HSR PDA501-W Mounting And Operating Instructions
  1. Manuals
  2. Brands
  3. HSR Manuals
  4. Water Pump
  5. PDA501-W
  6. Mounting and operating instructions

HSR PDA501-W Mounting And Operating Instructions

Diffusion pump
Hide thumbs
Table of Contents

Advertisement

Quick Links

LI-9496 BALZERS
www.hsr.li
Diffusionspumpe / Diffusion Pump
Typenschild
PDA501-W
PDB501-W
DIF 501
DIF 501 C
Montageanleitung / Betriebsanleitung
Mounting instruction / Operating instruction
1
DIF05deHSR (201605)
PDA501-W / PDB501-W

Advertisement

Table of Contents
loading
Need help?

Need help?

Do you have a question about the PDA501-W and is the answer not in the manual?

Questions and answers

Related Manuals for HSR PDA501-W

Summary of Contents for HSR PDA501-W

  • Page 1 LI-9496 BALZERS www.hsr.li Diffusionspumpe / Diffusion Pump Typenschild PDA501-W PDB501-W DIF 501 DIF 501 C Montageanleitung / Betriebsanleitung Mounting instruction / Operating instruction DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 2: Table Of Contents

    Fore vacuum baffle lower part Verbrauchsmaterial Consumables 10.1 Betriebsmittel 10.1 Pump fluid 10.2 Dichtungssatz 10.2 Set of seals Ersatzteile Spare parts Pumpe zurücksenden Returning a pump Pumpe entsorgen Disposal of a pump Kontaminationserklärung Declaration of contamination PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 3: Gültigkeit

    Produktidentifikation Product identification Im Verkehr mit HSR sind die Angaben des Please specify the information given on the Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb product nameplate in all communications with diese Angaben bitte hier ein: HSR. For convenient reference please copy that...

  • Page 4: Beschreibung

    Fore vacuum baffle top Vorvakuumbaffle oben zum for reducing the pump fluid Reduzieren des Betriebsmittel- consumption at high gas verbrauchs bei hohem throughput Gasdurchsatz Heater for heating up Heizung zum Erhitzen the pump fluid des Betriebsmittels PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 5: Funktion

    Impuls in Richtung des Dampfstrahls, wodurch which results in a pump effect. eine Pumpwirkung entsteht. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 6: Verwendung Einer Diffusionspumpe In Einem Pumpsystem

    Vent valve Vakuumsensor Vorpumpe Vacuum sensor roughing pump Vakuumsensor Diffusionspumpe Vacuum sensor diffusion pump Vorvakuumsensor Vakuumkammer Fore vacuum sensor vacuum chamber Hochvakuumsensor Vakuumkammer High vacuum sensor vacuum chamber Temperaturmelder Diffusionspumpe Temperature sensor switch diffusion pump PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 7: Sicherheit

    Zuwiderhandlung führt im Schadenfall If not avoided you lose the warranty. zum Verlust der Gewährleistung. HINWEIS NOTICE Arbeiten nur mit fuselfreien Work only with lint-free gloves and Handschuhen und sauberem clean tools. Werkzeug. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 8: Grundlegende Sicherheitsvermerke

    The end-user assumes the responsibility in verwendeten Prozessmedien liegt beim conjunction with the process media used. Betreiber. HSR übernimmt keine Verantwortung und HSR accepts no responsibility nor warranty if the Gewährleistung, falls der Betreiber oder user or third parties: Drittpersonen  dieses Dokument missachten.

  • Page 9: Technische Daten

    180 kg Gewicht ohne Rille für Sprengring Werte gemessen mit Mineralöl 66 A gemäss Pneurop oder DIN 28427. Als Vorvakuumpumpen werden zweistufige Drehschiebervakuumpumpen oder Pumpkombinationen von ein- oder zweistufigen Drehschiebervakuumpumpen und Wälzkolbenpumpen eingesetzt. Im Dauerbetrieb. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 10 Values measured with mineral oil 66 A according to Pneurop or DIN 28427. Two-stage rotary vane pumps or pump combinations of one- or two-stage rotary vane pumps and roots pumps are recommended as roughing pumps. In continuous operation. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 11 Dimensions mm Abmessungen mm (PDA501-W and PDB501-W) (PDA501-W und PDB501-W) DN 500 ISO-K* DN 500 ISO-K* PDA501-W PDB501-W PDA501-W PDA501-W DN 100 ISO-K Hochvakuumanschluss High vacuum connection Vorvakuumanschluss Fore vacuum connection Elektrischer Anschluss Power connection Kühlwasseranschluss G 3/8" Cooling water connection G 3/8"...

  • Page 12: Einbau

    Keep the lids and the transport safety aufbewahren und vor jedem Transport devices and reinstall them before wieder montieren. transporting the pump. Vorgehen: Procedure: Transportsicherung und Schutzdeckel entfernen. Remove the transport safety device as well as the protective lids. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 13: Betriebsmittel Einfüllen

    ..10 mbar ..10 mbar Resistance good superior excellent to chemicals good superior excellent to oxidation good superior excellent to thermal decomposition Theor. vapor pressure at 20 C 4×10 mbar 2×10 mbar 4×10 mbar 1×10 mbar DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 14 The diffusion pump must be cleaned whenever Diffusionspumpe gereinigt werden ( Seite 33). the pump fluid is changed ( page 33). Schutzdeckel Protective cover Schutzdeckel Protective cover Betriebsmittelfüllmenge: Pump fluid filling capacities: maximum 5000 cm optimum 4000 cm minimum 3000 cm PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 15: Vakuumanschluss Erstellen

    (1 Satz mit 4 Klammern) 12 pieces clamps: Ordering number 212-227 (1 set of 4 clamps) DN 500 ISO-K O-Ring, FPM, ø506,86 × 7 (im Lieferumfang enthalten) O-ring, FPM, ø506,86 × 7 (included in delivery) DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 16: Kühlwasseranschluss Erstellen

    Cooling water circuit for pump housing Anschluss für den Rücklauf Return line connection Kühlwasserkreislauf für das  Cold Cap bzw. das Baffle Cap Cooling water circuit for cold cap or baffle cap Anschluss für den Vorlauf Feeder line connection PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 17 Cooling water specifications  HSR 03 1103_1_d  HSR 03 1103_1_e Die ausführliche Spezifikation des Kühlwassers The detailed specification of the cooling water kann bei HSR bezogen werden. can be ordered from HSR. Anschluss Connection In die Vorläufe sind Absperrventile einzubauen;...
  • Page 18 Kühlwasserwächter (Option) Flow monitor (option) Absperrventil Shut-off valve Kühlwasserwächter (Option) Flow monitor (option) Dichtung Dichtung Seal Seal Seal Überwurfmutter Überwurfmutter Union nut Union nut Schlauchtülle Schlauchtülle Hose nozzle Hose nozzle PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 19: Elektrischen Anschluss Erstellen

    ( page Netzspannung mit den Angaben auf dem with the ratings on the nameplate ( Seite 3). Falls Sie eine andere If your line voltage differs please contact HSR. Typenschild Netzspannung haben, nehmen Sie bitte mit HSR Kontakt auf. Vorgehen: Procedure: ...
  • Page 20  Pull the mains cable into the terminal box and einziehen und Adern anklemmen (bei der clamp the conductors (no neutral conductor Dreieckschaltung entfällt der Neutralleiter). required for delta connection).  Kabelverschraubung anziehen.  Tighten the screwed cable gland. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 21 Install the mains cable in accordance Landesvorschriften installieren. with the national regulations. VORSICHT CAUTION Das Netzkabel darf das Make sure the mains cable does not Pumpengehäuse oder andere heisse touch the pump housing nor other hot Teile nicht berühren. parts. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 22: Montage Temperaturschutzschalter

    Der Temperaturmelder wird mit zwei M4- The temperature sensor switch is fastened to the Schrauben am kleineren Befestigungssockel smaller mounting base using two M4 screws. angeschraubt. Temperaturmelder (Option) Temperature sensor switch (option) PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 23: Betrieb

    Erhöhen Sie die Kühlwassermenge, lines. Increase the cooling water flow if the wenn die Kühlwassertemperatur im Rücklauf cooling water temperature in either return line 30 °C ist. exceeds 30 °C. Diffusionspumpe betriebsbereit Diffusion pump ready for use DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 24: Diffusionspumpe Einschalten

    After a delay of 30 – 40 min. the fore vacuum um die Hälfte der Abkühlzeit ( Seite 9) valve can be closed. verzögert zu schliessen. HINWEIS NOTICE Vorvakuumdruck der DIF muss Fore vacuum pressure DIF must stay < 10 mbar bleiben. < 10-1 mbar. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 25: Stillstand

    Wir empfehlen, das gesamte Vakuumsystem im shut down in evacuated condition. Venting evakuierten Zustand stillzusetzen. Belüftungen increases the desorption rate of the internal walls erhöhen die Desorptionsrate der Innenwände and the pump fluid. und des Betriebsmittels. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 26: Ausbau

    HINWEIS NOTICE Betriebsmittel gemäss den örtlichen Dispose of pump fluids in accordance Vorschriften entsorgen. with the relevant local regulations. Nach dem Betriebsmittelablass wieder montieren! Reinstall the screw plug after draining the pump fluid! 10 l PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 27: Elektrischen Anschluss Unterbrechen

     Close the shut-off valves in the feeder lines.  Schläuche demontieren und  Detach the hoses and drain the cooling water Kühlwasserkreisläufe entleeren. circuits. Restwasser läuft aus Residual water drains Absperrventile schliessen Close shut-off valves DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 28: Vakuumanschlüsse Demontieren

    Vakuumanschlüsse Detaching the vacuum demontieren connections Vor- und Hochvakuumanschluss demontieren Detach the fore and high vacuum connections und Schutzdeckel aufsetzen. and install the protective lids. Schutzdeckel Prfotective lid Schutzdeckel Prfotective lid PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 29: Störungsbehebung

    Poor heater Cooling water Repair plate requirements the leak page 17 adhesion Clean Reset the Check Replace diffusion thermostatic pump fluid level heating plate pump cut-out switch page 31 Section 7.1 Maintenance / Repair DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 30: Temperaturschutzschalter (Option) Zurücksetzen

     Kühlwassermenge erhöhen (falls notwendig).  Increase the cooling water flow (if necessary).  Diffusionspumpe ca. 5 min. Abkühlen lassen.  Allow the diff pump to cool down for 5 min.  Rückstelltaste drücken.  Press the RESET button. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 31: Instandhaltung / Instandsetzung

     Seite 39  page 33 and replenish heating plates und bei Bedarf  Seite 33  page 39 if necessary Betriebsmittel  page 32 nachfüllen  Seite 32 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 32: Betriebsmittelstand Kontrollieren

    NOTICE Mit der Betriebsmittel-Nachfüll- Pump fluid replenishing device vorrichtung PDZ101-Z (Option) wird PDZ101-Z (option) is used for das Betriebsmittel ohne replenishing the pump fluid under Betriebsunterbruch der running conditions of the diffusion Diffusionspumpe nachgefüllt. pump. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 33: Diffusionspumpe Reinigen / Düsensatz Ersetzen

    Baffle Cap  Kühlwasseranschlüsse demontieren.  Detach the cooling water connections. Dichtung Seal Winkelstück Elbow  Remove the hex nuts and washers. Sechskantmuttern und Unterlagscheiben  entfernen. Unterlagscheibe gegenhalten Washer counterhold Sechskantmutter Hex nut DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 34  Cold Cap bzw. Baffle Cap entfernen. Remove the cold cap or the baffle cap. Cold Cap Baffle Cap Stützscheibe Support washer PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 35 8.3.2 Düsensatz ausbauen 8.3.2 Disassembling of jet system HINWEIS NOTICE Die Aluminiumteile müssen mit Handle the jet system very carefully. besonderer Sorgfalt behandelt werden. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 36 Tube for pump fluid sensor Schnitt A-A Die Aussparung am Rohransatz muss über dem Messrohr liegen! Section A-A The opening in the pipe socket must be positioned exactly above the sensor tube! Messrohr Tube for pump fluid sensor PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 37: Vorvakuumbaffle Ausbauen

     Turn the upper obstruction device counter- zeigersinn herausdrehen und herausziehen. clockwise and pull it out. Schnitt A-A Section A-A Vorvakuumbaffle oben Fore vacuum baffle upper part Schraubverbindung Screwing Vorvakuumbaffle unten Fore vacuum baffle lower part DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 38: Diffusionspumpe Reinigen

     Wipe the O-rings with a lint-free piece of cloth Vakuumöl getränkten Lappen abreiben. moistened with vacuum oil. Zusammenbau Reassembly Diffusionspumpe in umgekehrter Reihenfolge Reassemble the diffusion pump by performing zusammenbauen. the above steps in reverse order. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 39: Heizplatte Ersetzen

    HINWEIS NOTICE Restliches Betriebsmittel kann Residual pump fluid drains. auslaufen. Mit Schutzdeckel Mount the protective cover  Abdeckung entfernen.  Remove the cover. 5 mm DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 40  Elektrischen Anschluss der defekten  Disconnect the leads of the defective heating Heizplatte lösen (Annahme: die Heizplatte plate (assumption: the heating plate between zwischen den Anschlussklemmen U und Y ist terminals U and Y is defective). defekt). PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 41  Adern aus dem Metallschlauch ziehen.  Pull the wires out of the metal tube.  Isolationsplatte entfernen.  Remove insulating plate. 5 mm  Anpressplatte entfernen.  Remove pressure plate. Anzugsdrehmoment 80 Nm Tightening torque 80 Nm DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 42  Mutter mit Drehmomentschlüssel (100 Nm)  Tighten the nut with torque wrench (100 Nm). nachziehen.  Diffusionspumpe in umgekehrter Reihenfolge  Reassemble the diffusion pump by performing zusammenbauen. the above steps in reverse order. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 43: Optionen

    Orifice, 16-32 l/min B 4747 326 SE Kühlwasserwächter Flow monitor Temperaturschutzschalter Thermostatic Cut-Out switch Der Temperaturschutzschalter verhindert das The thermostatic cut-out switch prevents Überhitzen der Diffusionspumpe. overheating of the diffusion pump. Bestellnummer Order number 216-057 216-057 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 44: Temperaturmelder

    Cold Cap und Wasserbaffle Application with: Cold Cap and water baffle Wasser Baffle / water baffle Kühlwasser / cooling water Anwendung mit: Baffle cap Kühlwasser / Application with: cooling water Wasserventil / Watervalve Wasser-Flusswächter / Flowcontroller PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 45 PCF 145/245 Kann anstelle von Wasserkühlung eingesetzt Usable as a standard cooling instead of water werden. cooling PCF 145 / 245 Kühlmaschine / Refrigerator Kombibaffle Combination baffle Kühlwasser cooling water Wasserventil / Watervalve Wasser-Flusswächter Flow controller DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 46 PCF 145 / 245 PCF 220 / 190 Kühlmaschine optional Level Sensor Refrigerator optional Kombibaffle Combination baffle Kühlwasser cooling water Wasserventil / Watervalve Wasser-Flusswächter Flowcontroller oder von LN2 Zentralversorgung Dewar or from LN2 central supply PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 47 Dieser zusätzliche Einsatz dient der weiteren The fore vacuum baffle lower part is used for Reduktion des Betriebsmittelverbrauchs bei further reducing the pump fluid consumption at hohem Gasdurchsatz. high gas throughput. Bestellnummer Order number BP335422-X BP335422-X DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 48 H264705 3000 cm3 H264705 5000 cm3 H265705 5000 cm3 H265705 Pentaphenyläther 500 cm3 B 0480 559 Pentaphenyl ether 500 cm3 B 0480 559 Santovac 5 Santovac 5  Seite  page Weitere Informationen Additionall information PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)

  • Page 49: Dichtungssatz

    Using a 220 grain grinding belt, work the sealing überschleifen. Schleifmittel: Schleifband, surface concentrically (i.e. without cross Körnung 220. grooves). Nachgearbeitete Dichtfläche mit Lösungsmittel Treat worked sealing surface with a solvent and entfetten und danach mit Alkohol abwaschen. rinse with alcohol. DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 50 O-Ring / o-ring, FPM75, 25,07 x 2,62 B4070437PV Scheibe / Washer B3503988-P 6kt-Mutter / Hex nut B4141305GM Stützscheibe / Supporting washer 203-024 Vorvakuumbaffle / Fore vacuum baffle BP330559-T BP335422-X Option Vorvakuumbaffle unten/ Fore vacuum baffle down PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 51 62 61 Baffle Cap Cold Cap 62 61 Anschluss für Nachfüllvorrichtung Connection to refilling device 51 12 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 52: 12 Returning A Pump

    Such substances must be disposed of in Vorschriften zu entsorgen oder können ab 20 kg accordance with the relevant local regulations. bei HSR regeneriert werden. Quantities bigger than 20 kg can be sent to HSR for recycling. PDA501-W / PDB501-W DIF05deHSR (201605)
  • Page 53 Firmenstempel Dieses Formular kann von unserer Verteiler: Dieses Formular kann von unserer Webseite: Webseite heruntergeladen werden. www.hsr.li heruntergeladen werden Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie für den Absender DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...

  • Page 54: Declaration Of Contamination

    This form can be downloaded This form can be downloaded Copies: from our website: www.hsr.li from our website. Original to manufacturer or representative - 1 copy attach to consignment packaging - 1 copy for file of sender PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 55 DIF05deHSR (201605) PDA501-W / PDB501-W...
  • Page 56 Vakuumtechnik Postfach 109 Föhrenweg 16 LI-9496 Balzers Tel +423 388 09 90 Fax +423 388 09 99 info@hsr.li www.hsr.li DI F 0 5 d e HSR 2 0 1 6 0 5...

This manual is also suitable for:

Pdb501-wDif 501Dif 501 c

Table of Contents