Atovac GVC2200 Manual
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Atovac GVC2200 Manual

Vacuum guage controller
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GVC2200M-2
Rev. Date 04/2009
GVC2200
VACUUM GUAGE CONTROLLER
(주)아토벡
ATOVAC Co., Ltd.
101-601, Digital EmpireⅡBldg., Shin-Dong486, Yongtong-Gu, Suwon Shi, Kyonggi-Do, Korea
Tel : 82-31-695-6220
Fax : 82-31-695-6221
Web site : http//www.atovac.com
e-mail : atovac@atovac.com

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Summary of Contents for Atovac GVC2200

  • Page 1 GVC2200M-2 Rev. Date 04/2009 GVC2200 VACUUM GUAGE CONTROLLER (주)아토벡 ATOVAC Co., Ltd. 101-601, Digital EmpireⅡBldg., Shin-Dong486, Yongtong-Gu, Suwon Shi, Kyonggi-Do, Korea Tel : 82-31-695-6220 Fax : 82-31-695-6221 Web site : http//www.atovac.com e-mail : atovac@atovac.com...
  • Page 2 WARRANTY ㈜아토벡에서 생산하는 Vacuum Gauge Controller(GVC2200)는 보증수리기간을 1년으로 한다. (201SENSOR, 202SENSOR 보증수리기간 없음 제외) 단, 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증수리기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다. 실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우 임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우...
  • Page 3 하므로 이 Manual의 지시대로 따라 주시기 바랍니다. CAUTION 이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인 하십시오. GVC2200 Vacuum Gauge Controller는 기본적으로 195~265VAC 50/60Hz 에서 동작하도록 되었습니다. (110VAC 전원에서는 사용 불가) SAFETY WARNING 폭발성이 있는 Gas나, 가연성 있는 Gas에서는 사용하지 마십시오.
  • Page 4 가능하며, 물건은 택배나 기타 운송 수단으로 보내주시면 바로 조치가 가능하며, 기타 다른 경로를 통해 구매 하셨더라도 구매 경로를 통해서나 저희에게 직접 보내 주셔도 됩니다. (SENSER 포함) 그리고 GVC2200 Vacuum Gauge Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로, 사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가해 주십시오.

  • Page 5: Table Of Contents

    CONTENTS Chapter Ⅰ: General Information Page Introduction Product Specifications GVC2200 Vacuum Gauge Controller Specifications Vacuum Gauge Specifications Chapter Ⅱ : Installation Unpack & Unpacking List Connecting Cables & Gauge Mounting Installation Environment Installation Convection Gauge Dimension & Pin Out Ionization Gauge Dimension & Pin Out GVC2200 Controller Dimension &...

  • Page 6: Introduction

    Interface와 관련하여 Set Point(Trip Point) 6개(이 Trip Point들을 마음대로 선택하여 아무 Gauge에나 적용 할 수 있도록 하였음)가 Option으로 내장할 수 있도록 하였으며, 압력을 전압으로 출력하는 단자도 RS-232C Interface와 함께 Option으로 제공하고 있다. GVC2200 CABLE 사용시 모든 종류는 Shield Cable 사용을 원칙으로 한다.

  • Page 7: Product Specifications

    0.2 sec Time Emission 0.1mA, 1mA, 10mA – Factory setting : 1 mA Current Collector 0 Volts Potential Grid Potential †180 VDC Cathode Potential †30 VDC Degas I2R : 10VAC 5 Amp (max) Table 1 : GVC2200 Vacuum Gauge Controller Specifications...

  • Page 8: Vacuum Gauge Specifications

    Vacuum Gauge Specifications Convection Gauge Gauge Type GAT CG Series Mounting Position Horizontal(수평) Ambient Temperature 50 ℃ Maximum Baking 50 ℃ Temperature Flanges user Internal Volume About 30 cc Ionization Gauge Gauge Type ETI Series 4336 and any Bayard-Alpert Gauges Mounting Position Vertical(수직) Envelope...

  • Page 9: Chapter Ⅱ : Installation

    내용물의 상태를 확인하시기 바랍니다. 내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락 하여 조치를 받을 수 있도록 하십시오. Unpacking Check List 　⊙ GVC2200 Instruction Manual( this book) ⊙ GVC2200 Control Unit 　⊙ CG Series Convection Gauge 　⊙ ETI Series 4336 Ionization Gauge 　⊙...

  • Page 10: Connecting Cables & Gauge Mounting

    Connecting Cables & Gauge Mounting RS232 GVC2200 CG202 CG202 Figure 1 : Connecting Cable & Gauge Mounting...

  • Page 11: Installation Environment

    Installation Environment Operating Environmental Requirements ⊙ 사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉) 　 ⊙ 공기 순환이 잘 되는 곳 　⊙ 습도가 낮고 건조 한곳 　⊙ 제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함. (필수항목)

  • Page 12: Installation

    Installation Convection Gauge Dimension & Pin-out Figure 2 : Convection Gauge Dimension 상기 도면은 NW16KF Fitting 의 그림이며, Option CF Flange등이 가능하므로 당상에 문의 요망.

  • Page 13: Ionization Gauge Dimension & Pin Out

    Ionization Gauge Dimension & Pin-out Figure 3 : Ionization Gauge Dimension & Pin-out...

  • Page 14: Gvc2200 Controller Dimension & Mounting

    GVC2200 Controller Dimension & Mounting GVC2200 VACUUM GAUGE CONTROLLER DEGAS 1.0 E-9 Torr ON/OFF ON/OFF 9.5 E-4 Torr MENU 0760.0 Torr LABEL www.gat.co.kr Green Advanced Technology Figure 4 : Front Panel Dimension Figure 5 : Cutting Size Dimension...

  • Page 15: Electrical Information(Connector Pin Out)

    Electrical Information(Connector Pin-out) 아래 기술하는 Connector 들은 GVC2200 Vacuum Gauge Controller의 Rear Panel에 부착된 Interface Connector들 이므로 Cable을 제작 할 때는 암(Male), 수(Female) 짝을 맞추어 제작해야 한다. *Note : Pin Assignment에 명시된 No Connection은 아무 것도 연결하지 않은 Pin이고 Reserved는 내부적으로 또는 추후에 사용할 Pin이므로...

  • Page 16: Capacitance Manometer (Cm)Connector

    Capacitance Manometer (CM) Connector 9-Pin Female D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다. Capacitance Manometer Connector Pin-out Pin No. Assignment Cable Color No Connection Pressure Signal †15VDC Supply Green round (Power) Grey ㅡ15VDC Supply White No connection Ground (Signal) Brown Ground (Signal) Black No Connection Table 4 : Capacitance Manometer Connector Pin-out...

  • Page 17: Serial Interface Connector

    Serial Interface (RS-232) Connector (Optional) Serial Interface (RS-232) Connector는 9-Pin Male D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다. Serial Interface (RS-232) Connector Pin-out Pin No. Assignment Cable Color No Connection Transmit Data Orange Received Data No Connection Digital Ground Black No Connection No Connection No Connection No Connection...

  • Page 18: Interface Connector

    Interface Connector (Analog Output 포함) Interface Connector는 25-Pin Male D-sub Type이며 Pin Assignment는 아래와 같다. * 주의사항 : 아래 Cable 조립시 Shield Cable 사용을 권장 한다. Pin No. Descriptions S/P 1 Common S/P 1 Normal Open S/P 2 Common S/P 2 Normal Open S/P 3 Common S/P 3 Normal Open S/P 4 Common...

  • Page 19: Chapter Ⅲ : Operation

    LABEL www.gat.co.kr Green Advanced Technology 위의 그림은 GVC2200의 전면판 그림이며 이에 대한 설명은 Table 8에 자세히 설명 하였다. 기본적으로 왼쪽의 압력 Display 창과 오른쪽의 Control Key로 이루어져 있으며, Trip Point Relay의 상태는 LCD 창 밑 부분에 표시 된다. 그리고, 가운데의 라벨 창에는 User가 설정한 Set Point 값을 라벨링 하도록 공간을...

  • Page 20: Function Of Front Panel Key Pad

    Functions of Front Panel Key Pad Front Panel의 Display Window 및 Key Pad의 용도는 아래와 같다. Summary of Front Panel Components Display Window는 128 X 64 dot Graphic LCD 로 이루어져 있으며, 맨 위의 것은 Ionization Gauge의 압력을,두번째 것 은 Convection Gauge(CG A)의 압력을, 세 번째의 것은 Display Window Convection Gauge(CG B)을...

  • Page 21: Function Of Main Menu

    Functions of Main Menu Menu의 기능 및 용도는 아래와 같다. Descriptions of Menu Main Menu Sub Menu Descriptions Ion Gauge의 Emission Curr- 1) IG Set [ Ion Current Set ] ent를 조절하는 기능. 1) IG 0.1 mA Default로 1.0mA로 Setting Current →...

  • Page 22: Cg Set

    Descriptions of Menu Main Menu Sub Menu Descriptions 2) CG Set 1) CG A 대기압 상태에서 Convection [ CG A ATM CAL ] Gauge의 대기압을 맞추기 위한 기능이다 2) CG B 대기압 상태에서 Convection [ CG B ATM CAL ] Gauge의...

  • Page 23: Cm Set

    Descriptions of Menu Main Menu Sub Menu Descriptions 1) CM [ CM Range Set ] 이 키를 이용하여 CM Gauge의 3) CM Set Range → 1000 Torr Range를 맞춘다. 고진공(CM Gauge Resolution 2) CM [ CM Zero Cal ] 이하) 상태에서 CM Gauge의 Zero →...

  • Page 24: Sp Ref

    [SP1 Ref Gauge ] 첫 번째 것을 어느 Gauge에 →1) IG 할당 할 것인가를 Setting하는 1) SP1 2) CG Channel A 기능. GVC2200 Controller는 Ref Gauge 3) CG Channel B Trip Point Relay가 각 Gauge 4) CM 에 할당 되어 있지 않고 사용자...

  • Page 25: Sp Set

    Descriptions of Menu Main Menu Sub Menu Descriptions Trip Point Relay 6개 중에서 5) SP Set [Setpoint 1 SET ] 1) SP1 Set 첫 번째 것에 대하여 set point → 9.9 X 10E-5Torr 값을 설정하는 기능이다. Trip Point Relay 6개 중에서 [Setpoint 2 SET ] 2) SP2 Set 두...

  • Page 26: Lcd Brightness & Sys Set & Initialize

    Descriptions of Menu Main Menu Sub Menu Descriptions [ LCD Brightness ] 6) LCD LCD의 밝기를 조절하는 기 Brightness 능이다. ********** 7) SYS Set [ Sys CTRL Mode ] & Initialize → 1) Local Controller의 작동을 Local로 1) Sys 2) TTL 할...

  • Page 27: Analog Output Formula

    Analog Output Formula IG Vout V = log P + 12 (V-12) P = 10 CG Vout V = log P + 7 (V-7) P = 10...

  • Page 28: Rs232C Command Definitions

    RS232 Command Definition Rev1.1 XXX YYYY <CR> XXX - Command YYYY - Parameter <CR> - Carriage Return Value First Character R means READ and S means SET, W means WRITE, C means Calibration. <READ Command> Return Value : 9byte data RDI-Read ION Pressure Data RDA-Read CGA Pressure Data RDB-Read CGB Pressure Data...
  • Page 29 RAS-Read Auto IG SP Data <Host>RDI<CR> <GV2200>1.0x10E-9 RSR-Read Set point Referance Return Value : 6byte data <Host>RSR<CR> <GV2200>112233 Parameter means that 6BYTE Date is Setpoint Referance 123456 Each 1Byte Data indicate one setpoint referance 1~3 (1 = ION, 2 = CGA, 3 = CGB) Therefor SP Ref1 &...
  • Page 30 RDT-Read DEGAS Time Return Value : 3byte data <Host>RDT<CR> <GV2200>100 Parameter means that Degas ON Time delay 100 second RIC-Read IG Current Return Value : 1byte data <Host>RIC<CR> <GV2200>1 Parameter means that 1-0.1mm, 2-1mm, 3-10mm RIS-Read IG Status Return Value : 1byte data <Host>RIS<CR>...
  • Page 31 SIG-Set IG ON/OFF Return Value : OK or INVALID Parameter : 0 or 1 Parameter means that 0-OFF, 1-ON <Host>SIG 1<CR> <GV2200>OK It is IG ON SDE-Set DEGAS ON/OFF Return Value : OK or INVALID Parameter : 0 or 1 Parameter means that 0-OFF, 1-ON <Host>SDE 1<CR>...
  • Page 32 SIC-Set IG Current Return Value : OK or INVALID Parameter : 1~3 Parameter means that IG Current is 1-0.1mm, 2-1mm, 3-10mm <Host>SIC 2<CR> <GV2200>OK It is IG Current Setting by 1mm SLB-Set LCD Brightness Return Value : OK or INVALID Parameter : 1~16 Parameter means that LCD Brightness value <Host>SLB 10<CR>...
  • Page 33 CIA-CAL INIT CGA Return Value : OK Parameter : <None> <Host>CIA<CR> <GV2200>OK It is CGA ZERO Initializing CZB-CAL ZERO CGB Return Value : OK Parameter : <None> <Host>CZB<CR> <GV2200>OK It is CGB ZERO Calibration CAB-CAL ATM CGB Return Value : OK Parameter : <None>...
  • Page 34 CIS-CAL INIT SYSTEM Return Value : OK Parameter : <None> <Host>CIS<CR> <GV2200>OK It is System Initialization by Factory setting. !CAUTION - If U use this setting, may not work right. SR1-Set Setpoint Ref1 Return Value : OK Parameter : 1 ~ 3 Parameter means that Ref Setting to *1:IG, 2:CGA, 3:CGB *If CM Card is used instead IG Card, 1 is CM.
  • Page 35 SR4-Set Setpoint Ref4 Return Value : OK Parameter : 1 ~ 3 <Host>SR4 2<CR> <GV2200>OK It is setting SP4 ref by CGA SR5-Set Setpoint Ref5 Return Value : OK Parameter : 1 ~ 3 <Host>SR5 2<CR> <GV2200>OK It is setting SP5 ref by CGA SR6-Set Setpoint Ref6 Return Value : OK Parameter : 1 ~ 3...
  • Page 36 WS1-Write SP1 Data WS2-Write SP2 Data WS3-Write SP3 Data WS4-Write SP4 Data WS5-Write SP5 Data WS6-Write SP6 Data Parameter : 0 ~ 632 Return Value : OK or INVALID Refer to GVC2200_RS232_SP_TABLE <Host>WS1 150<CR> <GV2200>OK If SP1 Ref is IG, SP1 value is 4.0*10E-4. If SP1 Ref is CGA or CGB, SP1 value is 6.8*10E-3 WAS-Write Auto IG SP Data Parameter : 0 ~ 632...
  • Page 37 Special Order Adding Function. CM Function Protocol *If IG Card is not used, IG Protocol is not valid. RDC-Read Data CM return value : 7byte data <Host>RDC<CR> <GV2200> 1000.0 <Host>RDC<CR> <GV2200>-1.0000 RCR-Read CM Range return value : 5byte data <Host>RCR<CR> <GV2200>1000 SCR-Set CM Range Return Value : OK...

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