1. Manuals
  2. Brands
  3. Magnescale Manuals
  4. Media Converter
  5. Laserscale SET-HD100
  6. Instruction manual

Magnescale Laserscale SET-HD100 Instruction Manual

Self-calibrating laser rotary encoder
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

Download this manual
自己校正型レーザロータリエンコーダ / Self-calibrating Laser Rotary Encoder
SET-HD100
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
レーザスケール / LASERSCALE
取扱説明書 / Instruction Manual

Advertisement

Table of Contents
loading

Related Manuals for Magnescale Laserscale SET-HD100

Summary of Contents for Magnescale Laserscale SET-HD100

  • Page 1 自己校正型レーザロータリエンコーダ / Self-calibrating Laser Rotary Encoder SET-HD100 お買い上げいただき、ありがとうございます。 ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。 ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。 お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。 Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them. Keep the manual for future references. レーザスケール / LASERSCALE 取扱説明書 / Instruction Manual...
  • Page 2 [For U.S.A. and Canada] [For EU and EFTA countries] THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 CE Notice OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES-003. Marking by the symbol CE indicates compliance with the OPERATION IS SUBJEC T TO THE FOLLOWING T WO EMC directive of the European Community.
  • Page 3 安全のために 当社の製品は安全に充分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがった取 扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることがあり、危 険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。 これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作や設 置、保守、点検、修理などを行なう前に、この「安全のために」を必ずお読みください。 警告表示の意味 このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文をお 読みください。  警告 この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につな がることがあります。  注意 この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に損害 を与えることがあります。 注意を促す記号               注意  火災注意  感電注意  指はさみ注意  レーザ注意  静電気対策             作業区域 行為を禁止する記号     分解禁止 行為を指示する記号...
  • Page 4  警告 仕様電源電圧以外で使用しない 守らないと 表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください。 火災や感電の原因 ➡ となる恐れがあり アースを接地する ます。 アース端子はアース線で接地してください。 守らないと 分解しない ➡ 火災やケガの恐れ 本体を分解、改造しないでください。 があります。 守らないと 火災や事故の原因 作業時は駆動源を切る ➡ となる恐れがあり 電源などの駆動源は必ず切って作業をしてください。 ます。 守らないと 濡れた手で取付け作業を行なわない ➡ 感電の原因となる 濡れた手による取付作業は行なわないでください。 恐れがあります。 レーザ射出部分をのぞきこまない 本装置は、半導体レーザを使用したクラス 3B (DHHS: IIIb)  レーザ製品です。本装置に使用している半導体レーザの波 長は可視帯域 790 nm、 最大出力は 5 mW です。ヘッドユニッ ト内部から射出されるレーザ光は、人体に有害です。 光が漏れる可能性がありますので、通電時にヘッドユニッ トのレーザ光射出部を覗き込まないでください。また、取...
  • Page 5  注意 守らないと 作業の安全確保する ➡ 作業を行なう前には、装置の状況をよく確かめて作業の安 感電の原因となる 全を確保してください。 恐れがあります。 守らないと 指挟み込みに注意する ➡ ケガの恐れがあり 電源などを入れて動かす場合は、周辺機械や装置などに指 ます。 を挟まれないように充分注意してください。 守らないと 静電気対策をする。 静電対策を充分に行なってください。充分な静電気対策が 周辺機器に損害を ➡ 行なわれないと、内部の半導体が破損する可能性がありま 与える恐れがあり す。 ます。 SET-HD100...
  • Page 6 安全ラベル貼付け位置 ヘッドユニット表面     ヘッドユニット裏面 インターポレータユニット キャリーケース 注意ラベル ① ② ③ THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES-003. 警告不可視レーザ光 WARNING INVISIBLE LASER RADIATION OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS : (1) THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE, AND (2) THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED, INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDESIRED OPERATION.
  • Page 7 使用上の注意事項 •  本製品は波長 790 nm の半導体レーザ (5 mW 以下 ) を用いたクラス 3B (DHHS: IIIb) レーザ製品です。使用 者、製造者は規格に従った安全予防策をとる必要があります。本製品を使用していただくためには、クラス 3B にしたがった予防策をとる必要があります。 •  電源供給中は、ヘッドユニットのレーザ光射出部を覗き込まないでください。   本品は半導体レーザ ( 波長 790 nm) を使用しております。レーザ光は、人体に有害です。 •  電源を供給したまま、接続ケーブルのコネクタを接続したり外したりすることは、絶対に行なわないでくだ さい。センサの光源の故障の原因となります。 •  ヘッドユニットのコネクタピンに触れないよう、ご注意ください。故障の原因となります。 •  ケーブルを強く引いたり、 無理に曲げてのご使用は避けてください。 { 曲げ半径 ( 内側 ) 静止状態 : 50 mm 以上、 稼動不可 } •  本製品は同製品であっても、出荷時に提供したヘッドユニット  /  スケールユニット  /  インターポレータユ ニットの組合せ以外では、機能・性能が保証されません。必ず提供時の組合せでご使用ください。組合せは 各ユニットのシリアル番号で確認可能です。( シリアル番号位置...
  • Page 8 保存上のご注意 •  未使用時は、低湿度環境に保存してください。   本製品は、 結露したり高温高湿度に保存したりすると、 光学部品が変質し故障の原因となります。特にクリー ンルームの電源停止時には結露が起こりやすいので、お気をつけください。輸送時には、接続コネクタ部の 保護キャップをつけてください。また、湿気を防ぐためのシリカゲルを入れて密閉するなどの手当ても必ず 行なってください。 輸出時の取扱いについて •  本製品は、 リスト規制 ： 角度の測定装置 輸出管理令別表第 1 の 2 項 (12)2、 省令第 1 条十七号ハに該当します。 輸出に関しましては、関連法規を確認し許可を得て輸出してください。製品のみならず、取扱説明書、校正 証明書も同等の取扱いが必要です。 一般的注意事項 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は、本取扱説 明書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い、正しくお使いください。 •  始業または操作時には、当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してからご使用くださ い。 •  当社製品が万一故障した場合、各種の損害を防止するための充分な保全対策を施してご使用ください。 •  仕様に示された規格以外での使用または改造を施された製品については、機能および性能の保証はできませ んのでご留意ください。 •  当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は、使用条件、環境などにより、その機能および性能が満 足されない場合がありますので、充分ご検討の上ご使用ください。 本製品を使用したことによって生じた損害、逸失利益、および第三者からのいかなる請求等につきましては、...

  • Page 9: Table Of Contents

    目次 1.  概要 ....................1 1-1.  はじめに ......................1 1-2.  主な特長 ......................1 1-3.  製品構成 ......................1 1-4.  同梱内容 ......................2 2.  各部の名称と働き ..............3 2-1.  ヘッドユニット  ...................3 2-2.  スケールユニット  ..................3 2-3.  インターポレータユニット ...............4 2-3-1.  フロントパネル ................4 2-3-2.  リアパネル ..................5 3.  取付けと接続  ................6 3-1.  取付け  ......................6 3-1-1.  準備するもの .................6 3-1-2.  取付け作業の流れ  ................6 3-1-3.  取付け手順例 .................7 3-2. ...
  • Page 10 9.  外形寸法図  ................22 9-1.  ヘッドユニット / スケールユニット .............22 9-2.  インターポレータユニット ..............24 SET-HD100...

  • Page 11: はじめに

    1.  概要 1-1.  はじめに 本製品は、自己校正型の角度校正システムです。複数のセンサを用いることで、取付時の誤差 を補正し精度保証を行なうことができます。 本製品は、取得したデータを出力するために、専用のソフトウェア LS- を使用します。ソ フトウェアとソフトウェアの使用方法は、弊社ホームページよりダウンロードしてください。 1-2.  主な特長 高い角度精度と分解能 弊社開発のアルゴリズムにより、 精度が360度全周で 0.2''(秒角)なだけでなく、 最大分解能1.9    ''(秒角)の全点でその精度を保っています。 精度のトレーサビリティ 国立研究開発法人産業技術総合研究所の角度国家標準器による評価を行なっています。 自由な取付姿勢 非接触タイプのため、精度は取付姿勢の影響を受けにくく、取付けが容易です。 簡単な取付け 自己校正を行なうため、精度が取付けに依存しにくく、調整が容易です。 汎用インターフェイスの搭載 USB 出力を使用できるため、パソコンにデータを取込みデータ活用することが可能です。 便利な校正キット 専用のキャリーケースに一式収納することができるため、持ち運びが容易です。 1-3.  製品構成 電源入力 DC20〜24 V 5〜8 A  (ACアダプタは別売です。) 心出し治具 ヘッドユニット 対応出力ケーブル (USBケーブルは別途ご用意ください。) コネクタ スケールユニット コネクタ...

  • Page 12: 同梱内容

    1-4.  同梱内容 注意 ·  キャリーケースから取出すときは、蓋の重みでキャリーケースが傾くのを防ぐため、蓋側に 収納されている接続ケーブルから取出してください。 ·  スケールユニットとヘッドユニットに取付けられているカバー、ケース、ねじは、再度収納 するときに使用しますので失くさないようにしてください。 ·  キャリーケースのクッションは、再度収納するときに使用しますので失くさないようにして ください。 同梱物  個数 スケールユニット BE300  ヘッドユニット BH300  インターポレータユニット BD350  接続ケーブル CS03-05  心出し治具  スケールユニットケース  1 セット ( 蓋付き ) ヘッドユニットカバー  1 セット (2 枚 ) コネクタカバー  キャリーケース  計測用ソフトウェアダウンロード案内  校正証明書  検査データ（参考）   本取扱説明書  SET-HD100...

  • Page 13: 各部の名称と働き

    2.  各部の名称と働き 2-1.  ヘッドユニット 1 レーザ光射出位置 2 出力コネクタ 1 レーザ光射出位置 ①  レーザ光射出位置   レーザ光を射出します。  警告   レーザ光は人体に有害です。通電時に射出部分を覗き込まないでください。また、取付前 に通電はしないでください。 ②  出力コネクタ   各センサの信号をインターポレータユニットに出力します。   同梱の接続ケーブルを接続します。 注意   接続ケーブルの着脱は、必ず電源が OFF のときに行なってください。電源が ON のときに 着脱を行なうと、センサの光源が破損する可能性があります。 2-2.  スケールユニット ＜取付面＞ ＜スケール面＞ 1 原点マーク スケールベース スケール ① ...

  • Page 14: インターポレータユニット

    2-3.  インターポレータユニット 2-3-1.  フロントパネル 1 USB端子 2 状態表示用インジケータ 3 モニターコネクタ （MONITOR） 4 ヘッドユニット入力端子 （ENCODER IN） 5 SELF CALスイッチ ①  USB 端子   ヘッドユニットが出力したセンサ信号をリアルタイムに自己校正し、角度データを算出し ます。角度データは所定のフォーマットでパソコンに出力されます。   USB ケーブル (USB 2.0 Type B) でパソコンと接続します。(USB ケーブルはお客様で別途 ご用意ください。) ②  状態表示用インジケータ   インターポレータユニットおよび入力データの状態を表示します。 インジケータ 色 状態 POWER 消灯 電源オフ 緑点灯 電源正常 STATUS 緑点灯...

  • Page 15: リアパネル

    2-3-2.  リアパネル 1 電源スイッチ 2 ヒューズ 3 電源コネクタ 4 アース端子 ①  電源スイッチ   インターポレータユニットの電源を ON/OFF します。 注意 ·  すべての接続が終了したあとに電源を ON してください。(「3-2. 接続」参照 ) ·  接続ケーブルの着脱は、必ず電源が OFF のときに行なってください。電源が ON のとき に着脱を行なうと、センサの光源が破損する可能性があります。 ②  ヒューズ   過電流防止のためのヒューズです。 注意 ·  必ず指定のヒューズ * を使用してください。 ( ＊ : 定格電圧 250 V, 定格電流 15 A) · ...

  • Page 16: 取付けと接続

    3.  取付けと接続 注意 ·  必ず、仕様温度内の環境でご使用ください。 ·  インターポレータユニットの両側面には冷却ファンがついています。インターポレータ内部 の過熱を防ぐため、風の吹き出し口をふさがないようにしてください。また、両側面と他の 物体との間隔は 50 mm 以上離してください。 ·  本製品は同製品であっても、出荷時に提供したヘッドユニット  /  スケールユニット  /  イン ターポレータユニットの組合せ以外では、機能・性能が保証されません。必ず提供時の組合 せでご使用ください。組合せは各ユニットのシリアル番号で確認可能です。  ( シリアル番号 貼付け位置 :「9. 外形寸法図」参照 ) 3-1.  取付け 3-1-1.  準備するもの ·  スケールユニット ( 同梱 ) ·  ヘッドユニット ( 同梱 ) ·  スケールユニット取付用ねじ ( 仕様 / 外形寸法図参照 ) · ...

  • Page 17: 取付け手順例

    3-1-3.  取付け手順例 取付方法はお客様の装置や装置設置状況などによって異なります。以降は取付け手順の一例で す。 取付け前の確認と調整 取付面の確認ができていない場合は必ず行なってください。   スケールユニット取付け面の確認   装置回転部を回転させながら、スケールユニット取付け面と回転面との平行度の確認をし ます。   < 確認方法例 > ・   ピックテスタをスケールユニット取付け面にあてて計測する。 ・   スケール取付け面にオプティカルパラレルを設置しオートコリメータで計測する。 ピックテスタ スケールユニット取付け面   回転部   ヘッドユニット取付面の調整   スケールユニット取付け面とヘッドユニット取付け面のクリアランスを調整します。   < 仕様 >   距離  : 1.503  0.02 mm   平行度 :  1 分  ...
  • Page 18 取付け   スケールユニットの仮取付け   スケールユニットを回転部の取付け面に設置し、付属の心出し治具を使用して設置位置を 確認後、ねじ (4 か所 ) を仮締めします。 ※ スケールユニットのケースに取付けられていたねじ、またはお客様でご用意いただいた ねじをご使用ください。 ねじ ねじ スケールユニット   回転部   スケールユニットの偏心調整   回転部を回転させて偏心精度を確認しながら、仮取付けをしたスケールユニットの偏心調 整を行ないます。スケールユニットの台座の側面を、装置に損傷を与えないもので軽く押 すなどして調整してください。   < 仕様 >   偏心精度  : ピックテスタなどメカ基準(内径部)での確認の場合         : 0  0.005 mm       顕微鏡を用いてスケール読取り面上に記録された線基準で確認する場合      ...
  • Page 19   スケールユニットの本取付け   手順 2 で行なった偏心調整を維持したまま、手順 1 で仮締めしたねじを本締めします。   < 仕様 >   締付けトルク : 0.6  0.06 N·m ※  再 現性が充分でない場合は、締付けによる歪みが発生している可能性があります。ねじを締めたあと、締付けを 行なった順番に再度ゆるめて締めなおすことを推奨します。   ヘッドユニットの仮取付け   ヘッドユニットを、ねじ穴を合わせるようにしてヘッドユニット取付け面に設置し、ねじ を仮締めします。ねじはお客様でご用意ください。 ＜ヘッドユニットの上基準面を用いて取付けを行なう場合＞ ＜ヘッドユニットの下基準面を用いて取付けを行なう場合＞ ヘッドユニット取付け台 ねじ × 4本 ねじ × 4本 ヘッドユニット   ヘッドユニット 取付け台 ヘッドユニット   ヘッドユニットとスケールユニットの軸合わせ   ヘッドユニットとスケールユニットの内径部に同梱の心出し治具を挿入し、スケールユニッ トに対してヘッドユニットの軸合わせを行ないます。 注意...

  • Page 20: 準備するもの

      ヘッドユニットの本取付け   手順 5 で行なった軸合わせを維持したまま、手順 4 で仮締めしたねじを本締めします。   < 仕様 >   締付けトルク : 1.0  0.1 N·m 本締め後、心出し治具を引抜きます。 これで取付けは完了です。 3-2.  接続 注意 ·  接続ケーブルの着脱は、 必ず電源が OFF の状態で行なってください。ON のまま着脱すると、 センサの光源が破損する可能性があります。 ·  接続はスケールユニットとヘッドユニットの取付け完了後に行なってください。 3-2-1.  準備するもの ·  接続ケーブル ( 同梱 ) ·  DC 電源 +24 V または AC アダプタ BP-24 ( 別売 ) · ...

  • Page 21: 自己校正を実行して行なう計測

    4.  操作 計測角度を保証するために、自己校正を行ないます。自己校正を行なうことにより、スケール ユニットとヘッドユニットの取付けによる計測誤差を補正することができます。 スケールユニッ トとヘッドユニットを回転ステージに取付けた際は、自己校正を実行してください。また、外 気温の変化など、精度に影響を与える要素が生じた場合も、定期的に自己校正を行なってくだ さい。 校正値データは電源を OFF にしても保存されます。電源を ON して原点検出を行なうと、保 存された校正値データを自動的に読み出し、計測角度の補正に適用することができます。 注意 ・   電源を ON する前に、取付と接続が完了していることを確認してください。 操作の流れ 電源投入   ↓ LED 確認   ↓ 原点検出   ↓ ( 原点検出作業により、初期または前回の校正値データが読出されます。) 校正実行 ※自己校正を実行する場合のみ 4-1.  自己校正を実行して行なう計測   電源投入   インターポレータユニットリアパネルの電源スイッチを ON にします。  ...

  • Page 22: 前回の自己校正値データを利用した計測

      校正実行   SELF CAL スイッチを押します。   回転ステージを 1 〜 10 min の速度で、 CW 方向に 5 周以上回転させます。(CW 方向は「9.  外形寸法図」参照 )   MODE の LED が緑点滅に変わります。角度データが取込まれ、校正値データの演算が行 なわれます。   校正完了確認   回転ステージを 1 〜 10 min の速度で、 CW 方向に 5 周以上回転させます。(CW 方向は「9.  外形寸法図」参照 )   MODE の...

  • Page 23: キャリーケースへの収納

    5.  キャリーケースへの収納 注意 ·  出荷時どおり収納してください。 ·  インターポレータユニットはフロントパネルを内側に向けて収納してください。 ·  スケールユニットはケースにねじ止めします。締付けトルクは 0.3 〜 0.4  N·m 程度としてく ださい。締付けが弱すぎたり強すぎたりすると、輸送中に脱落したりケースが破損したりす る恐れがあります。 ·  傷や破損を防ぐため、キャリーケースのクッションとバンドは必ず使用し、固定してくださ い。 ·  収納後は確実にキャリーケースの蓋をロックしてください。 収納順序 インターポレータユニット   ↓ スケールユニット ( 黒いケースに入れ、ねじ止めし、白い蓋を取付ける )   ↓ ヘッドユニット ( 上下に白いカバーを取付け、 コネクタカバーを取付ける )   ↓ 心出し治具 ( 梱包袋に入れる )   ↓...
  • Page 24 ヘッドユニット 収納 クッション ヘッドユニットカバー インターポレータ ヘッドユニット コネクタカバー ユニット収納 (BH300) インターポレータユニット  (BD350) ヘッドユニットカバー スケールユニット 収納 クッション リアパネル スケールユニット蓋 固定ねじ スケールユニット (BE300) スケールユニットケース キャリーケース SET-HD100...
  • Page 25 心出し治具 収納 梱包袋 キャリーケース 心出し治具 接続ケーブル 収納 接続ケーブル (CS03-05) クッション SET-HD100...
  • Page 26 バンドで固定 キャリーケース バンド 蓋を閉めてロック ロックする 収納完了 SET-HD100...

  • Page 27: 保守および定期校正

    6.  保守および定期校正 システムの機能 / 性能を保つため、下記メンテナンスを行なってください。 6-1.  お手入れ スケールユニット 状態  処置 スケールに汚れがある  エタノールを含ませたガーゼで拭きとってください。     拭 きとった後、スケールの表面に拭きムラがないことを確認してく ださい。 スケール表面に水分がある  やわらかい布で拭きとってください。 6-2.  定期校正 1 年に 1 回の定期校正を行なうことを推奨します。 定期校正の実行につきましては、弊社サービスまでお問い合わせください。 SET-HD100...

  • Page 28: トラブルインフォメーション

    7.  トラブルインフォメーション インターポレータユニットの状態表示用インジケータにエラー / アラームを表示する場合は、 次の対応をお願いします。 症状 原因 対応 STATUS インジケータが 自己校正が失敗しています。 「3-1. 取付け」 、 「4-1. 自己校正を実 赤点灯・点滅 行して行なう計測」を参照して取 付けを行なってください。 SENSOR 1 〜 6 が赤点灯 レベルアラームもしくはスピード アラームが発生しています。 レベルアラームの場合 センサ信号レベルが低下していま す。 ① 汚れによる低下 「6-1. お手入れ」 を参照して、 クリー ニングを行なってください。 ②   取 付け位置が誤差範囲を満足し 「3-1. 取付け」 、 「8-2. 取付誤差範囲 ていない可能性 と環境および回転精度の条件」を 参照し、取付け位置を確認してく...

  • Page 29: システム仕様

    8.  仕様 8-1.  システム仕様 項目 仕様 注記 検出半径 41.723 mm 最大応答回転速度 10 min 10 min  = 10 rpm 源信号数  (1,048,576) / 回転 源信号分解能 1.236 秒角 精度 0.2 秒角 「8-2. 取付け誤差範囲と環境および回転 精度の条件」に記載する条件範囲内で、 「4. 操作」に記載する操作を行なった場 合のみの保証となります。 原点位置 1 点 原点検出方向 1 方向 (CW) CW 方向は「9. 外形寸法図」を確認し （CCW 方向に回転させた場合は原点を てください。 検出しません。) CCW 方向は CW 方向とは逆の方向と なります。...

  • Page 30: ヘッドユニット仕様

    8-3.  ヘッドユニット仕様 項目 仕様 注記 検出方式 回折格子走査式 光源 半導体レーザ   6 5 mW 以下 / 1 センサ、波長 790 nm センサ数 6 センサ /1 ユニット 放射パワー EN60825 : class 3B JIS  : class 3B DHHS  : class IIIb 消費電力 3 W 以下 使用温度範囲 º C 〜 +30 º C (結露無し)   精 度保証温度範囲は「8-2.  取付け誤差 範囲と環境および回転精度の条件」を ご参照ください。...

  • Page 31: インターポレータユニット仕様

    8-5.  インターポレータユニット仕様 項目 仕様 注記 使用温度範囲 +10 〜 +30 結露不可 º 保存温度範囲 0 〜 +50 結露不可 º 主な材質 ( シャーシ ) SUS304 など 質量 5 kg 以下 入力センサ数 6 センサ（アナログ）   U SB から出力されるデータは、6 センサ によって校正された角度データです。 内部総分割数 同時 6 センサ内挿（内部） 出力 bit 数 USB から出力...
  • Page 32 9.  外形寸法図 9-1.  ヘッドユニット / スケールユニット この外形寸法図内に、下記を記します。 ・   ヘッドユニット / スケールユニットの取付け相対位置 ・   回転方向定義 ・   原点検出参考位置 図中矢印で示すとおり、スケールユニット側から見たときに、スケールユニットが反時計回り に回転する方向が CW となります。 原点検出センサ 取り付け位置（参考） ＜ヘッドユニット表面＞ スケールユニットの原点 4-M6 深さ10 マークがおよそこの穴の (90° 等配) 直下を通過したときに原点 信号が検出されます。 4-φ6.6穴 ＜スケールユニット表面＞ (90° 等配) シリアル No. 4-φ4.5穴 (90° 等配) 刻印・ラベル位置 φ8ざぐり深さ4 4-M4 (90° 等配) 次ページ参照...
  • Page 33 0.01 0.02 ヘッドユニット スケールユニット 0.01 単位 : mm SET-HD100...
  • Page 34 9-2.  インターポレータユニット 単位 : mm SET-HD100...
  • Page 35 Safety Precautions Magnescale Co., Ltd. products are designed in full consideration of safety. However, improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fi re, electric shock or other accidents resulting in serious injury or death. In addition, these actions may also worsen machine performance.
  • Page 36 Warning Do not use with other than the specifi ed power voltage. Failure to observe Do not use this system with other than the specifi ed supply voltage. these precautions may result in fi re or Be sure to connect the ground. electric shock.
  • Page 37 Caution Failure to observe Ensure work safety. this precaution Be sure to check the machine conditions to ensure work safety may result in before working on the machine. electric shock. Take care not to catch your fi ngers. Failure to observe When turning on the power supply or other sources of drive power this precaution may to operate the machine, take care not to catch your fingers in...
  • Page 38 Safety Label Locations Head unit front side Head unit back side Interpolator unit Carry case Caution Labels THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES-003. 警告不可視レーザ光 WARNING INVISIBLE LASER RADIATION OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS : (1) THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE, AND (2) THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED, INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDESIRED OPERATION.
  • Page 39 Operating Precautions • Th is product is a class 3B (DHHS: IIIb) laser product using a semiconductor laser with a wavelength of 790 nm (5 mW or less). Users and manufacturers must follow relevant safety standards. Safety measures that comply with class 3B must be taken in order to use this product.
  • Page 40 Make full study of the compatibility in advance. In no event will Magnescale Co., Ltd. be liable for any damages, including any lost profi ts, third-party claims, or other harm arising out of the use of this product.
  • Page 41 Contents 1. Overview ................... 1 1-1. Introduction .......................1 1-2. Main Features ......................1 1-3. Product Confi guration .....................1 1-4. Supplied Items ......................2 2. Names and Functions of Parts ..........3 2-1. Head Unit ........................3 2-2. Scale Unit ........................3 2-3. Interpolator Unit .......................4 2-3-1.
  • Page 42 8. Specifi cations ................. 19 8-1. System Specifi cations ....................19 8-2. Installation Error Range and Environmental and Rotational Accuracy Conditions ........................19 8-3. Head Unit Specifi cations ..................20 8-4. Scale Unit Specifi cations..................20 8-5. Interpolator Unit Specifi cations ................21 8-6.

  • Page 43: Overview

    1-2. Main Features High angular accuracy and resolution An original algorithm developed by Magnescale achieves accuracy of ±0.2" (arcsec) around the entire ‒5 circumference (360°), and ensures that accuracy at all points at the maximum resolution of 1.9 × 10 "...

  • Page 44: Supplied Items

    1-4. Supplied Items Notes • When removing the product from the carry case, fi rst remove the connection cable stored in the lid to prevent the carry case from tipping over due to the weight of the lid. • Take care not to lose the covers, case or screws attached to the scale unit and head unit, as they are reused when storing the product.

  • Page 45: Names And Functions Of Parts

    2. Names and Functions of Parts 2-1. Head Unit 1 Laser emission position 1 Laser emission position 2 Output connector Laser emission position Th e laser beams are emitted from here. Warning Th e laser beams are hazardous to the human body. Never look into the laser emission areas while the power is on.

  • Page 46: Interpolator Unit

    2-3. Interpolator Unit 2-3-1. Front Panel 1 USB connector 2 Status indicators 3 Monitor connector (MONITOR) 4 Head unit input connector (ENCODER IN) 5 SELF CAL switch USB connector Th e interpolator unit self-calibrates the sensor signals output by the head unit and calculates the angular data in real time.

  • Page 47: Rear Panel

    2-3-2. Rear Panel 1 POWER switch 2 Fuse 3 Power supply connector 4 Ground terminal POWER switch Th is turns the interpolator unit power on and off . Notes • Finish all the connections before turning on the power. (See section 3-2 “Connections.”) •...

  • Page 48: Installation And Connections

    3. Installation and Connections Notes • Be sure to always install and use the product in an environment within the specifi ed temperature range. • Cooling fans are provided on both sides of the interpolator unit. Do not block the air outlets in order to prevent the interior of the interpolator unit from overheating.

  • Page 49: Example Of Installation Procedure

    3-1-3. Example of Installation Procedure Th e installation method diff ers according to the machines used by the customer and the machine installation conditions, etc. An example of an installation procedure is described below. Checks and Adjustments before Installation Be sure to always check the mounting surfaces before installation. Check the scale unit mounting surface Check the parallelism between the scale unit mounting surface and rotational surface while rotating the rotating part of the machine.
  • Page 50 Installation Temporarily mount the scale unit Set the scale unit on the mounting surface of the rotating part, check the installation position with the supplied axis alignment jig, and then semi-tighten the four screws. * Use the screws that were attached to the scale unit case, or screws procured by the customer. Screw Screw Scale unit...
  • Page 51 Mount the scale unit While maintaining the eccentricity adjustment performed in Step 2, fully tighten the screws semi- tightened in Step 1. <Specifi cation> Tightening torque: 0.6 ±0.06 N · m * When the reproducibility is insuffi cient, warping may have occurred due to tightening. After tightening the screws, it is recommended to loosen and then retighten the screws in the order that the screws were tightened.

  • Page 52: Connections

    Mount the head unit Fully tighten the screws semi-tightened in Step 4. Do not change position of head unit from position adjusted in Step 5. <Specifi cation> Tightening torque: 1.0 ±0.1 N · m Aft er fully tightening the screws, pull out the axis alignment jig. Th is completes the installation.

  • Page 53: Operation

    4. Operation Self-calibration is performed to guarantee the measurement angle. Performing self-calibration enables compensation of measurement error due to scale unit and head unit installation. Perform self-calibration aft er mounting the scale unit and head unit to the rotating stage. Also, perform self-calibration regularly when a factor arises that may aff ect accuracy, such as a change in ambient temperature.

  • Page 54: Measurement Using The Previous Self-Calibration Value Data

    Perform calibration Press the SELF CAL switch. Rotate the rotating stage at a speed of 1 to 10 min for fi ve full revolutions or more in the clockwise direction. (See section 9 “Dimensions” for the clockwise direction.) Th e MODE LED changes to blink green. Th e angular data is loaded and the calibration value data is calculated.

  • Page 55: Storing In The Carry Case

    5. Storing in the Carry Case Notes • Store the product in the same condition as when shipped from the factory. • Store the interpolator unit with the front panel facing the inside. • Secure the scale unit to the case with screws. Use a tightening torque of around 0.3 to 0.4 N·m. If the screws are too loose or too tight, the scale unit may come loose during transport or the case may be damaged.
  • Page 56 Store the head unit Cushion Head unit cover Store the interpolator Head unit Connector cover unit (BH300) Interpolator unit (BD350) Head unit cover Store the scale unit Cushion Rear panel Scale unit cover Set screws Scale unit (BE300) Scale unit case Carry case SET-HD100...
  • Page 57 Store the axis alignment jig Packing bag Carry case Axis alignment jig Store the connection cable Connection cable (CS03-05) Cushion SET-HD100...
  • Page 58 Secure with the bands Carry case Bands Close and lock the lid Lock Storage complete SET-HD100...

  • Page 59: Maintenance And Regular Calibration

    6. Maintenance and Regular Calibration Perform the following maintenance to maintain the functions and performance of the system. 6-1. Cleaning Scale unit Condition Remedial action Th e scale is dirty. Wipe it clean using gauze moistened with ethanol. Be sure to wipe off the oil and dust from the surface thoroughly. Moisture is present on the scale surface.

  • Page 60: Trouble Information

    7. Trouble Information Check the following items and take the proper remedial actions when the status indicators of the interpolator unit indicate an error or an alarm. Symptom Cause Remedial action Th e STATUS indicator lights Self-calibration failed. See section 3-1 “Installation” and up or blinks red.

  • Page 61: Specifi Cations

    8. Specifi cations 8-1. System Specifi cations Item Specifi cation Notes Detecting radius 41.723 mm Maximum rotary response 10 min 10 min = 10 rpm speed Number of source signals (1,048,576) / revolution Source signal resolution 1.236" arcsec Accuracy ±0.2 arcsec Guaranteed only when performing the operations described in section 4 “Operation”...

  • Page 62: Head Unit Specifi Cations

    8-3. Head Unit Specifi cations Item Specifi cation Notes Detection system Diff raction grating scanning system Light source Semiconductor laser × 6 5 mW or less per sensor, wavelength: 790 nm Number of sensor 6 sensors per unit Radiation power EN60825 : class 3B : class 3B DHHS...

  • Page 63: Interpolator Unit Specifi Cations

    Total number of Simultaneous 6-sensors interpolation interpolation (internal) Number of output bits Output from USB Calibration Self-calibration According to Magnescale calibration method Level error 0.4 Vp-p or less Speed error 11.4 min 11.4 min = 11.4 rpm Power supply voltage...

  • Page 64: Dimensions

    9. Dimensions 9-1. Head Unit and Scale Unit Th e following items are noted in this dimensional diagram. • Relative mounting positions of the head unit and scale unit • Defi nition of rotational direction • Reference position for reference point detection As shown by the arrows in the diagram, the direction with the scale unit rotating in the counter-clockwise direction as viewed from the scale unit side is the clockwise direction.
  • Page 65 0.01 0.02 Head unit Scale unit 0.01 Unit: mm SET-HD100...

  • Page 66: Interpolator Unit

    9-2. Interpolator Unit Unit: mm SET-HD100...
  • Page 68 容  ( 操作、保守など )  と異なる目的で本マニュアルを使用 することを禁止します。 The material contained in this manual consists of information that is the property of Magnescale Co., Ltd. and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual. Magnescale Co., Ltd. expressly prohibits the duplication...
  • Page 69 保 証 書 お 保証規定 フリガナ 名 お   前 様   保証の範囲 客   ①  取扱説明書、本体添付ラベル等の注意書に従った正 ご 〒      電話         -         -   様 住 常な使用状態で、保証期間内に故障した場合は、無 所 償修理いたします。 ②  本書に基づく保証は、本商品の修理に限定するもの とし、それ以外についての保証はいたしかねます。 年   月   日    お買上げ日      保 期     保証期間内でも、次の場合は有償修理となります。 証 間   本 体 1    年    ①  火災、地震、水害、落雷およびその他天災地変によ る故障。...
  • Page 70 Note: Th is product (or technology) may be restricted by the government in your country. Please make sure that end-use, end user and country of destination of this product do not violate your local government regulation. 〒 259-1146 神奈川県伊勢原市鈴川 45 45 Suzukawa, Isehara-shi, Kanagawa 259-1146, Japan SET-HD100 2019.7 2-A02-798-0A Printed in Japan ©2019 Magnescale Co., Ltd.

Table of Contents