    2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 39/330...

  • Page 40: Navigator

    Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 551/701 SEM gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.

  • Page 41: Stoppen Von Modell Tv 551/701 Sem Navigator

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell TV 551/701 SEM Navigator Zum Stoppen von Modell TV 551/701 SEM Navigator ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden,...

  • Page 42: Wartung

    örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. 42/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 43: Entsorgung

    Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 43/330...
  • Page 44 Gebrauchsanleitung Entsorgung 44/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 45: Mode D'emploi

    Indications Generales 47 Stockage Preparation pour l'installation 50 Installation Fixation de la pompe 53 Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 551/701 SEM Navigator Arrêt du TV 551/701 SEM Navigator 57 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...

  • Page 46: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 46/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 47: Indications Generales

    Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l’opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 47/330...
  • Page 48 Indications Generales Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. NOTE 48/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 49: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 49/330...

  • Page 50: Preparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Preparation pour l'installation Preparation pour l'installation Le TV 551/701 SEM Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...

  • Page 51: Installation

    2 bar au-delà de la pression atmosphérique  température: de +5 °C° à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical  Information") humidité relative: 0 – 95 % (non condensante)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 51/330...
  • Page 52 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 551/701 SEM Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").

  • Page 53: Fixation De La Pompe

    équipements environnants. Fixer le TV 551/701 SEM Navigator de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de 8600 Nm autour de son axe.
  • Page 54 (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 551/701 SEM Navigator dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit...

  • Page 55: Utilisation

    à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 55/330...

  • Page 56: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 551/701 Sem Navigator

    Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TV 551/701 SEM Navigator Pour allumer le TV 551/701 SEM Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.

  • Page 57: Arrêt Du Tv 551/701 Sem Navigator

    Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 551/701 SEM Navigator Pour arrêter le TV 551/701 SEM Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...

  • Page 58: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 551/701 SEM Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Page 59: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 59/330...
  • Page 60 Mode d’emploi Mise au rebut 60/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 61: Manual De Istrucciones

    Información general Almacenamiento 65 Preparación para la instalación 66 Instalación Fijación de la bomba 69 Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator Parada del TV 551/701 SEM Navigator Parada de Emergencia 73 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...

  • Page 62: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 62/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 63: Información General

    El TV 551/701 SEM Navigator es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
  • Page 64 Información general Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen informaciones importantes extrapoladas del texto. NOTA 64/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 65: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 65/330...

  • Page 66: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 551/701 SEM Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

  • Page 67: Instalación

    2 bares por encima de la presión atmosférica  temperatura: de +5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo  “Technical Information”) humedad relativa: 0-95 % (no condensadora).  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 67/330...
  • Page 68 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 551/701 SEM Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). 68/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 69: Fijación De La Bomba

    Fijar el TV 551/701 SEM Navigator en posición estable, montando la brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8600 Nm en torno a su...
  • Page 70 Manual de istrucciones Fijación de la bomba El TV 551/701 SEM Navigator pertenece a la segunda categoría de ATTENTION! instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

  • Page 71: Uso

    (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 71/330...

  • Page 72: Encendido Y Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator Para encender el TV 551/701 SEM Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.

  • Page 73: Parada Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de istrucciones Parada del TV 551/701 SEM Navigator Para parar el TV 551/701 SEM Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para...

  • Page 74: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 551/701 SEM Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Page 75: Eliminación

    Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 75/330...
  • Page 76 Manual de istrucciones Eliminación 76/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 77: Manual De Istruções

    Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 86 Utilização Acendimento e Utilização do TV 551/701 SEM Navigator Paragem do TV 551/701 SEM Navigator 90 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 77/330...

  • Page 78: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 78/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 79: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O TV 551/701 SEM Navigator é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
  • Page 80 As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 80/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 81: Armazenagem

    Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 81/330...

  • Page 82: Preparação Para A Instalação

    CUIDADO! componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. O TV 551/701 SEM Navigator não pode ser danificado permanecendo NOTA simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
  • Page 83 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 83/330...

  • Page 84: Instalação

    2 bar além da pressão atmosférica  temperatura: de + 5 °C a + 35 °C (consultar a planilha no  apêndice “Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante).  84/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 85 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 551/701 SEM Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 86: Fixação Da Bomba

    Colocar o TV 551/701 SEM Navigator em posição estável, fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com uma ligação que resista a um torque de 8600 Nm à...
  • Page 87 Manual de Istruções Fixação da bomba O TV 551/701 SEM Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou CUIDADO! sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 551/701 SEM Navigator tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação...

  • Page 88: Utilização

    Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). 88/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 89: Acendimento E Utilização Do Tv 551/701 Sem Navigator

    (período de aprox. 400 ms): o sistema está em  estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de  erro. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 89/330...

  • Page 90: Paragem Do Tv 551/701 Sem Navigator

    Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 551/701 SEM Navigator Para parar o TV 551/701 SEM Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem...

  • Page 91: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 551/701 SEM Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Page 92: Eliminação

    Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 92/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 93: Bedrijfshandleiding

    Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie 95 Opslag 97 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 101 Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 SEM Navigator Afzetten van de TV 551/701 SEM Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 107 Vertaling van de originele instructies...

  • Page 94: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 94/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 95: Algemene Informatie

    In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical Information. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 95/330...
  • Page 96 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 96/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 97: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 97/330...

  • Page 98: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 551/701 SEM Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter.

  • Page 99: Installatie

    2 bar boven de atmosferische druk  temperatuur: van +5 °C tot +35 °C (zie grafiek in de bijlage  “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend).  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 99/330...
  • Page 100 In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De TV 551/701 SEM Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). 100/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 101: Bevestiging Van De Pomp

    Bevestig de TV 551/701 SEM Navigator in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 8600 Nm rondom de eigen as te weerstaan.
  • Page 102 Controleer of de inrichting verbonden met de TV 551/701 SEM Navigator goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.

  • Page 103: Gebruik

    (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 103/330...

  • Page 104: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 551/701 Sem Navigator

    (periode van circa 200 ms): fouttoestand.  Afzetten van de TV 551/701 SEM Navigator Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. 104/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 105: Noodstop

    Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 551/701 SEM Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 106: Onderhoud

    Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 106/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 107: Afvalverwerking

    Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 107/330...
  • Page 108 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 108/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 109: Istruktionsbog

    Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 117 Anvendelse Start og anvendelse af TV 551/701 SEM Navigator 120 Stop af TV 551/701 SEM Navigator 120 Nødstop Vedligeholdelse 122 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 109/330...

  • Page 110: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 110/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 111: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (42000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 551/701 SEM Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 551/701 SEM Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS...
  • Page 112 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Noterne indeholder vigtige oplysninger taget fra teksten. BEMÆRK 112/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 113: Opbevaring

    Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 113/330...

  • Page 114: Forberedelse Før Installation

    Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 551/701 SEM Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Page 115: Installation

    2 bar over det atmosfæriske tryk  temperatur: fra +5 °C til + 35 °C (se illustrationen i bilaget  “Technical Information”) relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 115/330...
  • Page 116 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 551/701 SEM Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). 116/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 117: Fastgørelse Af Pumpe

    Montér TV 551/701 SEM Navigator i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.600 Nm omkring dens egen akse.
  • Page 118 FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 551/701 SEM Navigator er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå...

  • Page 119: Anvendelse

    (over atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 119/330...

  • Page 120: Start Og Anvendelse Af Tv 551/701 Sem Navigator

    “Waiting for interlock” hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.  Stop af TV 551/701 SEM Navigator For at afbryde TV 551/701 SEM Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. 120/330...

  • Page 121: Nødstop

    Før der foretages vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra. Nødstop Afbrydelse af TV 551/701 SEM Navigator i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 122: Vedligeholdelse

    “Request for Return”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 122/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 123: Bortskaffelse

    Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 123/330...
  • Page 124 Istruktionsbog Bortskaffelse 124/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 125: Bruksanvisning

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar126 Allmänt Förvaring Förberedelser för installationen 130 Installation Fastsättning av pump 132 Användning Start och användning av TV 551/701 SEM Navigator Att stänga av TV 551/701 SEM Navigator 135 Nödstopp Underhåll Bortskaffande Översättning av originalinstruktionerna 125/330...

  • Page 126: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 126/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 127: Allmänt

    TV 551/701 SEM Navigator, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 551/701 SEM Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
  • Page 128 Bruksanvisning Allmänt Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 128/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 129: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 129/330...

  • Page 130: Förberedelser För Installationen

    Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 551/701 SEM Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.

  • Page 131: Installation

    I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 551/701 SEM Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 131/330...

  • Page 132: Fastsättning Av Pump

    Fäst TV 551/701 SEM Navigator i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8600 Nm kring sin axel.
  • Page 133 Bruksanvisning Fastsättning av pump TV 551/701 SEM Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER! överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 551/701 SEM Navigator är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas...

  • Page 134: Användning

    För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). 134/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 135: Start Och Användning Av Tv 551/701 Sem Navigator

    (ungefär 200 ms) : feltillstånd.  Att stänga av TV 551/701 SEM Navigator Om du vill stänga av TV 551/701 SEM Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 136: Nödstopp

    Dra därför alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti enheten. Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av TV 551/701 SEM Navigator. 136/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 137: Underhåll

    "Request for Return" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 137/330...

  • Page 138: Bortskaffande

    Slutanvändaren ska därför kontakta leverantören, företaget eller en återförsäljare, för att inleda insamlingen och bortskaffandet, efter en lämplig kontroll av avtalsmässiga försäljningsvillkor och bestämmelser. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 138/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 139: Instruksjon Manual

    Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 140 Generell informasjon 141 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 148 Starte og bruke TV 551/701 SEM Navigator Stoppe TV 551/701 SEM Navigator 149 Nødstopp Vedlikehold Avhending Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 139/330...

  • Page 140: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper

    For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 140/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 141: Generell Informasjon

    å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 42000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 551/701 SEM Navigator har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
  • Page 142 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 142/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 143: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 143/330...

  • Page 144: Klargjøre Til Installasjon

    Når TV 551/701 SEM Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Page 145: Installasjon

    0 - 95 % (uten kondens)  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 551/701 SEM Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i “Technical Information”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 145/330...

  • Page 146: Festing Av Pumpen

    Dette kan føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten. Fest TV 551/701 SEM Navigator i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på 8600 Nm rundt sin egen akse.
  • Page 147 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 551/701 SEM Navigator har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.

  • Page 148: Bruk

    (over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information”). 148/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 149: Starte Og Bruke Tv 551/701 Sem Navigator

    Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen.

  • Page 150: Nødstopp

    Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 551/701 SEM Navigator i en nødsituasjon. 150/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 151: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 551/701 SEM Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 152: Avhending

    Derfor skal slutbrukeren kontakte anleggets leverantør for å starte opp prosedyren for innsamling og avhending, etter en kontroll av villkor og bestemmelser i salgskontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 152/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 153: Ohjekäsikirja

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 154 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 161 Käyttö 163 TV 551/701 SEM Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttäminen 164 Hätäpysäytys 165 Huolto 166 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 153/330...

  • Page 154: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 154/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 155: Yleisiä Tietoja

    Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Näissä käyttöohjeissa noudatetaan seuraavia merkintöjä VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 155/330...
  • Page 156 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeätä tekstistä otettua tietoa. HUOM 156/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 157: Varastointi

    Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 157/330...

  • Page 158: Valmistelut Asennusta Varten158

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. TV 551/701 SEM Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa HUOM (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.

  • Page 159: Asennus

    2 baaria yli atmosfäärisen paineen  lämpötila: + 5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen  kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 159/330...
  • Page 160 Ohjekäsikirja Asennus Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 551/701 SEM Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). 160/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 161: Pumpun Kiinnitys

    35 Nm ISO 200 K 35 Nm Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 551/701 SEM Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. TV 551/701 SEM Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 161/330...
  • Page 162 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 551/701 SEM Navigator laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.

  • Page 163: Käyttö

    Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 163/330...

  • Page 164: Tv 551/701 Sem Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

    “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Technical Information” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 551/701 SEM Navigator: n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;...

  • Page 165: Hätäpysäytys

    Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys TV 551/7012 SEM Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 165/330...

  • Page 166: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 551/701 SEM Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.

  • Page 167: Hävittäminen

    Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 167/330...
  • Page 168 Ohjekäsikirja Hävittäminen 168/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 169: Felhasználói Kézikönyv

    Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 171 Tárolás Előkészítés telepítésre 174 Telepítés A szivattyú rögzítése 177 Használat A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 SEM Navigator kikapcsolása Vészleállítás 181 Karbantartás Megsemmisítés 183 Az eredeti utasítás fordítása...

  • Page 170: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 170/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 171: Általános Információk

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 551/701 SEM Navigator egy integrált rendszer turbo- molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú...
  • Page 172 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 172/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 173: Tárolás

    Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 173/330...

  • Page 174: Előkészítés Telepítésre

    FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 551/701 SEM MEGJEGYZÉS Navigatort. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.

  • Page 175: Telepítés

    2 bar a légköri nyomás felett  hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet  diagramot a „Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 175/330...
  • Page 176 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information” A TV 551/701 SEM Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). 176/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 177: A Szivattyú Rögzítése

    és/vagy környezet károsodást okozhat. Rögzítse a TV 551/701 SEM Navigatort stabil helyen, a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 8600 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással. Például az ISO-K karima rögzíthető...
  • Page 178 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A TV 551/701 SEM Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) FIGYELEM! kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 551/701 SEM Navigatornak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...

  • Page 179: Használat

    2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N2, Ar) stabil áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information” függelék). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 179/330...

  • Page 180: A Tv 551/701 Sem Navigator Bekapcsolása És Használata

    A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első...

  • Page 181: Vészleállítás

    Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 551/701 SEM Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 181/330...

  • Page 182: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 551/701 SEM Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 183: Megsemmisítés

    és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 183/330...
  • Page 184 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 184/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 185: Podrecznik Instrukcji

    Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 187 Magazynowanie 189 Przygotowanie do instalacji 190 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 SEM Navigator Zatrzymanie systemu TV 551/701 SEM Navigator 196 Zatrzymanie Alarmowe 197 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 185/330...

  • Page 186: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROŻENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 186/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 187: Ogólne Informacje

    (RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Technical Information”. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 187/330...
  • Page 188 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 188/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 189: Magazynowanie

    Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 189/330...

  • Page 190: Przygotowanie Do Instalacji

    Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 551/701 SEM Navigator ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.

  • Page 191: Instalacja

    2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym  temperatura: od + 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w  dodatku „Technical Information”) względna wilgoć 0 -95 % (bez opar).  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 191/330...
  • Page 192 W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek „Technical Information” TV 551/701 SEM Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku „Technical Information”) 192/330...

  • Page 193: Mocowanie Pompy

    W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem „Technical Information” TV 551/701 SEM Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. System TV 551/701 SEM Navigator nie może być mocowany poprzez własną PRZYPIS podstawę. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 194 UWAGA! nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 551/701 SEM Navigator posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część...

  • Page 195: Użytkowanie

    Information”). ZAGROŻENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 195/330...

  • Page 196: Włączenie I Użytkowanie Systemu Tv 551/701 Sem Navigator

    (okres 200 ms.): stan błędu.  Zatrzymanie systemu TV 551/701 SEM Navigator Aby zatrzymać TV 551/701 SEM Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. 196/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 197: Zatrzymanie Alarmowe

    śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 551/701 SEM Navigator należy odłączyć kabel zasilania ze sterownika. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 197/330...

  • Page 198: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 551/701 SEM Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać...

  • Page 199: Przetworstwo Odpadow

    Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 199/330...
  • Page 200 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 200/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 201: 13 Návod K Použití

    Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 202 Všeobecné informace 203 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 210 Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Vypnutí vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Nouzové zastavení 212 Údržba 213 Likvidace Překlad originálního návodu 201/330...

  • Page 202: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 202/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 203: Všeobecné Informace

    "Technical Information". Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 203/330...
  • Page 204 Návod k Použití Všeobecné informace Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Poznámky, vyjmuté z textu obsahují velmi důležité informace. POZNÁMKA 204/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 205: Uskladnění

    10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 205/330...

  • Page 206: Příprava K Instalaci

    POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva TV 551/701 SEM Navigator nemůže poškodit. POZNÁMKA Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.

  • Page 207: Instalace

    +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze  "Technical Information") relativní vlhkost: 0 -95 % (bez srážení)  V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 207/330...

  • Page 208: Montáž Vývěvy

    V tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Vývěvu TV 551/701 SEM Navigator umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8600 Nm kolem své...
  • Page 209 Návod k Použití Montáž vývěvy Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 551/701 SEM Navigator do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 551/701 SEM Navigator je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí...

  • Page 210: Použití

    2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information"). 210/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 211: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 551/701 Sem Navigator

    Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Pro uvedení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.

  • Page 212: Nouzové Zastavení

    Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. 212/330...

  • Page 213: Údržba

    Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu. Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 213/330...

  • Page 214: Likvidace

    Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 214/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 215: 14 Návod Na Obsluhu

    Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 217 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 220 Inštalácia Upevnenie vývevy 223 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Vypnutie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Núdzové zastavenie Údržba 228 Likvidácia Preklad originálneho návodu...

  • Page 216: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 216/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 217: Všeobecné Informácie

    (RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku "Technical Information". TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 217/330...
  • Page 218 Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky zhrňujú dôležité informácie, vytiahnuté z textu. POZNÁMKA 218/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 219: Uchovávanie

    Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 219/330...

  • Page 220: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...

  • Page 221: Inštalácia

    2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku  teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v  dodatku “Technical Information”) relatívna vlhkosť: 0 -95 % (bez kondenzácie)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 221/330...
  • Page 222 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri “Technical Information”). 222/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 223: Upevnenie Vývevy

    Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej POZNÁMKA základnej dosky. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 224 Navigator má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 551/701 SEM Navigatoru má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.

  • Page 225: Použitie

    2 bar (pretlakový). Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré umožňujú stabilný tok inertného plynu (napríklad N , Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 225/330...

  • Page 226: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 551/701 Sem Navigator

    Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 551/701 SEM Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný...

  • Page 227: Núdzové Zastavenie

    údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TV 551/701 SEM Navigator okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 228: Údržba

    Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. 228/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 229: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 229/330...
  • Page 230 Návod na Obsluhu Likvidácia 230/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 231: Priročnik Za Navodila

    Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 232 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 551/701 SEM Navigator Izklop naprave TV 551/701 SEM Navigator Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 231/330...

  • Page 232: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 232/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 233: Splošne Informacije

    TV 551/701 SEM Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
  • Page 234 Priročnik za Navodila Splošne informacije Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informaciije iz besedila. OPOMBA 234/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 235: Shranjevanje

     datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 235/330...

  • Page 236: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 551/701 SEM Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.

  • Page 237: Montaža

    Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere  Temperatura: od +5 °C do +35 °C (glej diagram pritisk-  temperatura v prilogi “Technical Information”) Relativna vlažnost: 0 -95 % (brez kondenza)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 237/330...
  • Page 238 V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo “Technical Information”. TV 551/701 SEM Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej “Technical Information”). 238/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 239: Pritrjevanje Črpalke

    Za dodatne informacije glejte prilogo “Technical Information”. Napravo TV 551/701 SEM Navigator lahko namestite v poljuben položaj. Naprave TV 551/701 SEM Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo OPOMBA ploskvijo. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 240 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Po direktivi EN 61010-1 spada TV 551/701 SEM Navigator v skupino za drugo POZOR! nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava TV 551/701 SEM Navigator ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben...

  • Page 241: Uporaba

    (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 241/330...

  • Page 242: Vklop In Uporaba Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    »Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi “Technical Information”. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 551/701 SEM Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;...

  • Page 243: Izklop Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 551/701 SEM Navigator Za izklop naprave TV 551/701 SEM Navigator morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).

  • Page 244: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 551/701 SEM Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 245: Odlaganje Opadkov

    Zato je potrebno, da se uporabnik že pri sklenitvi kupoprodajne pogodbe seznani pri prodajalcu o postopkih posebnega odlaganja oziroma ločevanja. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 245/330...
  • Page 246 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 246/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 247: Instructions For Use

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 248 General Information Storage Preparation for Installation 252 Installation Pump Fixing Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator Switching off 258 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 247/330...

  • Page 248: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 248/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 249: General Information

    The TV 551/701 SEM Navigator is an integrated system with a turbo- molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller.
  • Page 250 Instructions for Use General Information The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text. NOTE 250/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 251: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 251/330...

  • Page 252: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 551/701 SEM Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.

  • Page 253: Installation

    2 bar above atmospheric pressure  temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pressure-  temperature in the appendix “Technical Information”) relative humidity: 0 - 95 % (non-condensing)  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 253/330...
  • Page 254 In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 551/701 SEM Navigator must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). 254/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 255: Pump Fixing

    See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TV 551/701 SEM Navigator can be installed in any position. The TV 551/701 SEM Navigator cannot be fixed by means of its base. NOTE TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 256 CAUTION! overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The TV 551/701 SEM Navigator has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible. Be sure that the insulation of the device connected to the TV 551/701 SEM Navigator is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.

  • Page 257: Use

    When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 257/330...

  • Page 258: Switching On And Use Of Tv 551/701 Sem Navigator

    Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator To switch on the TV 551/701 SEM Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start”...

  • Page 259: Emergency Stop

    Before servicing the unit, disconnect the input power cable. Emergency Stop To immediately stop the TV 551/701 SEM Navigator in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug.

  • Page 260: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 551/701 SEM Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...

  • Page 261: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to; http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 261/330...
  • Page 262 Instructions for Use Disposal 262/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 263: Technical Information

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator 265 Pump Description 266 Controller Description 268 Technical Specification 269 TV 551/701 SEM Navigator Outline 272 Interconnections 277 P3 – Vent P4 – External Fan 278...
  • Page 264 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE 317 Connection Configurations 318 Connection B - FORE-VACUUM PUMP Connection C – ELECTRICAL 319 Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 264/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 265: Description Of The Tv 551/701 Navigator

    Description of the TV 551/701 Navigator Description of the TV 551/701 Navigator The TV 551/701 SEM Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in two models for TV 551 and two models for TV 701. The models of each group differ in the high vacuum flange.

  • Page 266: Pump Description

    4th and 5th stages with a blade angle of 24°,  6th stage with a blade angle of 20°,  7th and 8th stages with a blade angle of 16°.  266/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 267 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 NW flange. Figure 4 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 267/330...

  • Page 268: Controller Description

    The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection or via remote I/O signals. A Windows-based software is available (optional). 268/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 269: Technical Specification

    Agilent DS 302 Diaphragm Forepump SH 110 Operating position Operating ambient +5 °C to +35 °C temperature Cooling Forced air or water cooling (use water with requirements electrical conductivity ≤ 500 µS/cm) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 269/330...
  • Page 270 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Installation category Pollution degree Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) 270/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 271 Weight kg (lbs): pump 19.4 (43) controller 5.4 (12) When the TV 551/701 SEM Navigator has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. Figure 5 Vibration graph...

  • Page 272: Tv 551/701 Sem Navigator Outline

    Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551/701 SEM Navigator Outline The following figures show the TV 551/701 SEM Navigator outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 551 SEM Navigator outline 272/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 273 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 7 TV 701 SEM Navigator outline TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 273/330...
  • Page 274 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) 274/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 275 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 275/330...
  • Page 276 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 10 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 276/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 277: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 551/701 SEM interconnections. Figure 11 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 277/330...

  • Page 278: P3 - Vent

    This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External Fan Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 278/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 279: J1 - In-Out

    PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 279/330...

  • Page 280: Signal Description

    0 - 24 V max  duty cycle range: from 25 % to 75   corresponding to a pump speed from 272 Hz (25 %) to 714 Hz (75 %) linearly. 280/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 281 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagrams). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 281/330...
  • Page 282 J1 - In-Out Figure 16 The screen can be mounted on each pump model. Figure 17 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. 282/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 283 505 Hz (that is 500 Hz + 1 % of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1 % of 500 Hz). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 283/330...
  • Page 284 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Figure 19 284/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 285: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller

    24 Vdc.  Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 20 Case 1 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 285/330...
  • Page 286 Technical Information J1 - In-Out Figure 21 Case 2 with relay utilization 286/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 287 Technical Information J1 - In-Out Figure 22 Case 2 with transistor utilization TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 287/330...

  • Page 288: J2 - Serial

    Technical Information J2 – Serial J2 – Serial Figure 23 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 551/701 SEM. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME SPARE...

  • Page 289: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    (MASTER) send a message + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an answer + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 289/330...
  • Page 290 <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 290/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 291 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example Win Disabled 1 byte (0x35) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 291/330...

  • Page 292: Examples

    RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 292/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 293 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 293/330...
  • Page 294 Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 294/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 295: Window-Meanings

    % of threshold) Water cooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES Baud rate 600 = 0 1200 = 1 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 295/330...
  • Page 296 Automatic = 0 (see note 1.) operation On command = 1 (see note 2.) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) 296/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 297 Pump life in hours 999999 (zeroed by the reset command) Reserved to Agilent service CRC EPROM (QE) QE5XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA5XXXX (where “XXXX” are variable) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 297/330...
  • Page 298 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 24 Window N. 206 Bit Description 298/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 299: Inlet Screen Installation

    The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 299/330...
  • Page 300 The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 28 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. 300/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 301 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 29 Figure 30 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 301/330...

  • Page 302: Air Cooling Kit Installation

    127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)  power: 4.7 W  The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. 302/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 303 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TV 551/701 SEM case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...

  • Page 304: Tv 551/701 Sem Pump With Standard Rack Controller

    Technical Information Air Cooling Kit Installation TV 551/701 SEM Pump with Standard Rack Controller When the TV 551/701 SEM pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model X3501- 68001. Figure 33...
  • Page 305 To fix the fan to the pump, position it ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. Figure 34 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 305/330...

  • Page 306: Water Cooling Kit Installation

    The water cooling kit mod. 9699347 or 9699337 must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. Figure 35 Model 9699337 Figure 36 Model 9699347 306/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 307 The water electrical conductance must be 500 s/cm. When the NOTE conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl- Glycole is suggested. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 307/330...

  • Page 308: Vent Accessories

    This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 308/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 309 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 309/330...

  • Page 310: Standard Rack Controller Compatible

    This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). 310/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 311: Vibration Isolators

    D>100. In the following picture its transfer function is shown. It is available in two versions: model 9699377 for ISO 160 F flange;  model 9699378 for ISO 200 F flange.  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 311/330...

  • Page 312: Purge Valve Installation

    To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 43 312/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 313: Serial Cable Installation

    Figure 44 Figure 45 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 551/701 SEM Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.

  • Page 314: Tv 551/701 Sem Controller Installation

    Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 314/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 315 Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Figure 47 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 315/330...

  • Page 316: Side Mounting

    Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 48 316/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 317: Connection A - High Vacuum Flange

    Note that the connections can be made only with the bolt in the lower side. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 317/330...

  • Page 318: Connection Configurations

    When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 318/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 319: Pump Used With Corrosive Gases

    To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 319/330...
  • Page 320 Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. 320/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 321 T urb o - V 5 5 1 S E M M a cro T o rr Figure 52 Purge layout Tab. 8 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 321/330...

  • Page 322: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 322/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)

  • Page 323: Accessories And Spare Parts

    Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Forepump SH 110 SH011001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 single phase, PTS03001UNIV universal motor Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 3 phase, universal PTS03003UNIV TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I) 323/330...
  • Page 324 Technical Information Accessories and Spare Parts Description Part number motor IDP-15 std X3815-64000 IDP-15 with inlet valve X3815-64010 324/330 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01 (I)
  • Page 330 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Table of Contents