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スケールユニット/ Scale Unit/ Skaleneinheit
BS75A-R
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim
Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum
späferen Nachlesen griffbereit auf.
レーザスケール /LASERSCALE
取扱説明書/ Instruction Manual/ Bedienungsanleitung
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Summary of Contents for Laserscale BS75A-R
- Page 1 スケールユニット/ Scale Unit/ Skaleneinheit BS75A-R お買い上げいただき、ありがとうございます。 ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。 ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。 お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。 Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them. Keep the manual for future references. Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen.
- Page 2 [For the customers in U. S. A.] WARNING This equipment has been tested and found to comply with the limits for a Class A digital device, pursuant to Part 15 of the FCC Rules. These limits are designed to provide reasonable protection against harmful interference when the equipment is operated in a commercial environment.
-
Page 3: Table Of Contents
目 次 このたびは、レーザスケールをお買上げいただき、まことに 1. 特 長 ................2 ありがとうございます。 本取扱説明書をよくお読みいただき、本品を十分ご活用いた 2. 使用上の注意事項 ............2 だければ幸いです。 3. 各部の名称 ..............3 一般的注意事項 4. 取付け上の注意事項 ............4 4-1. 取付けにあたって ............4 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注 4-2. 取付け時に準備するもの ........... 4 意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説明 4-3. 取付けの前に ............... 5 書に記述された諸事項および注意をうながしている説明 4-3-1. 補正値について ............ 5 事項に従い、正しくお使いください。... -
Page 4: 特長
1. 特長 2. 使用上の注意事項 ■ マグネスケール並みの扱い易さと信頼性。 • スケールユニットに使用している半導体レーザの波長は ■ 光波干渉計 (レーザ測長器)並みの高精度、高分解能。 可視帯域から外れた780nm、最大出力は3mWです。 ■ 温度・気圧・空気の乱れに左右されない安定測長。 • スケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体に ■ 検出精度 (内挿誤差)、繰返し精度、ヒステリシス誤差が 有害ですので、検出ヘッド部のカバーは絶対に取り外さ いずれも1/100ミクロンオーダの超高精度測長。 ないでください。 光が漏れる可能性がありますので、通電時にスケール挿 入部分を覗き込まないでください。また､スケｰル以外 の物を差し込むことは絶対に行なわないでください。 • スケールには、それぞれ固有のスケールピッチの補正値 が記入されたラベルが 貼られています。ご使用前に必 ずこの値を接続する表示ユニットまたはデテクタに 設 定してください。(5ページをご参照ください。) • スケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用 キャップが付いていますので、表示ユニットまたはデテク タ接続時まで取り外さないでください。 また、コネクタプラグの静電気保護キャップ取り外し後 に、コネクタピンに触れないように特に注意してくださ い。故障の原因となります。 • スケールユニットのコネクタと表示ユニットまたはデテク タのレセプタクルを完全に接続してから電源スイッチを ONにしてください。 また、電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでく ださい。... -
Page 5: 各部の名称
3. 各部の名称 取付ネジ (六角穴付ボルトM5×40) 検出ヘッド部 スケール 基準プレート 取付ネジ (六角穴付ボルトM4×8) スライダ スケールクランプ コネクタプラグ ケーブルクランプ スペーサ ヘッドケーブル 補正値ラベル スライダ スケール コネクタプラグ ケーブルクランプ... -
Page 6: 取付け上の注意事項
4. 取付け上の注意事項 4-1. 取付けにあたって 4-2. 取付け時に準備するもの • スケ−ルと検出ヘッドは組合せて調整されています。複数 測定器 個のスケールユニットを取扱われる場合は、必ず同一梱包 • てこ式ダイヤルゲージ ............. 1台 内の組合せでご使用ください。万一スケールと検出ヘッド (2/1000 mmまたは1/1000 mm目盛りのもの) の組合せが分からなくなった場合は、包装カートンに記載 されているNo.でご確認ください。 • ダイヤルゲージスタンド ..........1台 • 取付位置 (アッベ誤差)と周囲の環境 (温度, 湿度, 振動, 塵 • オシロスコープ ..............1台 挨)について十分ご検討ください。 2現象 X-Y表示可能なもの • 検出ヘッドのケーブルは動力線と同一ダクトに通さないで 入力感度 ：DC 0.1V/DIV ください。 X-Y周波数帯域 ：1 MHz以上 • 機械可動部の最大移動長さはスケール最大測定長以下にし てください。 工 具... -
Page 7: 取付けの前に
4-3. 取付けの前に 4-3-1. 補正値について 4-3-2. 補正値のセット方法 スケールのホログラム格子ピッチP は約0.55μmですが、 表示ユニット (BRシリーズ)またはデテクタ (BDシリーズ)取 扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。 検出信号ピッチP は原理的にこの1/4の約0.14μmです。こ の値はスケールごとに若干の違いがあります。そのため、正 注意 確な移動量を得るためには各スケール固有のピッチ補正を加 表示ユニット (BRシリーズ)およびデテクタ (BDシリーズ)の える必要があります。 補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態で 補正値とは20℃温度下でのスケールユニット固有の検出ピッチ はアラームが出力されご使用になれません。必ずスケールの MMMM ＝0.1379 μm の下4桁を表します。 補正値を正しく設定してからご使用ください。 ご使用前に必ずスケールの補正値を表示ユニットまたはデテ クタにセットしてください。 20℃と異なる温度環境でご使用になる場合 使用温度が20℃と異なる場合には、次のように補正値の 修正を行なうことにより、温度補正を行なうことができ ます。使用温度が23℃の場合の例を示します。 zxcv 例) 補正値ラベルに示された補正値が の場合 zxcv 0.1379 ×{1 ＋ (23−20)× (−0.7×10 −6 zx/b ＝0.1379 20℃との温度差... -
Page 8: 取付け・調整方法
5. 取付け・調整方法 次の手順で行なってください。 (詳細は該当ページをご参照ください。) 5-1. 取付面の準備 ........................6 5-2. スケールの取付け ......................9 5-3. スライダの取付け ......................11 5-4. 信号調整 ........................... 12 5-4-1. 信号調整準備 ......................12 5-4-2. アジマス調整 ......................12 5-5. 取付け・調整終了 ......................13 5-1. 取付面の準備 q 取付面の範囲 (図中斜線部)と面精度を確認してください。 粗さ (Rmax) 6.3S-1.6S w 取付けネジ座標の精度を確認してください。 スケール取付面 平面度 0.01 mm以下 機械の走りに対する平行度... - Page 9 BS75A-60R/RS スケール取付面 88 0.3 Rmax=6.3S-1.6S 6-M4, 深6 25 0.2 25 0.2 0.01 0.01 13.5 0.2 スケール取付面 スライダ取付面 2-M5, 深10 0.03 スライダ取付面 55 0.3 Rmax=12.5S 単位：mm 注意 “M”はマシンガイド (機械の走り)を示します。 BS75A-110R/RS, 160R/RS, 210R/RS スケール取付面 50 0.3 8-M4, 深6 Rmax=6.3S-1.6S 25 0.2 25 0.2 25 0.2 0.01 0.01 13.5 0.2 スケール取付面...
- Page 10 BS75A-260R/RS, 310R/RS スケール取付面 88 0.3 10-M4, 深6 Rmax=6.3S-1.6S 25 0.2 25 0.2 25 0.2 25 0.2 0.01 0.01 13.5 0.2 スケール取付面 スライダ取付面 2-M5, 深10 0.03 55 0.3 スライダ取付面 Rmax=12.5S 単位：mm 型名 BS75A-260R/RS 注意 BS75A-310R/RS “M”はマシンガイド (機械の走り)を示します。 BS75A-360R/RS, 410R/RS スケール取付面 50 0.3 Rmax=6.3S-1.6S 25 0.2 25 0.2 25 0.2 25 0.2 25 0.2...
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Page 11: スケールの取付け
5-2. スケールの取付け w スケールクランプを図のように取付けネジを用い、がた q 用意された取付面にほこり等が無いことを確認後、基準 がある程度 (仮締めから1〜2回転戻す程度)にセットし プレートを下図のようにマシンガイドに対し平行に取付 ます。 けます。 (締め付けトルク 1.4N ･ m) 図中、左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤル BS75A-30R/RS ゲージで平行度の確認を行ないながら右側で調整してく ださい。 M4×8 注意 平座金 基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準とな スケールクランプ り、スケール精度を再現する上で重要なものです。必ず仕様 通り取付けてください。 基準 基準プレート 0.01 BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RS M4×8 平座金 スケールクランプ BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RS M4×8 (2本) 基準プレート 突き当て基準面 BS75A-110R/RS, 160R/RS, 210R/RS, 360R/RS, 410R/RS BS75A-30R/RS, 110R/RS, 160R/RS, 210R/RS, 基準プレート 360R/RS, 410R/RS M4×8 (2本) スペーサ 突き当て基準面... - Page 12 e スケールの取付面および突当面にほこり、 汚れが無いこ 注意 とを確認してください。汚れがある場合はアルコールを スケールを基準面に突き当てるときは、下図左のように基準 含ませたガーゼで 拭き取ってください。 面に対向するスケール端面を指で軽く (9.8 N以下の力) 押さ えてください。下図のようにスケールの中央部を押さえる (4.9 N以上の力) など､スケールに変形を加えたまま固定しま 取付面 すと所定の精度を得ることができません。 (以下の手順でもこの点に十分ご注意ください。万一強い曲 げ力が加わったと思われる場合は、スケールクランプを緩め 突当面 再度正しく取付けてください。) 良 不可 r スケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し、突 き当て基準面に軽く押し当てます (注意)。基準面に押し 当てながら図に示すスケールクランプ (2個使いのものは 左側、3個使いのものは中央のスケールクランプ)の取付 ネジをA→B→A･･･の順序で交互に少しずつ締め付けて t スケールを熱的に安定化させるために、この状態で１時 いきます。 間以上放置してください。 (最終締付けトルク 1.4 N ･ m) y 残りのスケールクランプをA→B→A････の順序で交互に BS75A-30R/RS 少しずつ締め付けます。 (最終締付トルク 1.4 N ･ m) BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RS BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RS BS75A-110R/RS, 160R/RS, 210R/RS, 360R/RS, 410R/RS BS75A-110R/RS, 160R/RS, 210R/RS, 360R/RS, 410R/RS...
-
Page 13: スライダの取付け
5-3. スライダの取付け q 取付ける機械のテーブルを移動させ、スケールのほぼ中 u 両端にスケールクランプを同様に締め付けます。 央位置にスライダの取付け中央位置を合わせます。 (最終締め付けトルク 1.4 N ･ m) w スライダを付属の取付ネジにより仮止めします。 BS75A-260R/RS, 310R/RS スライダ取付ネジ (六角穴付ボルトM5×40) 平座金 (呼び5) スペーサ スケール スケールクランプ スライダ BS75A-360R/RS, 410R/RS スペーサ i スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。 汚れがある場合は、アルコールを含ませたガーゼで拭き 取ります。... -
Page 14: 信号調整
5-4. 信号調整 5-4-1. 信号調整準備 5-4-2. アジマス調整 表示ユニット (BRシリーズ)またはデテクタ (BDシリーズ)と 下図に示したような方向をアジマス方向と呼ぶことにしま スケールユニットBS75A-Rを接続します。 す。スライダの向きを調整すると、規定値 (振幅1.6Vp-p)以上 の安定した出力信号を得ることができます。 q スケールユニットのヘッドコネクタ部保護キャップを取 り外し、表示ユニットまたはデテクタの HEAD INに接続 します。 注意 • コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静電気 により内部の電気部品が壊れる恐れがあります。輸送時な どコネクタを接続しないときは、必ず保護キャップを取付 けてください。 アジマス方向 • ヘッドコネクタの着脱は、必ずデテクタの電源を切ってか アジマス方向 ら行なってください。 図1 w 表示ユニットまたはデテクタのシグナル調整部のカバー q スライダ取付ネジをゆるめます。 を外します。 w 図1のA側のネジを締め付けて支点とし、スライダを図の e オシロスコープのCH1プローブをS (SIN)とG (GND)に接 ように回転させ、リサージュの振幅が最大となる場所を 続します。 みつけます。 r オシロスコープのCH2プローブをC (COS)とG (GND)に接 e リサージュの振幅が最大となるスライダ位置で、スライ... -
Page 15: 取付け・調整終了
5-5. 取付け・調整終了 5-6. 内蔵原点について q レーザスケールスケールユニットの光学式内蔵原点は一 ケーブルを付属のケーブルクランプと小ネジ (M4×8)で固定 します。 方向原点を採用しています。したがって、スケールとス ライダの相対的な移動方向で、原点検出を下図のとおり 行なってください。検出時、原点信号は立ち上がりとな 注意 ります。 締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるた (逆方向で原点検出を行なうと原点精度が悪化します。) め、取付け後3時間程度放置してからご使用ください。 標準仕様の場合 スケール スケール スライダ w 原点検出位置は標準仕様の場合、スケール有効長の中央 小ネジ (M4×8) を基準に、左右50mmピッチで刻まれています。各有効 長における原点位置については、14ページをご参照くだ ケーブルクランプ さい。 e 原点の検出については、ドグを用いて検出する方法と、 付属の原点マスクラベルにより、不必要な原点をマスク する方法があります。 原点マスクラベル スケール r 所 定 の 精 度 を 得 る た め 、 原 点 検 出 時 の 速 度 変 動 を0.2mm/S以下に押さえてください。... -
Page 16: 原点検出位置
6. 仕様 5-7. 原点検出位置 項 目 BS75A-R/RS 有 効 長 30〜410 mm (9種類) 最 大 測 定 長 有効長＋10 mm (左右各5 mmずつ) 中央 全 長 有効長＋36 mm 0.05＋0.2 L/100 µmp-p (RS) 精 度 (20℃にて) 0.1＋0.4 L/100 µmp-p (R) L＝有効長 (mm) × × 繰 返 精 度 (2σ) 0.05 µm (BD60接続時) も ど り 誤 差 0.05 µm (BD60接続時) 位 置 中心および中心から左右へ50 mmごと 原 繰 返 精 度... -
Page 17: 外形寸法図
7. 外形寸法図 BS75A-30〜410R/RS N-M4 スケールクランプ取付ネジ 2-M4 基準プレート取付ネジ 13.5 0.2 13.5 2M-5 スライダ取付ネジ ケーブル長 3000 N-M4 スケールクランプ取付ネジ 2-M4 基準プレート取付ネジ BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RSの場合 3-Ø5 5-Ø5 +0.05 2-Ø5 Ø4 +0.05 Ø4 +0.05 穴 基準穴 Ø4 基準穴 スケールクランプ t=2 基準プレート t=2 スペーサ t=2 基準プレート t=2 単位：mm 型名 BS75A-30R/RS ― ― BS75A-60R/RS ― ― BS75A-110R/RS ― BS75A-160R/RS ―... -
Page 19: Notes To Users
NOTES TO USERS Read all Instructions carefully before starting Use. Save this MANUAL for future reference. GENERAL PRECAUTIONS When using Magnescale Co., Ltd. products, observe the following general precautions along with those given specifically in this manual to ensure proper use of the products. -
Page 20: Features
TABLE OF CONTENTS 1. FEATURES NOTES TO USERS ............17 • • • • • Simple use and high reliability common for all Magnescale Co., Ltd. GENERAL PRECAUTIONS ..........17 • • • • • High-accuracy measuring using high-precision hologram CAUTION ................. -
Page 21: Operating Precautions
(Bending radius: over 50 mm/1.97" inside.) operation, be sure to set the display unit or the detector • Use the BS75A-R approximately 30 minutes after power is to this value. (See page 22) supplied to the unit, when the temperature of the detector head reaches a stable state. -
Page 22: Names Of Parts
3. NAMES OF PARTS Set screw (M5×40 hex. socket-head cap screw) Detector head assembly Scale Reference plate Set screw (M4×8 hex. socket-head cap screw) Slider Scale clamp Connector plug Cable clamp Spacer Head cable Compensation value label Slider Scale Connector plug Cable clamp... -
Page 23: Mounting Precautions
4. MOUNTING PRECAUTIONS 4-1. When Mounting 4-2. Mounting Requirements Measuring Instruments • The scale and the detector head are adjusted to each other. • Lever type dial gauge (scale pitch: 2/1000 mm/0.00008" If more than one scale unit is to be used, only combine or 1/1000 mm/0.00004") .... -
Page 24: Before Mounting
4-3. Before Mounting 4-3-1. Compensation Value 4-3-2. Compensation Value Setting The hologram grating pitch P of the scale is approximately See the section “Compensation Value Setting” of the display 0.55 µm/22 µinch, while the detector signal pitch Ps is unit (BR series) or detector (BD series) operating manuals. theoretically 1/4 of it, that is 0.14 µm/5.5 µinch. -
Page 25: Mounting And Adjustment
5. MOUNTING AND ADJUSTMENT Follow the procedure below. (For details refer to the corresponding pages.) 5-1. Mounting Surface Preparations ................. 23 5-2. Scale Mounting ....................26 5-3. Slider Mounting ....................28 5-4. Signal Adjustment ....................29 5-4-1. Signal Adjustment Preparations ..............29 5-4-2. - Page 26 BS75A-60R/RS 100/3.94" Scale mounting surface 88±0.3/3.465"±0.012" 40/1.57" 6-M4 depth: 6/0.24" Rmax=6.3S-1.6S (250–63 µinch) 25±0.2 25±0.2 0.984"±0.008" 0.984"±0.008" 0.01/(0.00039") 0.01/(0.00039") 13.5±0.2 (0.531"±0.008") Scale mounting surface Slider mounting surface 2-M5 depth: 10/0.39" 0.03/(0.00118") 55±0.3 Slider mounting surface 2.165"±0.012" Rmax=12.5S (500 µinch) 72/2.83" Unit : mm/inch Note “M”...
- Page 27 BS75A-260R/RS, BS75A-310R/RS Scale mounting surface 100/3.94" 40/1.57" 100/3.94" Rmax=6.3S-1.6S (250–63 µinch) 88±0.3/3.46±0.012" 25±0.2 25±0.2 25±0.2 25±0.2 10-M4 depth: 6/0.24" 0.984"±0.008" 0.984"±0.008" 0.984"±0.008" 0.984"±0.008" 0.01/(0.00039") 0.01/(0.00039") 13.5±0.2 (0.531"±0.008") Scale mounting surface Slider mounting surface 2-M5 depth: 10/0.39" 55±0.3 0.03/(0.00118") 2.165"±0.012" Slider mounting surface Rmax=12.5S (500 µinch) 72/2.83"...
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Page 28: Scale Mounting
5-2. Scale Mounting 1 Check there is no dust, etc. on the mounting surface, and 2 Attach the scale clamp loosely by using the mounting mount the reference plate parallel to the machine guide, screw, as shown in the figure. as shown in the figure. - Page 29 3 Check the mounting surface and the abutment surface of Note the scale for dust or dirt. Check if the mounting surface and When pressing the scale against the reference surface, Datum surface are free from dust or dirt. If not, wipe the lightly press two points on the edge of the scale surface surfaces with gauze moistened with alcohol.
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Page 30: Slider Mounting
5-3. Slider Mounting 1 Move the machine table and adjust the mounting center 7 Fasten scale clamps on both ends of the scale with the of the slider to the center of the scale. same torque. (Final fastening torque : 1.4 N m=14 kgf ·... -
Page 31: Signal Adjustment
3 Connect the CH1 probe of the oscilloscope to S (SIN) and G (GND). 4 Connect the CH2 probe of the oscilloscope to C (COS) and G (GND). Connection BS75A-R to the detector BD50 Signal adjustment section Oscilloscope Detector BD50... -
Page 32: Azimuth Adjustment
5-4-2. Azimuth Adjustment 5 Move the scale, and make sure that the amplitudes A and A stable output signal higher than the specifications (amplitude : 1.6 Vp-p) can be gained by adjusting the slider B of the Lissajous’ figure (see the figure below) are 1.6 Vp- direction. -
Page 33: Completion Of Mounting And Adjustment
1 A mono-directional reference point has been adopted as Secure the cable with the supplied cable clamp and a small screw (M4×8 provided). the optical-type built-in reference point for the Laserscale scale unit. Accordingly, reference point detection should be performed with the relative traveling directions of the Note scale and slider as shown in the diagram below. -
Page 34: Reference Ponit Detection Locations
6. SPECIFICATIONS 5-7. Reference point detection locations Spcification BS75A-R/RS Measuring length 30 to 410 mm/2.36" to 16.1" (9 types) Measuring length＋10 mm /0.40" Max.travel Center (5 mm/0.20" on each side) Measuring length＋36 mm/1.42" Overall length 0.05＋0.2L/100 µmp-p (2.0＋2L µinchp-p) (RS) Scale accurancy 0.1＋0.4L/100 µmp-p (2.0＋2L µinchp-p ) (R) -
Page 35: Outside Dimensions
7. OUTSIDE DIMENSIONS BS75A-30 to 410R/RS N-M4 Scale clamp mounting screw 60/2.36" 13.5±0.2 50/1.97" 2-M4 Reference plate mounting screw 0.53"±0.008" 0.08" 13.5/0.53" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 25/0.98" 0.18" 0.31" 55/2.17" 0.79" 70/2.76" 40/1.57" 2-M5 Slider mounting screw Cable length 3000 (9.8 ft) N-M4 Scale clamp mounting screw 2-M4 Reference plate mounting screw 0.79"... -
Page 37: Hinweise Für Den Benutzer
HINWEISE FÜR DEN BENUTZER Lesen Sie bitte vor lnbetriebnahme Maßstab die vorliegende Bedienungsanleitung gründlich durch und bewahren Sie sie gut auf, damit sie immer zum Nachschlagen zur Hand ist. ALLGEMEINE VORSICHTSMASSNAHMEN Um eine einwandfreie Handhabung von Magnescale Co., Ltd. Produkten zu gewährleisten, sind die folgenden allgemeinen sowie die in der Bedienungsanleitung besonders aufgeführten Vorsichtsmaßnahmen zu beachten. -
Page 38: Merkmale
INHALTSVERZEICHNIS 1. MERKMALE HINWEISE FÜR DEN BENUTZER ........35 • • • • • Einfache Handhabung und Hohe Zuverlässigkeit wie bei allen Magnescale Co., Ltd. Produkten ALLGEMEINE VORSICHTSMASSNAHMEN ....35 • • • • • Äußerst genaue Messung mit Hilfe von hochpräzisem ACHTUNG ............... -
Page 39: Vorsichtsmassnahmen Vor Inbetriebnahme
(Biegeradius: über 50 mm, innen) werden (siehe Seite 40). • Nach Einschalten der Stromversorgung müssen Sie ca. 30 Minuten mit dem Betrieb des Maßstab BS75A-R warten, bis sich die Temperatur des Detektorkopfs stabilisiert hat. • Das Maßstab BS75A-R ist ein Präzisionsmeßinstrument. -
Page 40: Bezeichnung Der Teile
3. BEZEICHNUNG DER TEILE Befestigungsschraube (M5×40, Innensechskant-Kopfschraube) Detektorkopfeinheit Maßstab Bezugsplatte Befestigungsschraube (M4×8, Innensechskant-Kopfschraube) Schieber Skalenklemme Steckverbinder Kableschelle Abstandstück Detektorkopfkabel Kompensationswertvermerk Schieber Maßstab Steckverbinder Kableschelle... -
Page 41: Vorsichtsmassnahmen Bei Der Montage
4. VORSICHTSMASSNAHMEN BEI DER MONTAGE 4-2. Montageanforderungen 4-1. Während der Montage Meßinstrumente • Skale und Detektorkopf sind aufeinander abgestimmt. Sollen mehrere Skalen verwendet werden, so dürfen sie • Meßuhr mit Hebelgestänge n u r m i t d e n i m V e r s a n d k a r t o n m i t g e l i e f e r t e n (Skalenteilung : 2/1000 mm oder 1/1000 mm) .... -
Page 42: Vor Der Montage
4-3. Vor der Montage 4-3-1. Kompensationswert 4-3-2. Einstellen des Kompensationswerts Der Hologramm-Gitterabstand P der Skale beträgt ca. S i e h e h i e r z u A b s c h n i t t “ E i n s t e l l u n g d e s Kompensationswerts”... -
Page 43: Montage Und Einstellungen
5. MONTAGE UND EINSTELLUNGEN Führen Sie das folgende Verfahren aus. (Näheres hierzu finden Sie auf den folgenden Seiten.) 5-1. Vorbereitung der Montagefläche ................41 5-2. Skalenmontage ...................... 44 5-3. Schiebermontage ....................46 5-4. Signaleinstellung ....................47 5-4-1. Vorbereitungen zur Signaleinstellung ............... 47 5-4-2. - Page 44 BS75A-60R/RS Montagefläche für Skale 88±0,3 Rmax=6,3S-1,6S 6-M4, Tiefe: 6 25±0,2 25±0,2 0,01 0,01 13,5±0,2 Montagefläche für Skale Montagefläche für Schieber 2-M5, Tiefe: 10 0,03 Montagefläche für Schieber 55±0,3 Rmax=12,5S Maßeinheit : mm Hinweis “M” bezieht sich auf die Maschinenführung. BS75A-110R/RS, BS75A-160R/RS, BS75A-210R/RS Montagefläche für Skale 50±0,3 Rmax=6,3S-1,6S...
- Page 45 BS75A-260R/RS, BS75A-310R/RS Montagefläche für Skale 88±0,3 10-M4, Tiefe: 6 Rmax=6,3S-1,6S 25±0,2 25±0,2 25±0,2 25±0,2 0,01 0,01 13,5±0,2 Montagefläche für Skale Montagefläche für Schieber 2-M5, Tiefe: 10 0,03 55±0,3 Montagefläche für Schieber Rmax=12,5S Maßeinheit : mm Modellname BS75A-360R/RS Hinweis BS75A-410R/RS “M” bezieht sich auf die Maschinenführung. BS75A-360R/RS, BS75A-410R/RS Montagefläche für Skale 50±0,3...
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Page 46: Skalenmontage
5-2. Skalenmontage 1 Zunächst müssen Sie sicherstellen, daß die Montagefläche 2 Die Skalenklemme mit der Befestigungsschraube staubfrei ist. Danach ist die Bezugsplatte gemäß der provisorisch anbringen (siehe folgende Abbildung). folgenden Abbildung so anzubringen, daß sie parallel zur Maschinenführung ausgerichtet ist (Anziehmoment : BS75A-30R/RS 1,4 N m). - Page 47 3 Montagefläche und Stoßfläche der Skale auf Staub und Hinweis Schmutz prüfen und ggf. mit einem in Alkohol Beim Drücken der Skale gegen die Bezugsfläche mit den angefeuchteten Wattebausch reinigen. Fingern leicht mit einer Kraft unter 9.8 N auf zwei Punkte an der Kante der Skalenfläche drücken, die der Bezugsfläche Montagefläche gegenüberliegt (siehe Abb.
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Page 48: Schiebermontage
5-3. Schiebermontage 1 Den Maschinentisch verstellen, und das Montagezentrum 7 Die Skalenklemmen an beiden Enden mit dem gleichen des Schiebers mit der Skalenmitte fluchten. Drehmoment anziehen. (Gesamtanziehmoment : 1,4 N · 2 Den Schieber mit der mitgelieferten Befestigungsschraube festziehen. BS75A-260R/RS, 310R/RS Befestigungsschraube für Schieber (M5×40, Innensechskant-Kopfschranbe) Unterlegscheiber (5 Stück) -
Page 49: Signaleinstellung
5 Die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Zähler (BR-Serie) bzw. Detektor (BD-Serie) mit Maßstab Oszilloskop auf GND stellen, und das Oszilloskop so BS75A-R verbinden. einstellen, daß das Signal in der Schirmmitte angezeigt 1 Die Schutzkappe vom Kopfsteckverbinder der wird. -
Page 50: Azimuteinstellung
5-4-2. Azimuteinstellung 5 Die Skale bewegen und sicherstellen, daß die Amplituden Durch entsprechendes Verstellen der Schieberausrichtung A und B der Lissajou-Figur (siehe folgende Abbildung) läßt sich ein stabiles Ausgangssignal mit höherer Amplitude über die ganze Skalenlänge mindestens einen Wert von als vorgeschrieben (1,6 Vss) erzielen. -
Page 51: Abschluß Von Montage Und Einstellung
1 Ein monodirektionaler Bezugspunkt wird als interner Das Kabel mit der mitgelieferten Kabelschelle und einer kleinen Schraube (M4 × 8, mitgeliefert) sicher befestigen. optischer Bezugspunkt für die Laserscale-Maßstabseinheit verwendet. Demgemäß sollte die Bezugspunkterfassung in den relativen Bewegungsrichtungen von Maßstab und Hinweis Schieber durchgeführt werden, wie im folgenden Diagramm... -
Page 52: Bezugspunkt-Erkennungspositionen
6. TECHNISCHE DATEN 5-7. Bezugspunkt Erkennungspositionen Festlegung für BS75A-R/RS Meßlänge 30 bis 410 mm Maximaler Laufweg Meßlänge＋10 mm Mitte Gesamtlänge Meßlänge＋36 mm 0,05＋0,2L/100 µmp-p (RS) Skalengenauigkeit 0,1＋0,4L/100 µmp-p (R) (bei 20 °C/68 °F) L＝Meßlänge : mm 0,05 µm (Bei Anschluß an BD60) Wiederholbarkeit (2σ) -
Page 53: Aussenabmessungen
7. AUSSENABMESSUNGEN BS75A-30 bis 410R/RS N-M4 Befestigungsschraube für Skalenklemme 2-M4 Befestigungsschraube für Bezugsplatte 13,5±0,2 13,5 2-M5 Befestigungsschraube für Schieber Kabellänge 3000 N-M4 Befestigungsschraube für Skalenklemme 2-M4 Befestigungsschraube für Bezugsplatte (BS75A-60R/RS, 260R/RS, 310R/RS) +0,05 +0,05 5-Ø5 Ø4 Ø4 Bezugsbohrung Bezugsbohrung 2-Ø5 3-Ø5 +0,05 Ø4... - Page 55 このマニュアルに記載されている事柄の著作権は当社にあ り、説明内容は機器購入者の使用を目的としています。 したがって、当社の許可なしに無断で複写したり、説明内 容（操作、保守など）と異なる目的で本マニュアルを使用 することを禁止します。 The material contained in this manual consists of information that is the property of Magnescale Co., Ltd. and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual. Magnescale Co., Ltd. expressly prohibits the duplication of any portion of this manual or the use thereof for any purpose other than the operation or maintenance of the equipment described in this...
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