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Summary of Contents for Ulvac TM201
- Page 1 SK00-6740-DI-002-03 No.170821 INSTRUCTION MANUAL OIL MIST TRAP MODEL TM201 TM401 Read this manual before operation and keep it at your hand for immediate reference Components division ULVAC, Inc.
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Page 2: Table Of Contents
Table of Contents 1. INTRODUCTION ････････････････････････････････････････････････････････ 1 2. GENERAL DESCRIPTION ････････････････････････････････････････････････ 2 2.1 Features ･･････････････････････････････････････････････････････････････ 2 2.2 Specifications ･････････････････････････････････････････････････････････ 2 2.3 Dimensional Drawings ･････････････････････････････････････････････････ 3 2.4 Structure ･････････････････････････････････････････････････････････････ 5 3. OPERATION ･････････････････････････････････････････････････････････････ 6 3.1 Check ････････････････････････････････････････････････････････････････ 6 3.2 Mounting on Pump ････････････････････････････････････････････････････ 6 3.3 Duct Piping ･･･････････････････････････････････････････････････････････... - Page 3 Fig. 1 Dimensional drawing (TM201) ･････････････････････････････････････････ 3 Fig. 2 Dimensional drawing (TM401) ･････････････････････････････････････････ 4 Fig. 3 Schematic diagram ････････････････････････････････････････････････････ 5 Fig. 4 TM201/TM401 mounted in position ･････････････････････････････････････ 6 Fig. 5 Exploded view of filter element ･････････････････････････････････････････ 9 Table 1 Specifications ･･･････････････････････････････････････････････････････ 2 Table 2 Major Replacement Parts List ････････････････････････････････････････...
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Page 4: Introduction
1. INTRODUCTION Thank you for purchasing this oil mist trap. Prior to operating this oil mist trap, read this manual carefully for optimum performance, and operate it correctly. Note that incorrect operation may cause trouble of the oil mist trap. Also keep this manual in your file so that you can refer to it when you come across any question or trouble during operation. -
Page 5: General Description
If the pressure in the pump rises above 0.03 MPa (0.3 kg/cm ) (gauge pressure), the pressure relief valve will be activated to prevent the pump and oil mist trap from being damaged. 2.2 Specifications Table 1 Specifications Model TM201 TM401 Item Filter element TM201E TM401E Displacement （L/min）... -
Page 6: Dimensional Drawings
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Page 8: Structure
2.4 Structure (Refer to Fig. 3) The gas discharged from the oil sealed rotary vacuum pump (air, nitrogen gas, etc.) blows up the oil in the pump and is introduced to the oil mist trap along with fine particles of oil blown up. These fine particles of oil (oil mist) are trapped by the filter element when they pass through it and the condensed large oil particles gather between the oil mist trap and the filter element and are discharged through the oil return port. -
Page 9: Operation
Are accessories (instruction manual, parts you ordered) supplied with the unit? (3) Is any part damaged or missing and any screw or nut loosened in transit? If you find any problem, contact your local ULVAC organization or representative. 3.2 Mounting on Pump (Refer to Fig. 4) To mount the oil mist trap on the pump, proceed as follows. -
Page 10: Treatment Of Trapped Oil
3.4 Treatment of Trapped Oil The TM201/401 is designed to discharge the trapped oil to outside through the oil return port. Recover the discharged oil in a container and return it to the pump when the pump is operated under no load or at stop. -
Page 11: Inspection
4. INSPECTION 4.1 Scheduled Inspection Periodically measure the pressure in the pump with the optional pressure monitor mounted to the pressure monitor mounting port. Verify that the pressure at start of the oil sealed rotary vacuum pump or immediately after evacuation of the vacuum chamber from atmospheric pressure is 0.03 MPa (0.3 kg/cm ) (gauge pressure). - Page 12 －9－...
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Page 13: Reassembling The Filter Element
4.2.2 Reassembling the filter element Ensure that the mounting surface of the filter element in the oil mist trap is free from foreign matter and scars. Mount the filter element in the oil mist trap. Mount the filter keep plate in position. Mount the seal washer (M10) and fix the filter element using the spacer nut. -
Page 14: Precautions
5. PRECAUTIONS 5.1 Clogging of Filter Element Clogging of the filter element will raise the pressure in the pump and may damage the pump parts or the filter element. Therefore, when using the filter element in the following application, be sure to mount a pressure monitor (optional) to monitor the pressure. -
Page 15: When Using Oil Mist For A Pump That Exceeds Maximum Throughput
5.4 When using Oil Mist Trap for a Pump that exceeds Maximum Throughput Do not operate the pump continuously at a high intake pressure of 6500 Pa or more when the TM201 is used for a pump with a throughput of 20 m or more (30 m /h, 40 m... -
Page 16: Warranty
Special atmosphere, such as pollution or the like. c) Operation not in conformity with the instruction manual. (Specifications, maintenance, inspection and others.) d) Troubles judged by ULVAC engineer to be attributable to operating conditions not appropriate for this oil mist trap. －13－... -
Page 17: Major Replacement Parts
1 set TM201 : TM201E TM401 : TM401E O-ring (G145) JIS B 2401 Seal washer (M10) The exhaust port of the TM201 and TM401 are provided with the following. Standard type : Cap Option : RF-11 (equivalent to VG40) －14－...
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Questions and answers